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公开(公告)号：CN109843822B
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN201780064645.3
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , H01L21/302
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，其在将从搬入口(8aa)搬入到腔室(8)内的玻璃基板(2)以平放姿势沿着搬运路径搬运的同时，利用配置在搬运路径上的处理器(5)所供给的处理气体(4)对该玻璃基板的下表面(2a)实施蚀刻处理，之后将处理后的玻璃基板(2)从搬出口(8ab)向腔室(8)外搬出，其中，从配置在腔室(8)内的比搬运路径靠上方侧的吸引口(12a)向腔室(8)外进行排气。
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公开(公告)号：CN113508009A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202080015150.3
申请日：2020-04-06
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Abstract: 一种玻璃板的制造装置(1)，其具备检测玻璃板(G)的位置的位置检测装置(2)。位置检测装置(2)具备：接触件(21)，其能够以与玻璃板(G)的前端边(Ga)的端面(Ga1)以及侧边(Gb)的端面(Gb1)接触的方式移动；以及伺服马达(24)，其对接触件(21)向端面(Ga1)侧以及端面(Gb1)侧施力，并且检测接触件(21)的位置。
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公开(公告)号：CN107709261B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201680038292.5
申请日：2016-08-23
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00
Abstract: 在使具有供气口(20)以及排气口(24)的下部结构体(10)的上表面与上部结构体(9)的下表面对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面彼此之间的处理空间(12)内，利用从供气口(20)喷出并被排气口(24)吸入的处理气体(5)来对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，此时，在处理空间(12)内，供气口(20)所位于的区域的高度高于排气口(24)所位于的区域的高度。
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公开(公告)号：CN107532877B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201680027249.9
申请日：2016-05-12
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Abstract: 在使玻璃基板(1)的评价表面粗糙度的评价面与基准玻璃基板(2)的基准平滑面接触的状态下，将玻璃基板(1)与基准玻璃基板(2)重叠而制作层叠体(3)。局部按压层叠体(3)的上表面，基于与按压相伴的玻璃基板(1)的评价面与基准玻璃基板(2)的基准平滑面的紧贴区域的变化形态，来评价玻璃基板(1)的评价面的表面粗糙度。紧贴区域的变化形态利用以按压部(A)为中心的紧贴区域的半径方向的扩展速度来测定。
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公开(公告)号：CN109843822A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201780064645.3
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , H01L21/302
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，其在将从搬入口(8aa)搬入到腔室(8)内的玻璃基板(2)以平放姿势沿着搬运路径搬运的同时，利用配置在搬运路径上的处理器(5)所供给的处理气体(4)对该玻璃基板的下表面(2a)实施蚀刻处理，之后将处理后的玻璃基板(2)从搬出口(8ab)向腔室(8)外搬出，其中，从配置在腔室(8)内的比搬运路径靠上方侧的吸引口(12a)向腔室(8)外进行排气。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109843821A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201780064578.5
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , G02F1/13 , G02F1/1333
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，包含如下工序：在将玻璃基板(2)以平放姿势沿搬运方向搬运，使得通过在对置配置的主体部(5a)与顶板部(5b)的相互之间形成的处理空间(13)的同时，使用处理气体(4)，对玻璃基板(2)的下表面(2a)实施蚀刻处理，其中，从设置于主体部(5a)的供气口(14)向处理空间(13)供给该处理气体(4)，并且，通过分别设置于主体部(5a)的搬运方向的上游侧端部及下游侧端部的排气口(15)从处理空间(13)排出该处理气体(4)，关于沿着搬运方向的距离，下游侧端部的排气口(15)与最下游侧的供气口(14)的相互间距离(D2)比上游侧端部的排气口(15)与最上游侧的供气口(14)的相互间距离(D1)长。
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公开(公告)号：CN109790064A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780059814.4
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , H01L21/302
Abstract: 本发明提供一种玻璃基板(2)的制造方法，其中，在将玻璃基板(2)以平放姿势沿搬运方向搬运，以使得该玻璃基板(2)通过在对置配置的主体部(5a)与顶板部(5b)的相互之间形成的处理空间(13)的过程中，利用从主体部(5a)具备的供气口(14)供给到处理空间(13)的处理气体(4)来对玻璃基板(2)的下表面(2a)实施蚀刻处理之际，朝向搬运方向的下游侧喷射第一吹扫气体6，以使得在形成于玻璃基板2中的进入到处理空间(13)的部位与顶板部(5b)之间的间隙(13a)，形成沿着搬运方向的第一吹扫气体(6)的流动，其中，在玻璃基板(2)的最后部(2e)进入处理空间(13)之前，停止喷射第一吹扫气体(6)。
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公开(公告)号：CN107683265A
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201680033710.1
申请日：2016-08-23
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00
Abstract: 在使上部结构体(10)的下表面(10a)与具有供气口(22)以及排气口(26)的下部结构体(11)的上表面(11a)对置配置而形成于对置的两个面(10a、11a)彼此之间的处理空间(13)内，利用从供气口(22)喷出并向排气口(26)吸入的处理气体(5)对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，并且，使供气口(22)与排气口(26)在玻璃板搬运方向(A)上位于分离开的位置，组装于下部结构体(11)的特定搬运机构(9)从下方支承玻璃板(3)，以供进行该玻璃板(3)的搬运，将特定搬运机构(9)配置在除了供气口(22)与排气口(26)彼此之间的区域之外的区域。
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公开(公告)号：CN107532877A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680027249.9
申请日：2016-05-12
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Abstract: 在使玻璃基板(1)的评价表面粗糙度的评价面与基准玻璃基板(2)的基准平滑面接触的状态下，将玻璃基板(1)与基准玻璃基板(2)重叠而制作层叠体(3)。局部按压层叠体(3)的上表面，基于与按压相伴的玻璃基板(1)的评价面与基准玻璃基板(2)的基准平滑面的紧贴区域的变化形态，来评价玻璃基板(1)的评价面的表面粗糙度。紧贴区域的变化形态利用以按压部(A)为中心的紧贴区域的半径方向的扩展速度来测定。
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公开(公告)号：CN210336164U
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201921230817.2
申请日：2019-07-31
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: B26D7/18
Abstract: 提供能够抑制在切断保护片材时产生的纸粉漂浮于周围，且实现现场的作业环境的改善的保护片材切断装置。具备：切断装置(41)，其将保护片材(S)沿着与长度方向正交的宽度方向切断；上侧罩构件(45)，其覆盖由切断装置(41)切断保护片材(S)的切断位置(L)；以及上侧集尘装置(46)，其对上侧罩构件的内部进行集尘。
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