公开(公告)号：CN107037058A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201611166886.2

申请日：2016-12-16

Applicant: 株式会社迪思科

Inventor： 伊藤优作 ,  矢野紘英 ,  谷本宙一 ,  久木田瑠璃子

IPC: G01N21/89 ,  G01N21/892 ,  G01B11/06

CPC classification number: G01N21/8914 ,  G01B11/0691 ,  G01N21/892 ,  G01N2021/8925

Abstract: 提供检查装置，缩短被检查物检查所需的时间。检查装置(2)对板状的被检查物(11)进行检查，其具有：保持工作台(6)，其对被检查物进行保持；旋转机构(8)，其使保持工作台旋转；和检查单元(10)，其对保持在保持工作台上的被检查物进行检查，检查单元包含取得检查信息的第1检测单元(24)和第2检测单元(26)，该检查信息被用于检测被检查物的缺损、被检查物的表面的伤痕、附着于被检查物的附着物以及被检查物的厚度中的任意情况，一边使保持着被检查物的状态的保持工作台旋转，一边使检查单元按照包含被检查物的中心(11d)在内的直线状的区域(13)直线移动，从而利用第1检测单元和第2检测单元取得检查信息。

公开(公告)号：CN106970082A

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201611100049.X

申请日：2016-12-02

Applicant: 株式会社迪思科

Inventor： 伊藤优作 ,  久木田瑠璃子 ,  矢野紘英 ,  谷本宙一

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N21/47 ,  G01N21/01

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/01 ,  G01N21/47 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/0112 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2201/104

Abstract: 提供检查装置，能够缩短被检查物的检查所需要的时间。一种检查装置(2)，其对板状的被检查物(11)进行检查，该检查装置(2)包含：被检查物保持单元(6)，其具有对被检查物进行保持的保持面(6a)；缺陷检测单元(8)，其根据照射到被检查物的面(11a)上的激光光线(21)的散射光(23)而对面内的缺陷进行检测；以及三维测量单元(10)，其对包含有缺陷检测单元所检测到的缺陷在内的区域进行三维拍摄而进行再评价。