干蚀刻剂
    26.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103718277A

    公开(公告)日:2014-04-09

    申请号:CN201280037156.6

    申请日:2012-06-13

    Abstract: 提供对地球环境的影响小且具有所需要的性能的干蚀刻剂。提供一种干蚀刻剂,其分别以特定的体积%包含(A)式CaFbHc(式中,a、b和c分别表示正整数,并且满足2≤a≤5、c<b≥1、2a+2>b+c、b≤a+c的关系。其中,a=3、b=4、c=2的情况除外。)所示的含氟不饱和烃、(B)选自由O2、O3、CO、CO2、COCl2、COF2、F2、NF3、Cl2、Br2、I2以及YFn(其中,Y表示Cl、Br或I。n表示1~5的整数。)组成的组中的至少一种气体、和(C)选自由N2、He、Ar、Ne、Xe以及Kr组成的组中的至少一种气体。

    反式-1-氯-3,3,3-三氟丙烯的制造方法

    公开(公告)号:CN108473398B

    公开(公告)日:2022-05-06

    申请号:CN201780006302.1

    申请日:2017-01-12

    Abstract: 本发明提供由反应性低的中间产物有效地制造1‑氯‑3,3,3‑三氟丙烯的方法。提供一种反式‑1‑氯‑3,3,3‑三氟丙烯的制造方法,其特征在于,在固体催化剂和氯气的存在下,使下述通式(1)所示的碳数3的卤代烃化合物与氟化氢在气相中反应。C3HXClYFZ(1)(式中,X为2或3,X=2时,Y为1~4的整数,Z为0~3的整数,满足Y+Z=4。X=3时,Y为1~5的整数,Z为0~4的整数,满足Y+Z=5。其中,前述通式(1)表示除反式‑1‑氯‑3,3,3‑三氟丙烯之外的碳数3的卤代烃化合物)。

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