公开(公告)号：CN118973973A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202380031505.1

申请日：2023-03-17

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 小川修平 ,  小川朝敬 ,  金原一树

IPC: C03C3/087 ,  C03C3/078 ,  C03C3/085 ,  C03C3/089 ,  C03C3/091 ,  C03C3/097 ,  C03C3/112 ,  H01L21/3065

Abstract: 本发明涉及一种耐等离子体性部件用的玻璃块，含有硅、以及镁和钙中的至少一种，并且，将碱金属元素设为R1，碱土金属元素设为R2时，以氧化物基准的摩尔百分率表示，MgO和CaO的含量的合计为3.0摩尔％以上且小于29.0摩尔％，R2O的含量为3.0摩尔％以上且小于35.0摩尔％，R12O的含量为8.0摩尔％以下。

公开(公告)号：CN118696147A

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202380022035.2

申请日：2023-02-14

Applicant: AGC株式会社 ,  翼真空理研株式会社

Inventor： 石川道夫 ,  谷村径夫 ,  小川修平 ,  小川朝敬

IPC: C23C14/06 ,  C23C16/44 ,  H01L21/316

Abstract: 本发明涉及一种钇质保护膜，其X射线衍射图谱中的Y5O4F7的峰强度比为60％以上，气孔率小于1.5体积％，维氏硬度为500MPa以上。

公开(公告)号：CN116848074A

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：CN202280014662.7

申请日：2022-02-25

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 小川修平 ,  宫川直通

IPC: C04B35/195

Abstract: 本发明涉及一种堇青石质烧结体，含有属于由钙、镁、铝和硅构成的元素组M1的全部元素，以氧化物换算计，上述钙的含量为0.06质量％～3.40质量％，上述镁的含量为12.9质量％以上，除属于上述元素组M1的元素以外的金属元、即元素M2的含量为1.5质量％以下，所述堇青石质烧结体的气孔率为3.0体积％以下，四点弯曲强度为170MPa以上，威布尔系数为9.5以上。

公开(公告)号：CN116745251A

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202280010574.X

申请日：2022-01-18

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 塙优 ,  小川修平 ,  稻叶诚二

IPC: C03C27/00

Abstract: 本发明涉及一种层叠部件，其具有：波长850nm处的直线透射率为规定范围的玻璃部件、在玻璃部件上的包含树脂的接合层、以及在接合层上的Si－SiC部件，其中，玻璃部件包含规定量的SiO2、Al2O3、B2O3和P2O5，Si－SiC部件的20～200℃的平均线膨胀系数α、玻璃部件的20～200℃的平均线膨胀系数β、以及由α减去β而得的值的绝对值|α－β|为规定范围。