传感器构件及物理量传感器
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117629497A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311097649.5

    申请日:2023-08-29

    Abstract: 本发明提供一种可以适当地防止水分等经由电极和保护膜之间的界面侵入的问题的传感器构件。传感器构件具有:被保护部,其设置于金属基材的一个面,具有检测部;保护膜,其具有:第1保护膜部分,其具有第1厚度;以及第2保护膜部分,其具有比所述第1厚度更厚的第2厚度,形成于通向所述被保护部的开口的开口周缘,所述保护膜从上方覆盖所述被保护部的至少一部分;以及电极部,其具有:第1电极部分,其配置于所述开口,与所述被保护部连接;以及第2电极部分,其在所述第1电极部分的外周缘与所述第1电极部分连接,形成于所述第2保护膜部分之上。

    层叠电极、带电极的应变电阻膜及压力传感器

    公开(公告)号:CN116888445A

    公开(公告)日:2023-10-13

    申请号:CN202280017577.6

    申请日:2022-02-25

    Abstract: 本发明提供耐热性及耐湿性优异的层叠电极、带电极的应变电阻膜及压力传感器。一种层叠电极(36),其设置于应变电阻膜(32)之上,应变电阻膜(32)含有Cr和Al,层叠电极(36)具有重叠于应变电阻膜(32)之上的接触层(36a)、重叠于接触层(36a)之上的防扩散层(36b)、以及重叠于防扩散层(36b)之上的安装层(36c),防扩散层(36b)或安装层(36c),以接触层(36a)的端面(36a1)不露出的方式,覆盖接触层(36a)。

    层叠电极、带电极的应变电阻膜及压力传感器

    公开(公告)号:CN118043635A

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202180102998.4

    申请日:2021-10-07

    Abstract: 本发明提供一种应变电阻膜用层叠电极等,其在使用含有Cr和Al的膜作为应变电阻膜的情况下,即使在暴露于高温环境之后,也能够实现相对于配线的良好的粘合力。所述层叠电极设置于应变电阻膜上,其中,所述应变电阻膜含有Cr和Al,所述层叠电极具有重叠于所述应变电阻膜上的接触层、重叠于所述接触层上的防扩散层以及重叠于所述防扩散层上的安装层,所述防扩散层含有属于第五周期及第六周期的过渡元素。

    带绝缘膜的金属部件、物理量传感器和压力传感器

    公开(公告)号:CN116659558A

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN202310104783.7

    申请日:2023-02-13

    Abstract: 本发明提供能够防止在绝缘膜缘部产生裂纹、剥离的带绝缘膜的金属部件、物理量传感器和压力传感器。带绝缘膜的金属部件包括:具有膜形成面和连接面的金属部件,其中,上述连接面朝向与上述膜形成面不同的方向且与上述膜形成面连接;绝缘膜,其跨上述膜形成面与上述连接面的连接位置覆盖上述膜形成面和上述连接面的至少一部分;和加强部,其沿着上述绝缘膜中覆盖上述连接位置的部分即绝缘膜缘部形成,从与上述金属部件相反的一侧覆盖上述绝缘膜缘部的至少一部分。

    压力传感器元件
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114303047A

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202080061192.0

    申请日:2020-08-28

    Abstract: 本发明提供适于小型化的传感器元件。本发明的压力传感器元件具有:金属板;绝缘膜,其以在作为所述金属板的一个表面的第一表面形成所述第一表面被覆盖的覆盖区域和所述第一表面露出的露出区域的方式设置;以及压力检测电路,其以通过所述绝缘膜相对于所述第一表面绝缘的方式,形成于所述绝缘膜。

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