公开(公告)号：CN1754409A

公开(公告)日：2006-03-29

申请号：CN03801713.X

申请日：2003-08-28

Applicant: 积水化学工业株式会社

Inventor： 真弓聪 ,  日野守 ,  屋代进 ,  清水治和

IPC: H05H1/24 ,  H01L21/3065 ,  C08J7/00

CPC classification number: H01J37/32009 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32541 ,  H01J37/32752 ,  H05H1/48 ,  H05H2001/3478

Abstract: 等离子处理装置M1装有用于支撑一对长条电极(30)的处理部分(20)。处理部分(20)设有多个拉动螺栓(52)(用于阻止靠近变形的装置)，在电极(30)纵向上相互隔开地排列螺栓(52)。拉动螺栓(52)的头部通过螺栓支架(53)钩住刚性板(33)，而螺栓(52)的腿部拧入电极(30)。由此，可以防止这种电极由于库仑力而变形。

公开(公告)号：CN1422307A

公开(公告)日：2003-06-04

申请号：CN01807846.X

申请日：2001-04-09

Applicant: 积水化学工业株式会社

Inventor： 日野守 ,  西村善雄

IPC: C09D4/02 ,  C09D4/06 ,  C09D5/00 ,  C09D183/07 ,  B32B27/16 ,  B32B27/18

CPC classification number: B29D11/00865 ,  C09D4/00 ,  C08F222/1006

Abstract: 一种抗静电硬涂层用组合物，其是对于多官能丙烯酸酯100重量份，配合粒径10～30nm的导电性微粒子50～400重量份和、用有机物进行表面处理了的从氧化硅粒子、有机硅氧烷及硅丙烯酸酯组成群中选出的至少一种的硅系化合物10～80重量份；抗静电硬涂层，其是将抗静电硬涂层用组合物固化后形成；抗静电硬涂层层压体膜，其是在基材膜上形成抗静电硬涂层；以及抗静电硬涂层的制造方法，在将抗静电硬涂层用组合物涂敷在基膜上，并进行干燥、固化后形成的抗静电硬涂层上，进行通过电晕放电、等离子放电、低压水银灯或激基缔合物激光的物理处理，或用有机溶剂浸蚀固化物表面，控制Si元素量的化学处理中选出的任意一种的表面处理。