感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、半导体元件以及显示元件

    公开(公告)号:CN118818897A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410472459.5

    申请日:2024-04-19

    Inventor: 成子朗人

    Abstract: 本发明提供一种放射线感度优异、且可形成介电常数低、透明性优异的硬化膜的感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、半导体元件以及显示元件。一种感放射线性组合物,含有:[A]聚合体成分,在同一分子内或不同分子内包含具有式(1)所表示的部分结构的第一结构单元、及具有式(2)所表示的部分结构的第二结构单元;以及[B]光酸产生剂,相对于聚合体成分的全部结构单元,包含5质量%~50质量%的第一结构单元,包含0.1质量%~20质量%的第二结构单元。式(1)中,Ar1为二价芳香环基。Y1为酸解离性基。式(2)中,R1、R2及R3中的一个以上为碳数1~6的烷氧基。“*”表示与碳原子键结的结合键。#imgabs0#

    感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、液晶显示装置以及有机EL显示装置

    公开(公告)号:CN117148680A

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202310618591.8

    申请日:2023-05-30

    Abstract: 本发明提供一种放射线灵敏度高且预烘烤裕度及耐干燥性优异的感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、液晶显示装置以及有机EL显示装置。一种感放射线性组合物,含有:(A‑1)聚合体,选自由包含具有式(1)所表示的基或酸解离性基的结构单元(I)的聚合体及硅氧烷聚合物所组成的群组中的至少一种;(B‑1)光酸产生剂;以及(D)溶剂,(D)溶剂包含沸点为180℃以上且汉森溶解度参数的氢键项δH为3.0以上且13.0以下的溶剂(D1)。式(1)中,R1、R2及R3为氢原子、卤素原子、羟基、碳数1~6的烷氧基、碳数1~10的烷基或苯基。其中,R1、R2及R3中的至少一个为碳数1~6的烷氧基。

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