公开(公告)号：CN117629497A

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN202311097649.5

申请日：2023-08-29

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 小林正典 ,  海野健 ,  笹原哲也 ,  波多彻雄

IPC: G01L9/04 ,  G01L19/06

Abstract: 本发明提供一种可以适当地防止水分等经由电极和保护膜之间的界面侵入的问题的传感器构件。传感器构件具有：被保护部，其设置于金属基材的一个面，具有检测部；保护膜，其具有：第1保护膜部分，其具有第1厚度；以及第2保护膜部分，其具有比所述第1厚度更厚的第2厚度，形成于通向所述被保护部的开口的开口周缘，所述保护膜从上方覆盖所述被保护部的至少一部分；以及电极部，其具有：第1电极部分，其配置于所述开口，与所述被保护部连接；以及第2电极部分，其在所述第1电极部分的外周缘与所述第1电极部分连接，形成于所述第2保护膜部分之上。

公开(公告)号：CN116888445A

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202280017577.6

申请日：2022-02-25

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 小林正典 ,  海野健 ,  笹原哲也 ,  绳冈孝平

IPC: G01L9/00

Abstract: 本发明提供耐热性及耐湿性优异的层叠电极、带电极的应变电阻膜及压力传感器。一种层叠电极(36)，其设置于应变电阻膜(32)之上，应变电阻膜(32)含有Cr和Al，层叠电极(36)具有重叠于应变电阻膜(32)之上的接触层(36a)、重叠于接触层(36a)之上的防扩散层(36b)、以及重叠于防扩散层(36b)之上的安装层(36c)，防扩散层(36b)或安装层(36c)，以接触层(36a)的端面(36a1)不露出的方式，覆盖接触层(36a)。

公开(公告)号：CN117980711A

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202280064637.X

申请日：2022-06-17

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 绳冈孝平 ,  海野健 ,  小林正典 ,  笹原哲也

IPC: G01L9/04 ,  G01K7/22 ,  G01L1/22

Abstract: 一种温度敏感应变敏感复合传感器，其中，具有：应变敏感电阻膜，其以通式Cr(100‑x‑y)AlxNy表示，x、y各自的组成区域为5＜x≤50、0.1≤y≤20；和温度敏感电阻膜，其在‑50℃以上450℃以下的温度范围内的电阻温度系数(TCR)的绝对值为2000ppm/℃以上。

公开(公告)号：CN114902028A

公开(公告)日：2022-08-12

申请号：CN202180007836.2

申请日：2021-02-15

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 小林正典 ,  海野健 ,  笹原哲也 ,  绳冈孝平

IPC: G01L9/04

Abstract: 本发明提供一种在层叠方向上具有多个检测部而且检测精度提高的压力传感器。本发明的压力传感器(10)具有：膜(22)，其产生与压力对应的变形；第一测量层(40)，其形成在膜(22)上；中间绝缘层(50)，其形成在第一测量层(40)之上；以及第二测量层(60)，其形成在中间绝缘层(50)之上。第一测量层(40)及第二测量层(60)分别包括检测膜的变形的第一检测部(42)及第二检测部(62)。从膜(22)的表面至第二检测部(62)的距离在30μm以内。