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公开(公告)号：CN101493650A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200910009801.3
申请日：2009-01-23
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G03F7/00 , G02B3/00 , H01L21/82 , H01L27/146
CPC classification number: B29D11/00365 , G02B3/0031
Abstract: 本发明披露了一种微透镜制造方法和固态图像传感器制造方法，其中，微透镜制造方法包括通过在形成于基板上的微透镜形成膜上压上其中形成有微透镜的反转形状的微透镜模，以将微透镜的反转形状转印到微透镜形成膜上，形成微透镜。通过用曝光光束通过相对的二维扫描照射形成于模基板上的无机抗蚀膜，并且蚀刻无机抗蚀膜的露出区域以形成微透镜的反转形状，形成微透镜模。基于微透镜的反转形状的轮廓数据，曝光光束的照射强度被调节为对应于微透镜的反转形状从无机抗蚀膜的表面起的深度。
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公开(公告)号：CN1169132C
公开(公告)日：2004-09-29
申请号：CN99118390.8
申请日：1999-09-03
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G11B7/0909 , G11B7/0914 , G11B7/0917 , G11B7/0927 , G11B7/0937 , G11B7/122 , G11B7/1387 , G11B7/261
Abstract: 一种波束辐照仪，包括一用于产生光束、电子束和离子束中至少之一的波束发生器(41)，以及一用于聚焦从波束发生器(41)发出的波束的聚焦镜头(48)。该波束辐照仪包括至少第一和第二调焦机构(71)和(72)，其中每个调焦机构相对于构成聚焦镜头的同一透镜系统控制波束的焦点位置，以便利用聚焦镜头(48)把波束聚焦到辐照物体(40)上，从而可获得细微的波束光斑并进行可靠而稳定的调焦。
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公开(公告)号：CN1525466A
公开(公告)日：2004-09-01
申请号：CN03158849.2
申请日：1999-09-03
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G11B7/26
CPC classification number: G11B7/0909 , G11B7/0914 , G11B7/0917 , G11B7/0927 , G11B7/0937 , G11B7/122 , G11B7/1387 , G11B7/261
Abstract: 一种波束辐照仪，包括一用于产生光束、电子束和离子束中至少之一的波束发生器(41)，以及一用于聚焦从波束发生器(41)发出的波束的聚焦镜头(48)。该波束辐照仪包括至少第一和第二调焦机构(71)和(72)，其中每个调焦机构相对于构成聚焦镜头的同一透镜系统控制波束的焦点位置，以便利用聚焦镜头(48)把波束聚焦到辐照物体(40)上，从而可获得细微的波束光斑并进行可靠而稳定的调焦。
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公开(公告)号：CN101493650B
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN200910009801.3
申请日：2009-01-23
Applicant: 索尼株式会社
IPC: B29D11/00 , G02B3/00 , H01L21/82 , H01L27/146
CPC classification number: B29D11/00365 , G02B3/0031
Abstract: 本发明披露了一种微透镜制造方法和固态图像传感器制造方法，其中，微透镜制造方法包括通过在形成于基板上的微透镜形成膜上压上其中形成有微透镜的反转形状的微透镜模，以将微透镜的反转形状转印到微透镜形成膜上，形成微透镜。通过用曝光光束通过相对的二维扫描照射形成于模基板上的无机抗蚀膜，并且蚀刻无机抗蚀膜的露出区域以形成微透镜的反转形状，形成微透镜模。基于微透镜的反转形状的轮廓数据，曝光光束的照射强度被调节为对应于微透镜的反转形状从无机抗蚀膜的表面起的深度。
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公开(公告)号：CN101413866B
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN200810170505.7
申请日：2008-10-17
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01N15/1484 , B01L3/5027 , B01L9/527 , B01L2200/0647 , B01L2300/0816 , G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N21/6428 , G01N2015/1006 , G01N2015/1438
Abstract: 本发明披露了一种光学测量装置和设备以及使用光学测量装置的微小粒子测量设备，该光学测量装置包括：彼此平行延伸的多个微流体通道；以及用于沿微流体通道被并置的扫描方向扫描多个测量光束的扫描装置，从而光学测量导入到所述微流体通道中的微小粒子。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101413866A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200810170505.7
申请日：2008-10-17
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G01N15/1484 , B01L3/5027 , B01L9/527 , B01L2200/0647 , B01L2300/0816 , G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N21/6428 , G01N2015/1006 , G01N2015/1438
Abstract: 本发明披露了一种光学测量装置和设备以及使用光学测量装置的微小粒子测量设备，该光学测量装置包括：彼此平行延伸的多个微流体通道；以及用于沿微流体通道被并置的扫描方向扫描多个测量光束的扫描装置，从而光学测量导入到所述微流体通道中的微小粒子。
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公开(公告)号：CN1183522C
公开(公告)日：2005-01-05
申请号：CN00124010.2
申请日：2000-08-11
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: B82Y10/00 , G11B7/08511 , G11B7/0908 , G11B7/0945 , G11B7/1362 , G11B7/1365 , G11B7/1372 , G11B7/1381 , G11B7/26
Abstract: 本发明用来在例如通过近场记录(NFR)进行原盘曝光的曝光装置中进行近场记录时可靠进行聚焦控制。物镜根据盘形记录媒体反射的光和物镜出射面反射的光之间的干涉产生的干涉光束的光量检测结果而移动。
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公开(公告)号：CN1174396C
公开(公告)日：2004-11-03
申请号：CN00122461.1
申请日：2000-07-31
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G11B7/1387 , G03B27/72 , G11B7/0937 , G11B7/122 , G11B7/127 , G11B7/261
Abstract: 揭示了一种曝光设备和曝光方法。例如，把准备用于制备光盘的主盘装到曝光装置上，以便对记录密度基本上提高的光盘的主盘进行曝光。由SHG发射的波长为300nm或更短的曝光激光束经调制器的调制，用数值孔径为1.0或更大的物镜利用近场效应加到主盘。
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公开(公告)号：CN1282956A
公开(公告)日：2001-02-07
申请号：CN00122461.1
申请日：2000-07-31
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G11B7/1387 , G03B27/72 , G11B7/0937 , G11B7/122 , G11B7/127 , G11B7/261
Abstract: 揭示了一种曝光设备和曝光方法。例如,把准备用于制备光盘的光盘原版装到曝光装置上,以便对记录密度基本上提高的光盘的光盘原版进行曝光。由SHG发射的波长为300nm或更短的曝光激光束经调制器的调制,用数值孔径为1.0或更大的物镜利用近场效应加到光盘原版。
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公开(公告)号：CN1246704A
公开(公告)日：2000-03-08
申请号：CN99118390.8
申请日：1999-09-03
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G11B7/0909 , G11B7/0914 , G11B7/0917 , G11B7/0927 , G11B7/0937 , G11B7/122 , G11B7/1387 , G11B7/261
Abstract: 一种波束辐照仪,包括一用于产生光束、电子束和离子束中至少之一的波束发生器(41),以及一用于聚焦从波束发生器(41)发出的波束的聚焦镜头(48)。该波束辐照仪包括至少第一和第二调焦机构(71)和(72),其中每个调焦机构相对于构成聚焦镜头的同一透镜系统控制波束的焦点位置,以便利用聚焦镜头(48)把波束聚焦到辐照物体(40)上,从而可获得细微的波束光斑并进行可靠而稳定的调焦。
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