公开(公告)号：CN102069296A

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：CN201010531431.2

申请日：2010-11-04

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 仓知孝介 ,  久保田雅彦 ,  冈野明彦 ,  平本笃司

IPC: B23K26/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: B23K26/18 ,  B23K26/361 ,  B23K26/40 ,  B23K26/53 ,  B23K26/60 ,  B23K2103/50 ,  H01L21/268

Abstract: 本发明提供一种能够提高加工形状的精度和加工形状的自由度的激光加工方法。当在作为待加工对象的基板(W)中形成凹部时，用作为第一激光的改性激光(L1)的会聚点(LS1)扫描基板(W)的内部，以在与凹部的底部对应的位置中形成改性层(Wr)，所述改性层(Wr)成为激光加工区域(R1)的边界(改性层形成步骤)。然后，用作为第二激光的会聚加工激光照射基板(W)的表面(Wa)以去除和加工由改性层(Wr)限定的激光加工区域(R1)，以由此形成凹部(去除/加工步骤)。

公开(公告)号：CN1977217B

公开(公告)日：2011-05-04

申请号：CN200580021432.X

申请日：2005-06-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 石仓宏惠 ,  芝昭二 ,  冈野明彦

IPC: G03F7/039 ,  B41J2/16

CPC classification number: G03F7/0392 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1639

Abstract: 正型光敏树脂组合物包含聚丙烯酸酯树脂和可缩合交联剂，该聚丙烯酸酯树脂的结构中具有至少一种由以下通式(1)表示的结构单元：通式(1)其中X表示羟基、含2到4个碳原子的羟烷基、或羟甲基氨基；R1和R2独立地表示氢原子、或含1到3个碳原子的烷基；R3表示含1到3个碳原子的烷基、含1到3个碳原子的烷氧基、或具有芳基或具有含1到2个碳原子的烷基的芳烷基；n表示正整数；m表示0或正整数。

公开(公告)号：CN1968816B

公开(公告)日：2010-05-05

申请号：CN200580019606.9

申请日：2005-06-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 冈野明彦 ,  芝昭二 ,  石仓宏惠

IPC: B41J2/16

CPC classification number: B41J2/1603 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1639 ,  B41J2/1645

Abstract: 一种制造喷墨头的方法，包括：在具有能量产生元件的基板上形成光降解性正型光刻胶层，通过光降解性正型光刻胶层的曝光和显影而形成变成油墨流路的结构，将具有所述结构的基板涂以负型光刻胶层，在负型光刻胶层中形成排墨口，和通过去除所述结构而形成油墨流路，其中光降解性正型光刻胶层包括至少包含得自(甲基)丙烯酸酯的单元和进一步包含得自(甲基)丙烯酸的单元的丙烯酸共聚物组合物。丙烯酸共聚物组合物包含比例5至30％重量的(甲基)丙烯酸单元，丙烯酸共聚物的重均分子量是50000至300000。

公开(公告)号：CN100496984C

公开(公告)日：2009-06-10

申请号：CN200580021431.5

申请日：2005-06-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 久保田雅彦 ,  铃木工 ,  佐藤环树 ,  柬理亮二 ,  服田麻纪 ,  浅井和宏 ,  芝昭二 ,  桧野悦子 ,  石仓宏惠 ,  冈野明彦

IPC: B41J2/16 ,  G03F7/00

CPC classification number: B41J2/1639 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1631 ,  B41J2002/14475 ,  G03F7/038

Abstract: 根据本发明，排液头的制造方法包括以下步骤：在其上设置有能量产生元件的基材上沉积用于形成流路的固体层，该能量产生元件用来产生用于排出液体的能量，在其中安装有该固体层的基材上形成用于覆盖该固体层的涂层，通过光刻工艺，在该固体层上形成的涂层中形成用来排出液体的排出口，和将该固体层除去以形成与该能量元件和该排出口连通的流路，其中用于该涂层的材料包含阳离子可聚合化合物、阳离子光致聚合作用引发剂和阳离子光致聚合作用的抑制剂，和其中与其中形成该涂层的排出口的部分形成边界的固体层的材料包含甲基丙烯酸酐和甲基丙烯酸酯的共聚物。

公开(公告)号：CN1977217A

公开(公告)日：2007-06-06

申请号：CN200580021432.X

申请日：2005-06-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 石仓宏惠 ,  芝昭二 ,  冈野明彦

IPC: G03F7/039 ,  B41J2/16

CPC classification number: G03F7/0392 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1639

Abstract: 正型光敏树脂组合物包含聚丙烯酸酯树脂和可缩合交联剂，该聚丙烯酸酯树脂的结构中具有至少一种由以下通式(1)表示的结构单元，其中X表示羟基、含2到4个碳原子的羟烷基、或羟甲基氨基；R1和R2独立地表示氢原子、或含1到3个碳原子的烷基；R3表示含1到3个碳原子的烷基、含1到3个碳原子的烷氧基、或具有芳基或具有含1到2个碳原子的烷基的芳烷基；n表示正整数；m表示0或正整数。

公开(公告)号：CN1968815A

公开(公告)日：2007-05-23

申请号：CN200580019601.6

申请日：2005-06-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 久保田雅彦 ,  铃木工 ,  佐藤环树 ,  柬理亮二 ,  服田麻纪 ,  浅井和宏 ,  芝昭二 ,  桧野悦子 ,  石仓宏惠 ,  冈野明彦

IPC: B41J2/16 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/038 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1639 ,  B41J2002/14475 ,  Y10T29/49401

Abstract: 根据本发明，一种用于制造排液头的方法包括步骤：在其上排列有能量产生元件(2)以产生用于排出液体的能量的基板(1)上，形成用于形成流路的固体层(3)；在其上设置有固体层的基板上形成用于覆盖固体层的涂层(4)；在沉积在固体层的涂层中通过光刻工艺形成用于排出液体的排出口(7)；和去除固体层以形成与能量元件和排出口连通的流路(8)，其中用于涂层的材料包含阳离子聚合性化合物，阳离子光聚合反应引发剂和阳离子光聚合反应的抑制剂，和其中固体层的材料包含甲基丙烯酸和甲基丙烯酸酯的共聚物，所述固体层与其中形成涂层的排出口的那部分形成边界。