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公开(公告)号：CN101206481B
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN200710144854.7
申请日：2007-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双直线电机的高速高精度微冲压驱动系统，它涉及一种微型零件高速高精度微冲压成形驱动设备。本发明可解决传统成形设备的驱动装置，无法满足零件微塑性成形的问题。两个机架(2)与底座(1)的左、右端固接，两个支架(3)与两个机架(2)固接，滑块(8)装在两个支架(3)之间，滑块(8)的前、后端对称设置有直线电机(4)，直线电机(4)的初级(14)与支架(3)固接，直线电机(4)的次级(13)与滑块(8)固接，滑块(8)上固装有四条导轨(5)，导轨(5)与导轨滑块(6)的导轨滑槽(11)滑动配合，导轨滑块(6)与支架(3)固接，四条导轨(5)的正上方设置有与支架(3)固接的气动制动器(7)，光栅尺(9)固装在滑块(8)上，光栅尺探头(10)靠近光栅尺(9)设置且固装在机架(2)上。本发明能实现低成本、大批量微塑性零件成形。
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公开(公告)号：CN102290360A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110062776.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677
Abstract: 一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构包括T轴限位上联接盘1、一级拨榫机构组合2、一级旋转限位拨盘3、二级拨榫机构组合4、上轴承5、轴承隔套6、旋转轴7、下轴承8、二级旋转限位拨盘9、限位套10、限位块11、联接螺钉12等。完成装配后，T轴限位机构旋转的总角度达1010°，以适应集成度要求更高、能够满足多角度、多工位进行硅片传输的T轴限位旋转机构。
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公开(公告)号：CN102176423A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110062770.5
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 一种硅片传输机器人的Z轴双重限位机构。电子限位应用了光电传感器原理，属于无触点式的电子开关，限位精度高，无机械磨损、使用寿命长。机械硬限位使用金属材料，约束面积大、刚性高，有利于Z轴电机迅速产生过载力矩而报警断电，防止因电子限位失效而造成设备的其它损害。本发明限位作用可靠，在装配过程中无需调整。
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公开(公告)号：CN102012227A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN201010561345.6
申请日：2010-11-27
IPC: G01C19/64
Abstract: 本发明涉及一种倾斜接触式激光陀螺调腔机构及方法。本调腔机构由三维精密工作台和夹持手爪串联而成，整个机构倾斜安装以获得倾斜接触式调腔方法所需的倾斜角度和自由度；夹持手爪采用V型结构，可实现球面镜的定位，并可在调腔结束后完成光胶。本倾斜接触式激光陀螺调腔方法利用球面镜与激光谐振腔体之间作用力实现两光胶面的可靠贴合，保证光胶面之间平行度的同时避免了传统调腔方法中出现意外光胶的情况。本发明采用倾斜接触式方法建立了一套精密调腔机构，结构简单，运动分辨率高，控制容易，可操作性好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101372310A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：CN200810064888.X
申请日：2008-07-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种基于体硅工艺的纳米级定位平台及其垂直侧壁表面压阻加工方法。整个定位平台主要由作为结构层的硅与作为衬底的玻璃通过阳极键合加工而成，它包括载物台、侧向平动静电梳齿致动器、检测梁、折叠梁和柔性支撑梁，载物台位于整个定位平台的中心位置，通过呈十字分布的四个柔性支撑梁、折叠梁和检测梁支撑在整个平台中心，侧向平动静电梳齿致动器位于检测梁和折叠梁之间。本发明集结构、驱动和位移检测于一体的，并利用垂直侧壁表面压阻加工技术，把基于压阻检测原理的位移传感器集成到纳米定位平台的检测梁上，从而进一步提高了定位平台的定位精度和应用空间。
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公开(公告)号：CN100342517C
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200510010440.6
申请日：2005-10-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , B25J9/02 , B65G49/07 , B65G47/74
Abstract: 本发明提供的是一种二维并联驱动的硅片搬运机器人。它包括机体、导轨(2)、丝杠(3)、滚珠花键组合体、框架螺母(5)、套筒(6)、同步电机和同步轮Ⅰ(7)、同步电机和同步轮Ⅱ(8)、同步带结构Ⅰ(9)、摇臂Ⅰ(10)，轴Ⅰ(12)、摇臂Ⅱ(13)、同步带结构Ⅱ(14)、轴Ⅱ(15)、夹持机械手(16)和罩体(17)。本发明的机器人结构新颖紧凑，运动惯量小、重量轻，可实现R轴和Z轴的高速高精度运动性能。其中，R轴运动实现沿机器人旋转半径方向的直线运动，Z轴运动实现沿机器人竖直方向的直线运动。
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公开(公告)号：CN1875893A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200610010025.5
申请日：2006-05-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于压电超声振动的显微切割装置，本发明属于生物医学中生物组织切片的切割、分离装置。它克服了手工完成生物组织切片的切割、分离工作时操作者工作强度大、易疲劳、人为误差不可避免的缺陷。它由计算机(1)、显微镜(2)、CCD摄像头(3)、空间三自由度机械微动台(4)、夹具体(5)、超声振动发生器(6)、切割针(7)、生物切片载台(8)和刀具杆(11)组成，(2)设置于(8)的开孔的下方，(3)与(2)相连接以采集(2)所放大的物像，(3)的信号输出端连接(1)的信号输入端，(4)设置在(8)的侧面处，(1)的一个信号输出端连接(4)的受控端，(5)固定在(4)的上表面上，(11)固定在(5)上，(11)的一端与(6)的一端相固定，(6)的另一端与(7)的根端相固定，(7)的尖端伸向(8)的上表面，(1)的另一个信号输出端连接(6)的输入端。
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公开(公告)号：CN1834601A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200610009745.X
申请日：2006-02-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种MEMS高温压力传感器自动键合方法。它选择由台面、设置在台面上的物流台、操作手、加热炉和显微镜组成的自动键合机进行自动键合；自动键合机的操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上，加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上，显微镜安装在包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。本发明基于显微视觉的高精度、非接触式测量，实现了不论是正面还是反面MEMS高温压力传感器的高精度对准作业；融合视觉/微力觉信息，实现芯片和玻璃基的高精度、无损抓取和搬运；设备的高自动化程度使得其具有批量制造能力，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN1731082A
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN200510010287.7
申请日：2005-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 宏/微驱动的两自由度高加速度高精度的并联定位系统，它涉及一种运动定位系统。本发明解决了现有定位系统串联结构基层平台直线运动惯量大；并联结构解耦装置结构设计困难及多关节并联杆机构末端执行器竖直方向刚度差的问题。本发明的基座1上固定有轴线相互垂直的X轴直线驱动装置2和Y轴直线驱动装置3，X轴直线驱动装置2与X轴移动平台总成8固接，Y轴直线驱动装置3与Y轴移动平台总成9固接，X轴移动平台总成8与X轴末端平台10之间铰接有X轴平行连杆机构12，Y轴移动平台总成9与Y轴末端平台11之间铰接有Y轴平行连杆机构13，X轴末端平台10和Y轴末端平台11与末端输出平台15固接。本发明具有高精度高加速度的优点。
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