公开(公告)号：CN106970082A

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201611100049.X

申请日：2016-12-02

Applicant: 株式会社迪思科

Inventor： 伊藤优作 ,  久木田瑠璃子 ,  矢野紘英 ,  谷本宙一

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N21/47 ,  G01N21/01

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/01 ,  G01N21/47 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/0112 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2201/104

Abstract: 提供检查装置，能够缩短被检查物的检查所需要的时间。一种检查装置(2)，其对板状的被检查物(11)进行检查，该检查装置(2)包含：被检查物保持单元(6)，其具有对被检查物进行保持的保持面(6a)；缺陷检测单元(8)，其根据照射到被检查物的面(11a)上的激光光线(21)的散射光(23)而对面内的缺陷进行检测；以及三维测量单元(10)，其对包含有缺陷检测单元所检测到的缺陷在内的区域进行三维拍摄而进行再评价。

公开(公告)号：CN106500837A

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201610850290.8

申请日：2016-09-26

Applicant: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所

Inventor： 周镇乔 ,  贾宏博

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/06 ,  G01J3/28 ,  G01N21/64

CPC classification number: G01J3/2823 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/06 ,  G01J2003/064 ,  G01N21/6456 ,  G01N2201/06166 ,  G01N2201/104

Abstract: 本发明提供一种成像光谱仪，其包括沿光线传输方向依次设置的振镜组或柱面镜、第一透镜、反射镜、第二透镜、二向色镜、物镜、光栅、成像透镜及相机，飞秒激光射向振镜组或柱面镜，经第一透镜聚焦于反射镜，被反射至第二透镜准直并射向二向色镜，二向色镜透射激光而反射荧光，透射过二向色镜的飞秒激光经物镜后射向样品，样品中的荧光粉受激发产生荧光并射向二向色镜，反射至光栅进行光谱分离后经成像透镜成像于相机的感光面。所述成像光谱仪通过飞秒激光对样品进行线照明，利用双光子荧光激发效应的空间选择性，替代了一般光谱仪的狭缝结构，提高了成像光谱仪的荧光探测效率，再通过机械振镜扫描照明线或移动样品即能重构出一幅二维光谱图像。