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公开(公告)号:CN103270592B
公开(公告)日:2016-01-06
申请号:CN201280004259.2
申请日:2012-10-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/105 , G11C13/00 , H01L45/00 , H01L49/00
CPC classification number: H01L45/145 , G11C11/5685 , G11C13/0007 , G11C13/004 , G11C13/0069 , G11C2013/0073 , G11C2013/0083 , G11C2213/15 , H01L27/101 , H01L27/2463 , H01L45/08 , H01L45/146 , H01L45/1625
Abstract: 本发明涉及非易失性存储元件以及非易失性存储装置。非易失性存储元件具备第一电极(103)、第二电极(106)以及电阻变化层(104),电阻变化层(104)包括:第一氧化物层(104a),由具有p型载流子的非化学计量组成的金属氧化物构成;第二氧化物层(104b),与第一氧化物层(104a)以及第二电极(106)之间相接地配置,由具有n型载流子的非化学计量组成的金属氧化物构成;氧储存区域(110),配置在第一氧化物层(104a)内,不与第一电极(103)相接,与第一氧化物层(104a)相比含氧率更高;以及局部区域(105),在第二氧化物层(104b)内与氧储存区域(110)相接地配置,与第二氧化物层(104b)相比含氧率更低。
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公开(公告)号:CN102790073B
公开(公告)日:2015-01-14
申请号:CN201210287006.2
申请日:2009-08-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L45/147 , G11C13/0007 , G11C13/0069 , G11C2013/009 , G11C2213/15 , G11C2213/32 , G11C2213/34 , G11C2213/79 , H01L27/2436 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/146 , H01L45/1625 , H01L45/1675
Abstract: 电阻变化型非易失性存储装置包括半导体基板(301);电阻变化元件(309),由下部电极(309a)、上部电极(309c)以及电阻变化层(309b)构成,在所述电阻变化层中通过施加到两极之间的极性不同的电压信号,电阻值可逆地变化;以及N型MOS晶体管(317),构成于半导体基板(301)的主面;电阻变化层(309b)具有与下部电极(309a)相接的组成为MOx的缺氧型的过渡金属的氧化物层(309b-1)、与上部电极(309c)相接的组成为MOy的缺氧型的过渡金属的氧化物层(309b-2),其中x
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公开(公告)号:CN102612716B
公开(公告)日:2014-09-17
申请号:CN201180004518.7
申请日:2011-10-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11C13/00 , H01L27/105 , H01L45/00 , H01L49/00
CPC classification number: G11C13/0007 , G11C13/0033 , G11C13/004 , G11C13/0064 , G11C13/0069 , G11C2013/0073 , G11C2013/0076 , G11C2213/56 , G11C2213/76
Abstract: 非易失性存储装置(800)具备电阻变化型的非易失性存储元件(100)和控制电路(810)。控制电路(810),判断高电阻状态下的非易失性存储元件(100)的电阻值是否为预先规定的阈值以上。并且,控制电路(810),在高电阻状态下的非易失性存储元件(100)的电阻值小于阈值的情况下,通过向非易失性存储元件(100)施加第一电压(VL1),从而使非易失性存储元件(100)从高电阻状态变化为低电阻状态。并且,控制电路(810),在高电阻状态下的非易失性存储元件(100)的电阻值为阈值以上的情况下,通过向非易失性存储元件(100)施加绝对值比第1电压(VL1)小的第2电压(VL2),从而使非易失性存储元件(100)从高电阻状态变化为低电阻状态。
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公开(公告)号:CN103348472A
公开(公告)日:2013-10-09
申请号:CN201280007159.5
申请日:2012-11-08
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/105 , H01L45/00 , H01L49/00
CPC classification number: H01L45/145 , G11C13/0002 , G11C13/0007 , H01L27/2436 , H01L27/2463 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/146
Abstract: 非易失性存储元件包括第1电极(103)、第2电极(106)、和夹在第1电极(103)和第2电极(106)之间的由金属的氧化物构成的电阻变化层(104),被配置在第1电极(103)上的电阻变化层(104)包括:具有ρx的电阻率的第1氧化物层(104a);被配置在第1氧化物层(104a)上且具有ρy(其中,ρx<ρy)的电阻率的第2氧化物层(104b);被配置在第2氧化物层(104b)上且具有ρz(其中,ρy<ρz)的电阻率的第3氧化物层(104c);和在第3氧化物层和第2氧化物层(104b)内与第2电极(106)相接地配置,并不与第1氧化物层(104a)接触,电阻率比第3氧化物层(104c)低,且电阻率与第2氧化物层(104b)不同的局部区域(105)。
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公开(公告)号:CN103081019A
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN201280001911.5
申请日:2012-08-09
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11C13/00
CPC classification number: G11C13/0069 , G11C13/00 , G11C13/0007 , G11C13/0064 , G11C2013/0073 , G11C2013/0092 , G11C2213/56 , G11C2213/79
Abstract: 本发明的电阻变化型非易失性存储元件的写入方法具有:基于第一电极(1),对第二电极(2)施加负第一电压,而使电阻变化层(3)成为低电阻状态的步骤(S11);以及使电阻变化层(3)成为高电阻状态的步骤(S12)。其中,使电阻变化层(3)成为高电阻状态的步骤(S12)具有:基于第一电极(1)对第二电极(2)施加正的第二电压的步骤(S121);在基于第一电极(1)对第二电极(2)施加正的第二电压步骤(S121)之后,通过基于第一电极(1),对第二电极施加使电阻变化层(3)从高电阻状态变化为低电阻状态的比负的阈值电压的绝对值小的负的第三电压,从而使电阻变化层(3)成为高电阻状态的步骤(S122)。
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公开(公告)号:CN101861649B
公开(公告)日:2012-10-31
申请号:CN200880116054.7
申请日:2008-11-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L27/101 , G11C13/0002 , G11C2213/72 , H01L27/24
Abstract: 本发明涉及一种非易失性存储装置及其制造方法。非易失性存储装置包括:形成于第一配线(11)与第二配线(14)的交叉部的导通孔(12)、和电流控制层(13b)被第一电极层(13a)和第二电极层(13c)夹着的电流控制元件(13),在导通孔(12)内形成有电阻变化元件(15),第一电极层(13a)以覆盖导通孔(12)的方式配置,电流控制层(13b)以覆盖第一电极层(13a)的方式配置,第二电极层(13c)配置于电流控制层(13b)之上,第二配线的配线层(14a)配置于第二电极层(13c)之上,第二配线(14)具有由电流控制层(13b)、第二电极层(13c)和第二配线的配线层(14a)构成的结构。
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公开(公告)号:CN102473457A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201180002514.5
申请日:2011-06-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11C13/00 , H01L27/10 , H01L27/105 , H01L45/00 , H01L49/00
CPC classification number: G11C13/003 , G11C11/5685 , G11C13/0007 , G11C13/0064 , G11C13/0069 , G11C2213/72 , G11C2213/74 , G11C2213/76 , H01L27/101 , H01L27/1021 , H01L27/2409 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/146
Abstract: 本发明涉及的非易失性存储装置的驱动方法,包括:从多个存储单元(11)中检测过低电阻单元的步骤(S101);将负载电阻(121)的电阻值变更为比第一电阻值低的第二电阻值的步骤(S103);以及,通过向由过低电阻单元和具有第二电阻值的负载电阻(121)构成的串联电路施加电压脉冲,从而将过低电阻单元中包括的电阻变化元件(105)成为电阻值比所述第一低电阻状态高的第二高电阻状态的步骤(S104)。
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公开(公告)号:CN101636841B
公开(公告)日:2011-06-22
申请号:CN200780052299.3
申请日:2007-11-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L27/101 , G11C13/0007 , G11C2213/31 , G11C2213/32 , G11C2213/33 , G11C2213/34 , G11C2213/76 , H01L27/2409 , H01L27/2463 , H01L45/04 , H01L45/1233 , H01L45/146 , H01L45/147
Abstract: 本发明提供存储元件和存储装置。以矩阵状配置于存储装置(21)的存储元件(3)包括:通过施加极性为正或负的电脉冲,其电阻值变化,并且维持该变化后的电阻值的电阻变化元件(1);和抑制在对上述电阻变化元件施加上述电脉冲时流动的电流的电流抑制元件(2),上述电流抑制元件具有:第一电极、第二电极、和配置在上述第一电极与上述第二电极之间的电流抑制层,上述电流抑制层由SiNx(x为正实数)构成。
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公开(公告)号:CN102077297A
公开(公告)日:2011-05-25
申请号:CN201080001994.9
申请日:2010-05-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11C13/00
CPC classification number: G11C13/0069 , G11C11/14 , G11C11/5685 , G11C13/0002 , G11C13/0007 , G11C13/0038 , G11C2013/0073 , G11C2013/009 , G11C2213/15 , G11C2213/34 , G11C2213/79 , G11C2213/82
Abstract: 可变电阻层具有下述特性:在向第二电阻状态(RL)变化时,当电极间电压到达作为负电压的第一电压(V1)时,电阻值停止降低,在向第一电阻状态(RH)变化时,当电极间电压到达作为绝对值与第一电压相同的正电压的第二电压(V2)时,电阻值开始上升,在向第一电阻状态变化时,当电极间电压到达比第二电压大的第三电压(V3)时,以保持电极间电压为第三电压的方式流动电极间电流,在向第一电阻状态变化时,当电极间电压处于第二电压以上且不足第三电压的期间,当电极间电流到达第一电流值(Ilim)时,电阻值停止上升;负载电阻具有下述特性:当电脉冲施加装置输出第二施加电压(VP2)的电脉冲时,第二施加电压减去第三施加电压而得的电压被施加到负载电阻上时的电流,在第一电流值以下。
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公开(公告)号:CN101981695A
公开(公告)日:2011-02-23
申请号:CN200980111679.9
申请日:2009-07-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L27/101 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/1273 , H01L45/146 , H01L45/1625 , H01L45/1641
Abstract: 本发明提供一种电阻变化元件及其制造方法,该电阻变化元件的特征在于,包括:第一电极(103);第二电极(107);以及,设置成介于第一电极(103)和第二电极(107)之间,并与第一电极(103)和第二电极(107)相接,能够基于施加在第一电极(103)和第二电极(107)之间的极性不同的电信号产生可逆变化的电阻变化层,其中,电阻变化层由氧不足型过渡金属氧化物层构成,第二电极(107)由具有微小突起(108)的铂构成。
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