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公开(公告)号：CN1833999A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200510053865.5
申请日：2005-03-14
Applicant: 清华大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种微米/纳米组合结构器件的制作方法，包括：对一基体掺杂以形成一用作基体电极的掺杂层；成形一绝缘层并露出基体电极；淀积一牺牲层并露出基体电极；淀积一多晶硅层，并对多晶硅层进行掺杂；溅射一金属层；用多晶硅层和金属层成形出质量块、电极以及基座；其中，基座与质量块之间通过连接梁连接，质量块整体位于牺牲层之上；将质量块下方的牺牲层腐蚀去除，使得质量块悬空；将一维纳米材料固定在电极和质量块上；将基座与质量块之间的连接梁刻蚀去除。本发明集成成熟的MEMS工艺以及纳米材料组装技术来制作微米/纳米组合结构器件，其中组合结构中的MEMS微结构在工艺上易于实现，能够与IC工艺集成，实现批量生产。
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公开(公告)号：CN1664506A
公开(公告)日：2005-09-07
申请号：CN200410004660.3
申请日：2004-03-05
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种载体姿态测量方法和系统。该系统包括传感器和数据处理装置，传感器包括三轴加速度计、三轴磁强计和三轴速率陀螺，分别测量重力加速度、地磁感应强度和载体运动角速度在载体坐标系三轴上的分量。在进行信号处理时，利用测得的载体转动角速度分量对测得的重力加速度和地磁感应强度分量进行卡尔曼滤波，得到重力加速度和地磁感应强度分量真值的估计值，最后用该估计值进行载体姿态解算。本发明用稳定的陀螺信号来减小运动加速度对系统的影响，而且不存在陀螺的积分漂移问题，从而得到的载体姿态动态精度和稳定性优于现有的姿态测量系统。本发明中的传感器采用一体化MEMS芯片集成封装技术，使仪器更加小型化。
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公开(公告)号：CN116734157A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310775196.0
申请日：2023-06-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 提供了一种新燃料组件运输容器的隔热结构及新燃料组件运输容器。容器主要包括内包容壳、外包容壳和隔热结构。隔热结构包括隔热筒、隔热底和隔热盖，分别位于内包容壳、外包容壳隔开的环形、底部和顶部空腔内以起到隔热作用，三者结构形式类似，主要由隔热块与支撑块组成，其中隔热块采用硅酸铝复合纤维浇注料且将支撑块、内包容壳、外包容壳等其他构件浇注为一个不可拆卸的整体结构。如此，隔热结构可以适用于狭小的安装空间，实现紧凑型的精确设计，使其对运输容器兼具隔热和减振缓冲功能，确保新燃料组件运输期间一旦发生与GB11806所列耐热试验相同或级别相当的运输事故时也绝对不会发生核燃料外泄的核事件/核事故。
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公开(公告)号：CN113470840B
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202110684321.8
申请日：2021-06-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种螺旋多叶型核燃料元件的制造方法。通过共挤出成型的工艺形成燃料棒，使得包壳管的表面与端塞的表面的结合处形成冶金结合，包壳管的表面与燃料芯坯的表面的结合处形成冶金结合，再通过旋轧装置对燃料棒进行旋轧，从而形成多个螺旋形的叶片和多个螺旋槽。通过共挤出成型和旋轧成型两步成型工艺分别实现包壳管与燃料芯坯的冶金结合和成型螺旋多叶型核燃料元件的外形结构，工艺可控性好。并且，通过旋轧装置进行一次旋轧作业即可成型出足够的设计长度的叶片，从而能够形成足够长度的螺旋多叶型核燃料元件，且尺寸可控而精度高。
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公开(公告)号：CN101876562A
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200910241896.1
申请日：2009-12-14
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种调节锥式差压流量计，其包括环形入口段(1)以及位于所述环形入口段的底部的流量调节锥(2)、由下而上依次设置于所述流量调节锥(2)的上方的圆锥形收缩段(3)、圆筒形喉部段(4)和圆锥形扩散段(5)，以及沿与圆筒形喉部段(4)的轴线垂直的方向布置于所述环形入口段内的差压信号测量管(6)。该流量计结构简单、易于加工制造、流动阻力可连续调节，可用于热工水力学试验研究中小驱动压头及高温高压流体流动的流量测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100428500C
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200610000995.7
申请日：2006-01-13
Applicant: 清华大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及的基于一维半导体纳米结构的光电传感器和制作方法，包括：一单晶硅片式基体；依次通过热氧化法生长于单晶硅片式基体表面上的二氧化硅层和采用低压化学气相沉积法或等离子增强化学气相沉积法淀积在二氧化硅层表面上的氮化硅层；二氧化硅层和氮化硅层构成绝缘层；还包括：通过光刻/离子刻蚀法制备于绝缘层表面上的由第一梳式电极和第二梳式电极构成的梳式电极对；电极对的多梳齿端相对放置，之间组装有一维半导体纳米结构；有益效果：微电极对的制作为标准微加工工艺，方法简单；一维半导体纳米结构尺寸小，表面积/体积比大，光电效率高，且简单的电泳组装可实现批量生产；该光电传感器尺寸小，灵敏度高，能用于光检测、光开关等。
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公开(公告)号：CN1805156A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200610000995.7
申请日：2006-01-13
Applicant: 清华大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及的基于一维半导体纳米结构的光电传感器和制作方法，包括：一单晶硅片式基体；依次通过热氧化法生长于单晶硅片式基体表面上的二氧化硅层和采用低压化学气相沉积法或等离子增强化学气相沉积法淀积在二氧化硅层表面上的氮化硅层；二氧化硅层和氮化硅层构成绝缘层；还包括：通过光刻/离子刻蚀法制备于绝缘层表面上的由第一梳式电极和第二梳式电极构成的梳式电极对；电极对的多梳齿端相对放置，之间组装有一维半导体纳米结构；有益效果：微电极对的制作为标准微加工工艺，方法简单；一维半导体纳米结构尺寸小，表面积/体积比大，光电效率高，且简单的电泳组装可实现批量生产；该光电传感器尺寸小，灵敏度高，能用于光检测、光开关等。
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公开(公告)号：CN116697252A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310775198.X
申请日：2023-06-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 提供了一种新燃料组件运输容器的外包容壳及新燃料组件运输容器。外包容壳包括外壳体、吸能组件及紧固件等。吸能组件包括支筋环、支架、吸能环及吸能罩。支筋环套设于外壳体，支架为U形结构，支筋环、支架、外壳体间的所有接缝均为固定连接；吸能环为中空锥状的环腔结构且套设于外壳体；吸能罩为锥筒状的中空罩腔结构且位于外壳体两端外侧。如此，在运输期间发生与GB11806所列力学试验相同或级别相当的运输事件/事故时，吸能组件的变形能够减缓外包容壳在轴向和径向上的冲击以确保其结构完整且密封，能够有效地降低新燃料组件的耗能以缓解其损伤程度，从而避免放射性物质向外部环境的释放。
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公开(公告)号：CN113470841A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110684332.6
申请日：2021-06-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种具有扭绞结构的螺旋多叶型核燃料元件及其制造方法。通过共挤出成型的工艺形成燃料棒，使得包壳管的表面与端塞的表面的结合处形成冶金结合，包壳管的表面与燃料芯坯的表面的结合处形成冶金结合，再通过辊压装置对燃料棒进行辊压，从而形成多个具有扭绞结构的螺旋形的叶片和多个螺旋槽。通过共挤出成型和辊压成型两步成型工艺分别实现包壳管与燃料芯坯的冶金结合和成型具有扭绞结构的螺旋多叶型核燃料元件的外形结构，工艺可控性好。并且，通过辊压装置进行一次辊压作业即可成型出足够的设计长度的叶片，从而能够形成足够长度的具有扭绞结构的螺旋多叶型核燃料元件，且尺寸可控而精度高。
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公开(公告)号：CN113470840A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110684321.8
申请日：2021-06-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种螺旋多叶型核燃料元件的制造方法。通过共挤出成型的工艺形成燃料棒，使得包壳管的表面与端塞的表面的结合处形成冶金结合，包壳管的表面与燃料芯坯的表面的结合处形成冶金结合，再通过旋轧装置对燃料棒进行旋轧，从而形成多个螺旋形的叶片和多个螺旋槽。通过共挤出成型和旋轧成型两步成型工艺分别实现包壳管与燃料芯坯的冶金结合和成型螺旋多叶型核燃料元件的外形结构，工艺可控性好。并且，通过旋轧装置进行一次旋轧作业即可成型出足够的设计长度的叶片，从而能够形成足够长度的螺旋多叶型核燃料元件，且尺寸可控而精度高。
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