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公开(公告)号：CN102528607B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201210018647.8
申请日：2012-01-20
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B13/005
Abstract: 一种大口径平面光学元件抛光装置，涉及一种光学元件的抛光装置。设有连接轴、夹具外壳、控制层、电机座、至少2个微型电机、传动片、真空薄膜和夹持装置；所述连接轴与外部机床连接，所述控制层、电机座、微型电机、传动片和真空薄膜从上至下依次设于夹具外壳内，控制层内设有单片机，单片机通过连接轴上开的小孔与外部的PC连接；微型电机固定在电机座上，微型电机的动力线集中连接到控制层中的单片机，每个微型电机下方都连接一个传动片，所有传动片都紧贴真空薄膜。抛光时，工件在夹持装置作用下紧贴真空薄膜。
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公开(公告)号：CN103042470A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201310025371.0
申请日：2013-01-23
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B57/02
Abstract: 一种抛光液添加装置，涉及抛光设备。提供一种能够提高抛光液的利用效率，减少花费及提高抛光效果的抛光液添加装置。包括工件夹具连接座、工件夹具、上端盖、下端盖、箱体和电子节流阀；夹具连接座外接抛光机转轴，夹具连接座与工件夹具上端螺接，工件夹具内设有引流槽，引流槽进口露于工件夹具外表面，引流槽出口设有至少3个，各引流槽出口分布在工件夹具底表面；箱体套在工件夹具外部，上端盖和下端盖分别固于箱体的上端面和下端面，箱体壁上设有通液孔，电子节流阀设于箱体外壁上，电子节流阀出液口与箱体壁上的通液孔及引流槽连通，工件夹具通过轴承与箱体转动配合。
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公开(公告)号：CN102049716A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN201010227864.9
申请日：2010-07-13
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B13/00
Abstract: 一种用于大口径平面光学元件抛光的可调式压力装置，涉及一种压力装置。提供一种用于调节工件的抛光面在加工时所受的压强，不仅可改善工件的抛光质量和控制材料去除率，而且结构简单且实用的用于大口径平面光学元件抛光的可调式压力装置。设有质量块和夹具平板。质量块作为压力源；夹具平板设有支杆、底座和吸附基模，支杆用于装载质量块，底座下部连接吸附基模，其中吸附基模设有基体和薄膜，底座通过吸附基模的薄膜吸附在工件表面，使得整个装置固定在工件的相应部位。
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公开(公告)号：CN103268853B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201310237071.9
申请日：2013-06-15
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种光学元件定量刻蚀及清洗装置，涉及一种刻蚀及清洗装置。设有第一直线电机、第二直线电机、支架、底座、刻蚀容器、清洗容器、机械手、数据显示器、超声波传感器、微型水泵、过滤器、喷头、微控制器和超声波发射装置；第一直线电机、第二直线电机、机械手和数据显示器均安装在支架上，支架设于底座上，刻蚀容器和清洗容器置于支架正下方且呈左右设置，超声波传感器安装在刻蚀容器的液仓底部，超声波发射装置安装在清洗容器的液仓底部，清洗容器中安置微型水泵、过滤器和喷头，微型水泵、过滤器和喷头串联连通，超声波传感器信号输出端接微控制器信号输入端，微控制器输出端分别接第一直线电机和第二直线电机，数据显示器与微控制器电连接。
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公开(公告)号：CN103586754B
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201310608245.8
申请日：2013-11-26
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B13/00 , B24B13/005
Abstract: 一种光学元件抛光装置，涉及抛光装置。设有抛光液存储容器、调节阀、轴承、抛光头、湿度传感器、光学元件夹具、抛光盘、防护罩、导管、水泵、过滤器和喷头；抛光液存储容器中心与抛光头主轴间相连；抛光液存储容器底部设三段弧形开口，调节阀安装在抛光液存储容器底部内侧；抛光头上表面与抛光液存储容器下表面接触但不固定，抛光头上表面对应抛光液存储容器内调节阀的位置开设凹槽，凹槽下部设4个通孔；夹具周围分布传感器；抛光盘内部均布4条引流槽，抛光盘上表面对应引流槽位置开设通孔，通孔连接抛光盘上表面与引流槽；防护罩与抛光盘主轴连接；防护罩下方与导管一端相连，导管中设水泵和过滤器，导管另一端与喷头连接，喷头正对抛光垫。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102873459B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201210362731.1
申请日：2012-09-24
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种原子束填充加工装置，涉及一种工件表面加工方法。设有底座、直线电机、X轴承载板、Y轴承载板、支柱、横梁、Z轴承载板、旋转圆盘、固定座、伺服电机、原子束发生装置、原子束能量控制装置和准直装置；直线电机固定在底座上并与X轴承载板固连，X轴承载板接底座；Y轴承载板与X轴承载板之间，Z轴承载板与横梁之间相连，支柱固定在底座两端，横梁与支柱之间连接，旋转圆盘固于Z轴承载板上，伺服电机固于Z承载板上，伺服电机的转轴末端装有齿轮，原子束发射装置设在原子束能量控制装置上部，准直装置装在原子束能量控制装置的底部并对准工件表面缺陷，原子束能量控制装置通过固定座固定于旋转圆盘上，原子束填充装置安装在Z轴承载板上。
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公开(公告)号：CN103586754A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201310608245.8
申请日：2013-11-26
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B13/00 , B24B13/005
CPC classification number: B24B13/00 , B24B13/005 , B24B57/00
Abstract: 一种光学元件抛光装置，涉及抛光装置。设有抛光液存储容器、调节阀、轴承、抛光头、湿度传感器、光学元件夹具、抛光盘、防护罩、导管、水泵、过滤器和喷头；抛光液存储容器中心与抛光头主轴间相连；抛光液存储容器底部设三段弧形开口，调节阀安装在抛光液存储容器底部内侧；抛光头上表面与抛光液存储容器下表面接触但不固定，抛光头上表面对应抛光液存储容器内调节阀的位置开设凹槽，凹槽下部设4个通孔；夹具周围分布传感器；抛光盘内部均布4条引流槽，抛光盘上表面对应引流槽位置开设通孔，通孔连接抛光盘上表面与引流槽；防护罩与抛光盘主轴连接；防护罩下方与导管一端相连，导管中设水泵和过滤器，导管另一端与喷头连接，喷头正对抛光垫。
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公开(公告)号：CN102873459A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210362731.1
申请日：2012-09-24
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种原子束填充加工装置，涉及一种工件表面加工方法。设有底座、直线电机、X轴承载板、Y轴承载板、支柱、横梁、Z轴承载板、旋转圆盘、固定座、伺服电机、原子束发生装置、原子束能量控制装置和准直装置；直线电机固定在底座上并与X轴承载板固连，X轴承载板接底座；Y轴承载板与X轴承载板之间，Z轴承载板与横梁之间相连，支柱固定在底座两端，横梁与支柱之间连接，旋转圆盘固于Z轴承载板上，伺服电机固于Z承载板上，伺服电机的转轴末端装有齿轮，原子束发射装置设在原子束能量控制装置上部，准直装置装在原子束能量控制装置的底部并对准工件表面缺陷，原子束能量控制装置通过固定座固定于旋转圆盘上，原子束填充装置安装在Z轴承载板上。
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公开(公告)号：CN103322938B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201310236649.9
申请日：2013-06-15
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种光学元件定点蚀刻及观测装置，涉及光学元件。设有支架、三维移动平台、三维移动平台直线电机、光学元件夹具、蚀刻结构、伺服电机、Z轴承载板、显微镜和计算机；三维移动平台设于支架上方，光学元件夹具安装于支架上端台面上，蚀刻结构设有蚀刻头和蚀刻液容器，蚀刻液容器设有蚀刻液进口阀门，蚀刻头安装于蚀刻液容器的蚀刻液出口端，蚀刻头下端设有蚀刻液出口，蚀刻液出口与蚀刻液容器连通，伺服电机安装在Z轴承载板上，Z轴承载板安装于三维移动平台上，伺服电机输出轴与固连有接板，显微镜与蚀刻结构固于连接板的两端，计算机内安装有运动控制卡，计算机与三维移动平台直线电机电连接，三维移动平台直线电机输出轴接三维移动平台。
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公开(公告)号：CN103755148B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201410045558.1
申请日：2014-02-08
Applicant: 厦门大学
IPC: C03C15/00
Abstract: 一种在线可控式光学元件刻蚀装置，涉及光学元件刻蚀装置。设有缓冲液存储容器、刻蚀反应发生装置、伺服电机、密封盖、可旋转多功能夹具、在线浓度计、恒温箱；不同容器内装不同刻蚀溶液，容器下端通过导管与密封盖相连，导管直接通入刻蚀反应发生装置中，导管中部设有开关，伺服电机安装在密封盖中部，伺服电机与可旋转多功能夹具中轴相连；在线浓度计设在刻蚀反应发生装置外部下端，可旋转多功能夹具实现光学元件的固定及刻蚀液的搅拌；可旋转多功能夹具设有竖直中轴、四对横向分支，四对横向分支内设有光学元件定位槽，竖直中轴上设有四条分支槽；每对横向分支一端伸入分支槽内部，每对横向分支中的另一个横向分支沿分支槽上下移动。
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