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公开(公告)号：CN105954976B
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201610282687.1
申请日：2010-08-17
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 于基板(P)下方配置有对基板(P)下面喷出空气的多个空气悬浮单元(50)，并且基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。进一步地，基板(P)被定点载台(40)从下方以非接触方式保持被曝光部位，该被曝光部位的面位置被精确调整。是以，能以高精度对基板(P)进行曝光，且能使基板载台装置(PST)的构成简单化。
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公开(公告)号：CN110058493A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910052762.9
申请日：2015-03-30
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明提供一种放电灯及其更换方法、点亮方法及制造方法，放电灯，具有：将包括沿规定方向相对设置的第1电极及第2电极的发光部覆盖的玻璃部件；和相对于发光部而分别设在玻璃部件的第1电极侧及第2电极侧的第1灯座部件及第2灯座部件，且该放电灯安装在曝光装置内的支承部件上，在该放电灯中，第1灯座部件具有：被连结部，其供将来自曝光装置的电力向发光部传递的部件连结；和被保持部，其能够由搬送部保持。
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公开(公告)号：CN105954982A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201610282686.7
申请日：2010-08-17
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03F7/70716 , B65G49/065 , B65G2249/04 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , H01L21/68 , H01L21/6838 , Y10T29/49998 , G03F7/22 , G03F7/70725
Abstract: 于基板(P)下方配置有对基板(P)下面喷出空气的多个空气悬浮单元(50)，并且基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。进一步地，基板(P)被定点载台(40)从下方以非接触方式保持被曝光部位，该被曝光部位的面位置被精确调整。是以，能以高精度对基板(P)进行曝光，且能使基板载台装置(PST)的构成简单化。
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公开(公告)号：CN101611470A
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200880004910.X
申请日：2008-03-04
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , B23Q1/62 , G03F7/20 , G12B5/00 , H01L21/68
CPC classification number: G03F7/70758 , G03F7/70716 , G03F7/70791 , H01L21/682
Abstract: 本发明提高一种移动体装置、图案形成装置及图案形成方法、设备制造方法、移动体装置的制造方法以及移动体驱动方法。分体地构成基板载台(21)、支承基板载台(21)的自重的自重消除机构(27)。由此与一体地构成基板载台和自重消除机构的情况相比能够使基板载台(包括基板载台的构造体)小型化、轻型化。而且，通过X驱动机构(97X)、Y驱动机构(97Y)对X粗调载台(23X)、Y粗调载台(23Y)进行的移动，在XY平面内驱动基板载台，并且也驱动支承基板载台的自重的自重消除机构。由此，即使分体地构成基板载台和自重消除机构，也可无阻碍地驱动基板载台。
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公开(公告)号：CN101512712A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200780032265.8
申请日：2007-08-30
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: F21V19/006 , G03F7/70016 , H01J5/56 , H01J61/523 , H01J61/822
Abstract: 本发明提供一种能够容易且短时间内进行放电灯相对于安装机构的安装等的光源装置。本发明的光源装置，具备：具有形成发光部的玻璃管(25)和与其连结的灯头部(26)的放电灯(1)；经由灯头部(26)保持放电灯(1)的安装装置(31)，其中，灯头部(26)具有与安装装置(31)的定位板(50)抵接的凸缘部(26a)；被施加将凸缘部(26a)向定位板(50)推压的推压力的固定部(26h)，安装装置(31)具有利用压缩螺旋弹簧(44A)推靠固定部(26h)的固定用臂(55A)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106415396B
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201580027187.7
申请日：2015-03-30
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种光源装置，用于使放电灯发光，放电灯具有在内部设有阳极及阴极的玻璃管和相对于其发光部而分别设在阳极侧及阴极侧的灯座部，光源装置具备：保管放电灯的保管部；能够装拆地支承放电灯的灯座部的支承部件；将电缆能够装拆地连结到支承于支承部件的放电灯的灯座部的夹紧机构；和在基于支承部件对灯座部的支承及基于夹紧机构实现的电缆相对于灯座部的连结被解除的状态下，保持着灯座部地在保管部与支承部件之间搬送放电灯的灯搬送系统。能够高效地进行放电灯的更换。
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公开(公告)号：CN105388710A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510574172.4
申请日：2010-08-17
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03F7/707 , B65G49/065 , G03F1/82 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , H01L21/67784 , H01L21/68 , H01L21/6838
Abstract: 本发明是关于一种物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法。其中，基板(P)通过形成为框状的轻量基板保持框(60)所吸附保持，基板保持框(60)通过包含线性马达的驱动单元(70)沿水平面被驱动。在基板保持框(60)下方，配置有对基板(P)下面喷出空气而以非接触方式悬浮支承该基板(P)成大致水平的空气悬浮单元(50)。由于多个空气悬浮单元(50)涵盖基板保持框(60)的移动范围，因此驱动单元(70)能以高速且高精度将基板保持框(60)(基板(P))沿水平面导引。
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公开(公告)号：CN102518954B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201110306079.7
申请日：2007-08-30
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20
CPC classification number: F21V19/006 , G03F7/70016 , H01J5/56 , H01J61/523 , H01J61/822
Abstract: 本发明提供一种能够容易且短时间内进行放电灯相对于安装机构的安装等的光源装置。本发明的光源装置，具备：具有形成发光部的玻璃管(25)和与其连结的灯头部(26)的放电灯(1)；经由灯头部(26)保持放电灯(1)的安装装置(31)，其中，灯头部(26)具有与安装装置(31)的定位板(50)抵接的凸缘部(26a)；被施加将凸缘部(26a)向定位板(50)推压的推压力的固定部(26h)，安装装置(31)具有利用压缩螺旋弹簧(44A)推靠固定部(26h)的固定用臂(55A)。
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公开(公告)号：CN102483579A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080036924.7
申请日：2010-08-17
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03F7/707 , B65G49/065 , G03F1/82 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , H01L21/67784 , H01L21/68 , H01L21/6838
Abstract: 基板(P)通过形成为框状的轻量基板保持框(60)所吸附保持，基板保持框(60)通过包含线性马达的驱动单元(70)沿水平面被驱动。在基板保持框(60)下方，配置有对基板(P)下面喷出空气而以非接触方式悬浮支承该基板(P)成大致水平的空气悬浮单元(50)。由于多个空气悬浮单元(50)涵盖基板保持框(60)的移动范围，因此驱动单元(70)能以高速且高精度将基板保持框(60)(基板(P))沿水平面导引。
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