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公开(公告)号:CN1127696A
公开(公告)日:1996-07-31
申请号:CN95115918.6
申请日:1995-09-11
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 一种薄膜形成装置,包括:具有多个喷涂液体用喷孔的涂液喷头;使沉积了上述涂液的上述涂敷基片绕转轴旋转的旋转装置;使上述涂液喷头和涂敷基片在该基片邻近转轴的附近区域和离开转轴的离开区域之间作互为相对移动的相对移动装置;相对移动控制装置,使随着上述涂液喷头和基片的相对位置从所邻近转轴区域相对移向离开转轴区域时,相应减少相对移动速度和旋转装置的旋转角速度。根据本发明,可用简单的控制制得均匀的薄膜。
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公开(公告)号:CN102336342B
公开(公告)日:2015-07-29
申请号:CN201110184725.7
申请日:2011-06-21
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: B65H5/22
Abstract: 一种能稳定地搬运带状物的漂浮搬运方法及漂浮搬运装置。交替反复进行第一气体喷出工序和第二气体喷出工序来搬运带状物(30),其中,在所述第一气体喷出工序中,从第一横向移动喷嘴(8)对所要搬运的带状物(30)的下表面喷出气体,从而使带状物(30)朝与带状物(30)的搬运方向正交的第一方向移动,在所述第二气体喷出工序中,从第二横向移动喷嘴(9)对带状物(30)的下表面喷出气体,从而使带状物(30)朝与第一方向相反的第二方向移动。
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公开(公告)号:CN102798534A
公开(公告)日:2012-11-28
申请号:CN201210080786.3
申请日:2012-03-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明的设备工作状态诊断方法及设备工作状态诊断装置是根据所有的对象设备消耗的总消耗能量及各对象设备的制造个数,计算出每1小时的各对象设备的固定能量及比例能量(步骤2),并利用它们来诊断对象设备的工作状态(步骤3),从而即使在包括多个对象设备的装置结构中,也能利用所需最低限度的测量仪来实时诊断对象设备的工作状态。
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公开(公告)号:CN101583829B
公开(公告)日:2012-06-27
申请号:CN200880001528.3
申请日:2008-10-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: F24F7/06
CPC classification number: F24F3/161 , H01L21/67115
Abstract: 本发明提供一种洁净室,以与生产设备等放热体(10)的上表面(10-1)对置的方式,配置排尘辅助构件(15)的排尘促进面(15-1),在放热体的上表面与排尘辅助构件的排尘促进面之间,灰尘或化学物质等物体的大小,与该物体在空气中自由落下时的空气阻力平衡,并且最终稳定的落下速度(临界速度)被该速度以上的上升气流抵消,由此灰尘以及化学物质等物体不会落到放热体上。
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公开(公告)号:CN102336342A
公开(公告)日:2012-02-01
申请号:CN201110184725.7
申请日:2011-06-21
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: B65H5/22
Abstract: 一种能稳定地搬运带状物的漂浮搬运方法及漂浮搬运装置。交替反复进行第一气体喷出工序和第二气体喷出工序来搬运带状物(30),其中,在所述第一气体喷出工序中,从第一横向移动喷嘴(8)对所要搬运的带状物(30)的下表面喷出气体,从而使带状物(30)朝与带状物(30)的搬运方向正交的第一方向移动,在所述第二气体喷出工序中,从第二横向移动喷嘴(9)对带状物(30)的下表面喷出气体,从而使带状物(30)朝与第一方向相反的第二方向移动。
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公开(公告)号:CN1199759C
公开(公告)日:2005-05-04
申请号:CN01116952.4
申请日:2001-05-11
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: B23K26/382 , B23K26/142 , B23K26/1462
Abstract: 一种激光孔加工机的加工粉收集装置,集尘机在镜头与基材之间具有由四个侧壁围起的集尘空间,该集尘空间的相对侧壁上设有两个给气口和一个排气口,两个给气口上下分开形成,从两个给气口供给集尘空间的总供气量为从排气口排出的排气量的30~70%,下方给气口的供气量是上方给气口的供气量的1.5~4.5倍。本发明可利用从给气口向排气口流动的集尘用气流有效地将粉尘从排气口排出,提高集尘能力。
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公开(公告)号:CN1194328C
公开(公告)日:2005-03-23
申请号:CN01119922.9
申请日:2001-06-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H05K3/102 , H01J9/02 , H01J2217/49207 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156
Abstract: 一种在基板的表面形成图样的方法,该方法是,使图样形成材料粒子带电,在静电力的作用下把带电的图样形成材料粒子从喷嘴喷出,由喷出的粒子形成图样,并固定在基板上。
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公开(公告)号:CN1090365C
公开(公告)日:2002-09-04
申请号:CN97102921.0
申请日:1997-01-09
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11B19/20
CPC classification number: G11B17/0282 , G11B19/2018 , G11B20/1208 , G11B20/1809 , G11B33/08 , H04N5/78263 , H04N5/783 , H04N9/8042 , H04N9/8227
Abstract: 一种用于转动被旋转物体的旋转驱动装置是通过安装在驱动部件之上的用于装载被旋转物体的转盘的转动过程来制造的,并且通过转盘的转动产生表面振动,以及一种根据表面振动量在转盘上形成表面振动减振器的方法。
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