平板显示器的半透过电极用Ag合金膜及平板显示器用半透过电极

    公开(公告)号:CN103680664A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201310367114.5

    申请日:2013-08-21

    Abstract: 本发明提供一种平板显示器的半透过电极用Ag合金膜。该Ag合金膜是能实现半透过的膜厚比较薄的Ag合金膜,其电阻率较低,显示期望的反射率和透过率,且即使经由加热工序也不易使特性劣化(例如电阻率不易增加),适用于平板显示器。该Ag合金膜是设于基板上的半透过电极所用的Ag合金膜,其特征在于,含有0.1~1.0at%的Bi,且膜厚为5nm以上且小于25nm,而且表面电阻值为15Ω/单位面积以下。

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