公开(公告)号：CN118575123A

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202280089434.6

申请日：2022-11-28

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 浜村聪希 ,  会田康弘

IPC: G02F1/035

Abstract: 光调制器(100)具备光波导(2)、第一电极(31)、两个第二电极(32)、以及与第一电极(31)及第二电极(32)的组形成电位差的第三电极(4)。向第二电极(32)分别施加与第一电极(31)相同的相位的电压。在与光波导(2)的延伸方向垂直的剖视中，第一电极(31)设置于光波导(2)的厚度方向的一侧，两个第二电极(32)中的一个第二电极(32)相对于第一电极(31)在光波导(2)的宽度方向的一侧与第一电极(31)隔开间隔而设置，另一个第二电极(32)相对于第一电极(31)在光波导(2)的宽度方向的另一侧与第一电极(31)隔开间隔而设置。第三电极(4)设置在光波导(2)的厚度方向的另一侧。

公开(公告)号：CN118414298A

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN202280084457.8

申请日：2022-12-05

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 黑川文弥 ,  会田康弘

IPC: B81B3/00 ,  B23K1/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明提供一种能够减小第1基板和第2基板的间隔的偏差的微机电系统器件。微机电系统器件包括：第1基板，其包含微机电系统构造体；第2基板，其与第1基板隔开间隔地在相对方向上相面对；第1接合部，其具有以多个种类的金属的共晶合金作为主材料的共晶层，以在从相对方向观察时包围微机电系统构造体的方式设在第1基板和第2基板之间，且接合于第1基板和第2基板；以及接触层，其设在第1基板和第2基板之间，与第1基板和第2基板接触。接触层包含第1接合部所包含的多个种类的金属中的部分金属。