化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法

    公开(公告)号:CN117908325A

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202311342291.8

    申请日:2023-10-17

    Abstract: 本发明涉及化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题是提供为高感度且高对比度、线的LWR及孔洞的CDU经改善、图案形成后的蚀刻耐性仍优良的化学增幅抗蚀剂组成物,以及提供使用其的图案形成方法。该课题的解决手段是一种化学增幅抗蚀剂组成物,含有:(A)聚合物,因酸的作用而对碱水溶液的溶解性会增加,其含有下式(A1)表示的重复单元及下式(B1)表示的重复单元,且不含因曝光而产生酸的重复单元,及(B)光酸产生剂,以下式(PAG‑a)或(PAG‑b)表示,且因KrF准分子激光、ArF准分子激光、电子束或极紫外线的作用而产生酸。#imgabs0#

    制备3,5-二甲基十二烷酸的方法

    公开(公告)号:CN105130788B

    公开(公告)日:2019-04-19

    申请号:CN201510246551.0

    申请日:2015-05-14

    Abstract: 提供了用于简单且有效地制备3,5‑二甲基十二烷酸的短流程,所述3,5‑二甲基十二烷酸为加州锯天牛的信息素的活性成分。更具体地,提供了制备3,5‑二甲基十二烷酸(5)的方法,其包括以下步骤:使2‑甲基壬基卤化物(1)转化成2‑甲基壬基金属试剂(2),以及使所述2‑甲基壬基金属试剂(2)与2‑亚乙基丙二酸酯(3)反应,从而由于所述2‑甲基壬基金属试剂(2)向所述2‑亚乙基丙二酸酯(3)的1,4‑加成而形成2‑(1,3‑二甲基癸基)丙二酸酯(4),如以下方案所示:

    用于生产具有共轭双键的氯化碳氢化合物的方法

    公开(公告)号:CN104045509A

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:CN201410087869.4

    申请日:2014-03-11

    CPC classification number: C07C17/07 C07C17/16 C07C21/04

    Abstract: 提供一种通过立体选择性地氯化具有共轭双键的醇以低成本生产具有共轭双键的氯化碳氢化合物的方法。更具体来说,提供一种生产具有共轭双键的氯化碳氢化合物的方法,该方法包括以下步骤:在存在碱并且不存在用于氯化醇的金属盐的溶液中利用氯化剂将具有共轭双键的醇氯化,所述醇由以下分子式(1)表示:RCH=CHCH=CH-Z-OH (1)其中R代表氢原子或者可具有至少一个双键或至少一个三键的直链、支链或环状的C1-17单价烃基;Z代表可具有至少一个双键或至少一个三键的直链、支链或环状的C1-17二价烃基。

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