薄膜形成装置
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1127696A

    公开(公告)日:1996-07-31

    申请号:CN95115918.6

    申请日:1995-09-11

    Abstract: 一种薄膜形成装置,包括:具有多个喷涂液体用喷孔的涂液喷头;使沉积了上述涂液的上述涂敷基片绕转轴旋转的旋转装置;使上述涂液喷头和涂敷基片在该基片邻近转轴的附近区域和离开转轴的离开区域之间作互为相对移动的相对移动装置;相对移动控制装置,使随着上述涂液喷头和基片的相对位置从所邻近转轴区域相对移向离开转轴区域时,相应减少相对移动速度和旋转装置的旋转角速度。根据本发明,可用简单的控制制得均匀的薄膜。

    漂浮搬运方法及漂浮搬运装置

    公开(公告)号:CN102336342B

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201110184725.7

    申请日:2011-06-21

    Abstract: 一种能稳定地搬运带状物的漂浮搬运方法及漂浮搬运装置。交替反复进行第一气体喷出工序和第二气体喷出工序来搬运带状物(30),其中,在所述第一气体喷出工序中,从第一横向移动喷嘴(8)对所要搬运的带状物(30)的下表面喷出气体,从而使带状物(30)朝与带状物(30)的搬运方向正交的第一方向移动,在所述第二气体喷出工序中,从第二横向移动喷嘴(9)对带状物(30)的下表面喷出气体,从而使带状物(30)朝与第一方向相反的第二方向移动。

    洁净室
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101583829B

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN200880001528.3

    申请日:2008-10-20

    CPC classification number: F24F3/161 H01L21/67115

    Abstract: 本发明提供一种洁净室,以与生产设备等放热体(10)的上表面(10-1)对置的方式,配置排尘辅助构件(15)的排尘促进面(15-1),在放热体的上表面与排尘辅助构件的排尘促进面之间,灰尘或化学物质等物体的大小,与该物体在空气中自由落下时的空气阻力平衡,并且最终稳定的落下速度(临界速度)被该速度以上的上升气流抵消,由此灰尘以及化学物质等物体不会落到放热体上。

    漂浮搬运方法及漂浮搬运装置

    公开(公告)号:CN102336342A

    公开(公告)日:2012-02-01

    申请号:CN201110184725.7

    申请日:2011-06-21

    Abstract: 一种能稳定地搬运带状物的漂浮搬运方法及漂浮搬运装置。交替反复进行第一气体喷出工序和第二气体喷出工序来搬运带状物(30),其中,在所述第一气体喷出工序中,从第一横向移动喷嘴(8)对所要搬运的带状物(30)的下表面喷出气体,从而使带状物(30)朝与带状物(30)的搬运方向正交的第一方向移动,在所述第二气体喷出工序中,从第二横向移动喷嘴(9)对带状物(30)的下表面喷出气体,从而使带状物(30)朝与第一方向相反的第二方向移动。

    激光孔加工机的加工粉收集装置

    公开(公告)号:CN1199759C

    公开(公告)日:2005-05-04

    申请号:CN01116952.4

    申请日:2001-05-11

    CPC classification number: B23K26/382 B23K26/142 B23K26/1462

    Abstract: 一种激光孔加工机的加工粉收集装置,集尘机在镜头与基材之间具有由四个侧壁围起的集尘空间,该集尘空间的相对侧壁上设有两个给气口和一个排气口,两个给气口上下分开形成,从两个给气口供给集尘空间的总供气量为从排气口排出的排气量的30~70%,下方给气口的供气量是上方给气口的供气量的1.5~4.5倍。本发明可利用从给气口向排气口流动的集尘用气流有效地将粉尘从排气口排出,提高集尘能力。

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