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公开(公告)号:CN101836296A
公开(公告)日:2010-09-15
申请号:CN200980100763.0
申请日:2009-08-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L45/147 , G11C13/0007 , G11C13/0069 , G11C2013/009 , G11C2213/15 , G11C2213/32 , G11C2213/34 , G11C2213/79 , H01L27/2436 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/146 , H01L45/1625 , H01L45/1675
Abstract: 电阻变化型非易失性存储装置包括半导体基板(301);电阻变化元件(309),由下部电极(309a)、上部电极(309c)以及电阻变化层(309b)构成,在所述电阻变化层中通过施加到两极之间的极性不同的电压信号,电阻值可逆地变化;以及N型MOS晶体管(317),构成于半导体基板(301)的主面;电阻变化层(309b)具有与下部电极(309a)相接的组成为MOx的缺氧型的过渡金属的氧化物层(309b-1)、与上部电极(309c)相接的组成为MOy的缺氧型的过渡金属的氧化物层(309b-2),其中x<y;将成为漏极的N型扩散层区域(302b)与下部电极(309a)连接来构成存储器单元(300),使得在使电阻变化层(309b)成为高电阻的极性的电压信号被施加到晶体管(317)和电阻变化元件(309)的时候,在晶体管(317)不发生基板偏置效果。
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公开(公告)号:CN101689548A
公开(公告)日:2010-03-31
申请号:CN200980000538.X
申请日:2009-04-13
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/1253 , H01L45/146 , H01L45/1625
Abstract: 本发明提供非易失性存储元件、非易失性存储装置和向非易失性存储元件的数据写入方法。本发明的非易失性存储元件包括第一电极(503)、第二电极(505)、和介于第一电极与第二电极之间的电阻变化层(504),第一电极与第二电极间的电阻值根据施加于第一电极与第二电极之间的正负两极性的电信号可逆地发生变化,其中,电阻变化层包含氧不足型的铪氧化物,第一电极和第二电极由不同的元素构成,构成第一电极的元素的标准电极电位V1、构成第二电极的元素的标准电极电位V2、和铪的标准电极电位V0的关系,满足V1<V2且V0<V2。
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公开(公告)号:CN101167138A
公开(公告)日:2008-04-23
申请号:CN200580049548.4
申请日:2005-09-09
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11C16/02
CPC classification number: G11C13/0007 , G11C11/5685 , G11C13/0069 , G11C2013/0073 , G11C2013/0083 , G11C2213/15 , G11C2213/31 , G11C2213/72 , G11C2213/77 , H01L27/101 , H01L27/1021 , H01L27/2463 , H01L29/8615 , H01L45/04 , H01L45/1233 , H01L45/147
Abstract: 一种电子元件,包括:第一电极(1),第二电极(3),以及连接在所述第一电极与所述第二电极之间、并且具有二极管特性和可变电阻特性的层(2)。所述层(2),在从所述第一电极(1)及所述第二电极(3)中的一个电极向另一个电极延伸的正方向上,传导与和所述正方向相反的反方向相比电流量更多的电流。所述层(2)在所述正方向上的电阻值,根据被施加在所述第一电极(1)与所述第二电极(3)之间的规定脉冲电压而增加或减少。
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公开(公告)号:CN101164168A
公开(公告)日:2008-04-16
申请号:CN200680013802.X
申请日:2006-10-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/10 , H01L21/822 , G11C13/00 , H01L27/04
CPC classification number: G11C13/0007 , G11C11/5685 , G11C2213/31 , G11C2213/32 , G11C2213/79 , H01L27/101 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/145
Abstract: 电气元件,具备第一电极(1)、第二电极(3)、以及在第一电极(1)和第二电极(3)之间被连接的可变电阻薄膜(2)。可变电阻薄膜(2),含Fe(铁)及O(氧)作为构成元素,在薄膜厚度方向氧含有量被改变。
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公开(公告)号:CN103081019B
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201280001911.5
申请日:2012-08-09
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11C13/00
CPC classification number: G11C13/0069 , G11C13/00 , G11C13/0007 , G11C13/0064 , G11C2013/0073 , G11C2013/0092 , G11C2213/56 , G11C2213/79
Abstract: 本发明的电阻变化型非易失性存储元件的写入方法具有:基于第一电极(1),对第二电极(2)施加负第一电压,而使电阻变化层(3)成为低电阻状态的步骤(S11);以及使电阻变化层(3)成为高电阻状态的步骤(S12)。其中,使电阻变化层(3)成为高电阻状态的步骤(S12)具有:基于第一电极(1)对第二电极(2)施加正的第二电压的步骤(S121);在基于第一电极(1)对第二电极(2)施加正的第二电压步骤(S121)之后,通过基于第一电极(1),对第二电极施加使电阻变化层(3)从高电阻状态变化为低电阻状态的比负的阈值电压的绝对值小的负的第三电压,从而使电阻变化层(3)成为高电阻状态的步骤(S122)。
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公开(公告)号:CN103650142A
公开(公告)日:2014-03-19
申请号:CN201280001934.6
申请日:2012-01-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/105 , H01L45/00 , H01L49/00
CPC classification number: H01L45/1253 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/1273 , H01L45/146 , H01L45/16 , H01L45/1625 , H01L45/1675
Abstract: 一种电阻变化元件,具有第1电极(107)、第2电极(105)、以及介于第1、第2电极(107、105)间并与第1、第2电极(107、105)相接而设置、基于施加的电信号而电阻值可逆地变化的电阻变化层(106);电阻变化层(106)通过由氧不足型的第1金属氧化物构成的第1电阻变化层(106b)、和由氧不足度比第1电阻变化层(106b)的氧不足度小的第2过渡金属氧化物构成的第2电阻变化层(106a)的层叠构造而构成;第2电极(105)在与第2电阻变化层(106a)之间的界面处仅具有一个针状部;第2电阻变化层(106a)介于第1电阻变化层(106b)与第2电极(105)之间并与第1电阻变化层(106b)和第2电极(105)相接、并且覆盖上述针状部而设置。
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公开(公告)号:CN103250252A
公开(公告)日:2013-08-14
申请号:CN201280004074.1
申请日:2012-10-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/105 , H01L45/00 , H01L49/00
CPC classification number: G11C13/004 , G11C13/0007 , G11C13/0061 , G11C13/0064 , G11C13/0069 , G11C2213/55 , G11C2213/72 , G11C2213/79 , H01L27/2409 , H01L27/2463 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/1253 , H01L45/146
Abstract: 非易失性存储装置具备第1电极(103)、第2电极(106)和电阻变化层(104),电阻变化层(104)具备:第1氧化物层(104a),含有第1金属的氧化物;第2氧化物层(104b),在第1氧化物层(104a)和第2电极(106)之间相接配置,含有第2金属的氧化物,与第1氧化物层(104a)相比氧不足率小;及局部区域(105),在第1氧化物层(104a)及第2氧化物层(104b)内与第2电极(106)相接配置,不与第1电极(103)相接,与第2氧化物层(104b)相比氧不足率大,氧不足率与第1氧化物层(104a)不同。
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公开(公告)号:CN101689548B
公开(公告)日:2012-06-13
申请号:CN200980000538.X
申请日:2009-04-13
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/1253 , H01L45/146 , H01L45/1625
Abstract: 本发明提供非易失性存储元件、非易失性存储装置和向非易失性存储元件的数据写入方法。本发明的非易失性存储元件包括第一电极(503)、第二电极(505)、和介于第一电极与第二电极之间的电阻变化层(504),第一电极与第二电极间的电阻值根据施加于第一电极与第二电极之间的正负两极性的电信号可逆地发生变化,其中,电阻变化层包含氧不足型的铪氧化物,第一电极和第二电极由不同的元素构成,构成第一电极的元素的标准电极电位V1、构成第二电极的元素的标准电极电位V2、和铪的标准电极电位V0的关系,满足V1<V2且V0<V2。
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公开(公告)号:CN101828262B
公开(公告)日:2012-06-06
申请号:CN200880111811.1
申请日:2008-03-31
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L27/101 , H01L27/2409 , H01L27/2436 , H01L27/2481 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/1253 , H01L45/146 , H01L45/1625
Abstract: 本发明提供一种非易失性存储元件和使用该非易失性存储元件的非易失性半导体装置。本发明的非易失性存储元件包括:第一电极(503);第二电极(505);和电阻变化层(504),其位于第一电极(503)与第二电极(505)之间,且与第一电极(503)和第二电极(503)连接,电阻值根据被提施加在两个电极(503)、(505)之间的电信号可逆地变化,上述第一电极和上述第二电极利用由相互不同的元素形成的材料构成。
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公开(公告)号:CN101878507A
公开(公告)日:2010-11-03
申请号:CN200980101172.5
申请日:2009-09-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G11C13/0007 , G11C13/0033 , G11C13/0064 , G11C13/0069 , G11C2013/0073 , G11C2013/0083 , G11C2013/009 , G11C2213/31 , G11C2213/32 , G11C2213/34
Abstract: 本发明提供能进行稳定动作的电阻变化元件的驱动方法以及实施该方法的非易失性存储装置。具有:写入过程,将第1极性的写入电压脉冲施加给电阻变化层(3),使电阻变化层(3)的电阻状态从高向低变化;以及擦除过程,将与该第1极性不同的第2极性的擦除电压脉冲施加给电阻变化层(3),使电阻变化层(3)的电阻状态从低向高变化;在将第1次到第N次(N大于等于1)的写入电压脉冲的电压值设为Vw1、将第(N+1)次以后的写入电压脉冲的电压值设为Vw2时,满足|Vw1|>|Vw2|,而且,在将第1次到第M次(M大于等于1)的擦除电压脉冲的电压值设为Ve1、将第(M+1)次以后的擦除电压脉冲的电压值设为Ve2时,满足|Ve1|>|Ve2|,第(N+1)次的上述写入过程接在第M次的擦除过程之后。
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