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公开(公告)号：CN102483578A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080036901.6
申请日：2010-08-17
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03F7/70716 , B65G49/065 , B65G2249/04 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , H01L21/68 , H01L21/6838 , Y10T29/49998
Abstract: 于基板(P)下方配置有对基板(P)下面喷出空气的多个空气悬浮单元(50)，并且基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。进一步地，基板(P)被定点载台(40)从下方以非接触方式保持被曝光部位，该被曝光部位的面位置被精确调整。是以，能以高精度对基板(P)进行曝光，且能使基板载台装置(PST)的构成简单化。
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公开(公告)号：CN110476121A
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201880022622.0
申请日：2018-03-30
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 图案计算装置(2)计算形成于掩模(131)上的掩模图案(1311d)，所述掩模(131)用于利用曝光用光(EL)在基板(151)上形成将单位元件图案部(1511u)排列多个而成的元件图案。图案计算装置计算用以形成一个单位元件图案部的单位掩模图案部(1311u)，且通过将所计算出的单位掩模图案部排列多个而计算掩模图案，在计算单位掩模图案部时，假定相当于单位掩模图案部的至少一部分的特定掩模图案部(1311n)邻接于单位掩模图案部，在此基础上计算单位掩模图案部。
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公开(公告)号：CN105388710A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510574172.4
申请日：2010-08-17
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03F7/707 , B65G49/065 , G03F1/82 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , H01L21/67784 , H01L21/68 , H01L21/6838
Abstract: 本发明是关于一种物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法。其中，基板(P)通过形成为框状的轻量基板保持框(60)所吸附保持，基板保持框(60)通过包含线性马达的驱动单元(70)沿水平面被驱动。在基板保持框(60)下方，配置有对基板(P)下面喷出空气而以非接触方式悬浮支承该基板(P)成大致水平的空气悬浮单元(50)。由于多个空气悬浮单元(50)涵盖基板保持框(60)的移动范围，因此驱动单元(70)能以高速且高精度将基板保持框(60)(基板(P))沿水平面导引。
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公开(公告)号：CN102483579A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080036924.7
申请日：2010-08-17
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03F7/707 , B65G49/065 , G03F1/82 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , H01L21/67784 , H01L21/68 , H01L21/6838
Abstract: 基板(P)通过形成为框状的轻量基板保持框(60)所吸附保持，基板保持框(60)通过包含线性马达的驱动单元(70)沿水平面被驱动。在基板保持框(60)下方，配置有对基板(P)下面喷出空气而以非接触方式悬浮支承该基板(P)成大致水平的空气悬浮单元(50)。由于多个空气悬浮单元(50)涵盖基板保持框(60)的移动范围，因此驱动单元(70)能以高速且高精度将基板保持框(60)(基板(P))沿水平面导引。
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公开(公告)号：CN110476121B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN201880022622.0
申请日：2018-03-30
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明提供一种曝光与图案计算装置、方法、掩模、元件制方、记录媒体。图案计算装置(2)计算形成于掩模(131)上的掩模图案(1311d)，所述掩模(131)用于利用曝光用光(EL)在基板(151)上形成将单位元件图案部(1511u)排列多个而成的元件图案。图案计算装置计算用以形成一个单位元件图案部的单位掩模图案部(1311u)，且通过将所计算出的单位掩模图案部排列多个而计算掩模图案，在计算单位掩模图案部时，假定相当于单位掩模图案部的至少一部分的特定掩模图案部(1311n)邻接于单位掩模图案部，在此基础上计算单位掩模图案部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105954976A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201610282687.1
申请日：2010-08-17
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 于基板(P)下方配置有对基板(P)下面喷出空气的多个空气悬浮单元(50)，并且基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。进一步地，基板(P)被定点载台(40)从下方以非接触方式保持被曝光部位，该被曝光部位的面位置被精确调整。是以，能以高精度对基板(P)进行曝光，且能使基板载台装置(PST)的构成简单化。
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公开(公告)号：CN102741993A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201080057008.1
申请日：2010-12-09
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/673 , B65G49/06 , G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/677
CPC classification number: B65G49/061 , B65G49/067 , H01L21/68735 , H01L21/68742
Abstract: 基板支承构件，具备：载置部(20)，载置基板(P)；以及多个支承部(20b)，是设于载置部(20)，支承载置于载置部(20)的基板(P)的一部分；多个支承部(20b)之中第1部分的支承部(20b)与第2部分的支承部(20b)，与载置有基板(P)的状态下的载置部(20)的弯曲量对应，相对于载置部(20)的高度彼此不同。
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公开(公告)号：CN105957827A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201610282679.7
申请日：2010-08-17
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/68 , H01L21/683 , B65G49/06 , G03F7/20
Abstract: 于基板(P)下方配置有对基板(P)下面喷出空气的多个空气悬浮单元(50)，并且基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。进一步地，基板(P)被定点载台(40)从下方以非接触方式保持被曝光部位，该被曝光部位的面位置被精确调整。是以，能以高精度对基板(P)进行曝光，且能使基板载台装置(PST)的构成简单化。
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公开(公告)号：CN102483578B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201080036901.6
申请日：2010-08-17
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03F7/70716 , B65G49/065 , B65G2249/04 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , H01L21/68 , H01L21/6838 , Y10T29/49998
Abstract: 于基板(P)下方配置有对基板(P)下面喷出空气的多个空气悬浮单元(50)，并且基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。进一步地，基板(P)被定点载台(40)从下方以非接触方式保持被曝光部位，该被曝光部位的面位置被精确调整。是以，能以高精度对基板(P)进行曝光，且能使基板载台装置(PST)的构成简单化。
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公开(公告)号：CN102483579B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201080036924.7
申请日：2010-08-17
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03F7/707 , B65G49/065 , G03F1/82 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , H01L21/67784 , H01L21/68 , H01L21/6838
Abstract: 基板(P)通过形成为框状的轻量基板保持框(60)所吸附保持，基板保持框(60)通过包含线性马达的驱动单元(70)沿水平面被驱动。在基板保持框(60)下方，配置有对基板(P)下面喷出空气而以非接触方式悬浮支承该基板(P)成大致水平的空气悬浮单元(50)。由于多个空气悬浮单元(50)涵盖基板保持框(60)的移动范围，因此驱动单元(70)能以高速且高精度将基板保持框(60)(基板(P))沿水平面导引。
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