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公开(公告)号:CN117940385A
公开(公告)日:2024-04-26
申请号:CN202280061637.4
申请日:2022-09-06
Applicant: AGC株式会社
IPC: C03C3/087 , C03B5/235 , C03B25/00 , C03C3/062 , C03C3/064 , C03C3/066 , C03C3/068 , C03C3/076 , C03C3/078 , C03C3/083 , C03C3/085 , C03C3/089 , C03C3/091 , C03C3/093 , C03C3/095 , C03C3/097 , C03C3/112 , H01L21/3065
Abstract: 本发明提供耐等离子体性和透明性优异的玻璃块。本发明的玻璃块含有Mg和Ca中的至少任一者与Si,以摩尔%计,B2O3为49.0%以下,P2O5为11.5%以下,a(=SiO2+B2O3+P2O5+GeO2)为10.0~59.5%,a+Al2O3为66.5%以下,Ga2O3为7.0%以下,b(=Al2O3+Ga2O3+In2O3)/a为0.44以下,R2O为20.0%以上(R2:碱土金属),MgO为50.0%以下,MgO≥BaO,CaO≥BaO,SrO≥BaO,MgO≥SrO,CaO≥SrO,R12O为1.2%以下(R1:碱金属),TiO2或者ZrO2为4.8%以下,MnO2为9.5%以下,ZnO为11.8%以下,Ta2O5/SiO2为0.067以下,杂质元素为15.0%以下,F/O为0.20以下。
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公开(公告)号:CN114127032B
公开(公告)日:2023-04-28
申请号:CN202080051640.9
申请日:2020-07-14
Applicant: AGC株式会社
IPC: C04B37/02 , C03C3/085 , C03C3/087 , C03C3/091 , C04B35/565 , C04B35/581 , C04B35/622 , C04B35/64
Abstract: 一种层叠构件,具有波长850nm处的线性透射率为80%以上的玻璃构件、上述玻璃构件上的为树脂的接合层和上述接合层上的为SiC构件或AlN构件的陶瓷构件。
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公开(公告)号:CN114127032A
公开(公告)日:2022-03-01
申请号:CN202080051640.9
申请日:2020-07-14
Applicant: AGC株式会社
IPC: C04B37/02 , C03C3/085 , C03C3/087 , C03C3/091 , C04B35/565 , C04B35/581 , C04B35/622 , C04B35/64
Abstract: 一种层叠构件,具有波长850nm处的线性透射率为80%以上的玻璃构件、上述玻璃构件上的为树脂的接合层和上述接合层上的为SiC构件或AlN构件的陶瓷构件。
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公开(公告)号:CN115697929A
公开(公告)日:2023-02-03
申请号:CN202180041324.8
申请日:2021-06-02
Applicant: AGC株式会社
Abstract: 本发明涉及一种玻璃,以氧化物基准的摩尔百分率表示计,含有:SiO2:52~80%,B2O3:5~30%,Al2O3:2~30%,P2O5:0.1~11%,Na2O:0.0001~5%;50~350℃下的平均热膨胀系数α为5×10-7/℃以上且小于33×10-7/℃。
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公开(公告)号:CN115666932A
公开(公告)日:2023-01-31
申请号:CN202180041313.X
申请日:2021-06-02
Applicant: AGC株式会社
IPC: B32B9/00 , B32B9/04 , B32B17/10 , C03C3/091 , C03C3/097 , C04B37/00 , C04B37/04 , F24C15/10 , H05B6/12
Abstract: 本发明涉及一种层叠部件,其具有:波长850nm处的直线透射率为80%以上的玻璃部件、在玻璃部件上的包含树脂的接合层、以及在接合层上的Si-SiC部件,Si-SiC部件的20~200℃的平均线膨胀系数α为2.85~4.00ppm/℃。
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公开(公告)号:CN110418773B
公开(公告)日:2022-03-18
申请号:CN201880017832.0
申请日:2018-03-08
Applicant: AGC株式会社
IPC: C04B35/00
Abstract: 本发明涉及一种透光性陶瓷烧结体,其以10个/mm3以上且4000个/mm3以下的范围包含孔径为1μm以上且不足5μm的气泡,并且闭孔率为0.01体积%以上且1.05体积%以下。这种透光性陶瓷烧结体中,厚度为1.90mm的试验片在波长500~900nm的可见光谱下的平均透过率为70%以上,并且厚度为1.90mm的试验片在0.5mm的光梳宽度下的清晰度为60%以上。
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公开(公告)号:CN119731366A
公开(公告)日:2025-03-28
申请号:CN202380060506.9
申请日:2023-06-21
IPC: C23C14/08 , C01F17/218 , C23C14/22 , C23C14/48 , C25D11/18 , H01L21/3065 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种耐等离子体性和外观优异的钇质保护膜。本发明提供一种钇质保护膜,含有氧化钇,气孔率小于0.5体积%,维氏硬度为800HV以上。该钇质保护膜优选厚度为0.3μm以上,微晶尺寸为40nm以下,Y2O3的(222)晶面的取向度为50%以上,氢原子数为5.0×1021个/cm3以下,压缩应力为100~1700MPa。
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公开(公告)号:CN110418773A
公开(公告)日:2019-11-05
申请号:CN201880017832.0
申请日:2018-03-08
Applicant: AGC株式会社
IPC: C04B35/00
Abstract: 本发明涉及一种透光性陶瓷烧结体,其以10个/mm3以上且4000个/mm3以下的范围包含孔径为1μm以上且不足5μm的气泡,并且闭孔率为0.01体积%以上且1.05体积%以下。这种透光性陶瓷烧结体中,厚度为1.90mm的试验片在波长500~900nm的可见光谱下的平均透过率为70%以上,并且厚度为1.90mm的试验片在0.5mm的光梳宽度下的清晰度为60%以上。
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