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公开(公告)号：CN105570530B
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201510455617.7
申请日：2015-07-29
Applicant: 盾安美斯泰克股份有限公司
IPC: F16K99/00
CPC classification number: F16K99/0011 , B01L3/5027 , B81B1/00 , Y10T137/2224
Abstract: 一种具有改进的密封机构的开关微型阀。微型阀包括第一板，该第一板具有表面、设置在表面内的凹入区域、设置在凹入区域内的流体端口和绕流体端口延伸的密封结构。第二板限定非可动部分和可动部分，可动部分形成在第一开口内并具有轴线。非可动部分的表面抵靠第一板的表面，非可动部分具有贯穿其中形成的第一和第二开口。第一开口具有形成在它的两个纵向延伸侧壁中的每个上的凹口。可动部分限定了由形成在第二开口中的旋绕弹簧连接到非可动部分的可移动构件。可移动构件具有从它的两个纵向延伸侧壁中的每个向外延伸的突片，每个突片定位在凹口中的一个内。可移动构件在第一开口内的关闭位置与打开位置之间是滑动地且轴向地可移动的。
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公开(公告)号：CN106996477A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201611060613.X
申请日：2016-11-25
Applicant: 盾安美斯泰克股份有限公司
Abstract: 本发明公开了具有第一级机械阀和第二级微型阀的两级流体控制阀。该两级流体控制阀包括第一级机械控制阀和第二级微型阀，所述第一级机械控制阀可在开启位置和不渗漏的关闭位置之间移动，所述第二级微型阀配置为在所述第一级机械控制阀处于开启位置时控制流过所述两级流体控制阀的流体出口的流体流量。
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公开(公告)号：CN105570530A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201510455617.7
申请日：2015-07-29
Applicant: 盾安美斯泰克股份有限公司
IPC: F16K99/00
CPC classification number: F16K99/0011 , B01L3/5027 , B81B1/00 , Y10T137/2224 , F16K99/0003
Abstract: 一种具有改进的密封机构的开关微型阀。微型阀包括第一板，该第一板具有表面、设置在表面内的凹入区域、设置在凹入区域内的流体端口和绕流体端口延伸的密封结构。第二板限定非可动部分和可动部分，可动部分形成在第一开口内并具有轴线。非可动部分的表面抵靠第一板的表面，非可动部分具有贯穿其中形成的第一和第二开口。第一开口具有形成在它的两个纵向延伸侧壁中的每个上的凹口。可动部分限定了由形成在第二开口中的旋绕弹簧连接到非可动部分的可移动构件。可移动构件具有从它的两个纵向延伸侧壁中的每个向外延伸的突片，每个突片定位在凹口中的一个内。可移动构件在第一开口内的关闭位置与打开位置之间是滑动地且轴向地可移动的。
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公开(公告)号：CN102792419B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201180007649.0
申请日：2011-01-26
Applicant: 盾安美斯泰克股份有限公司
Inventor： P.阿鲁纳萨拉姆
IPC: H01L21/027
CPC classification number: B81B3/001 , B81C1/00269 , B81C2203/0118 , B81C2203/036
Abstract: 一种防止微机电系统装置内，更具体地说，防止在具有微米范围内或更小(亦即小于约10微米)的凹部内的可动构造在接合工艺期间内被不慎地接合至非运动构造的方法。该方法包括在构造方面和化学方面对硅进行表面制备，以帮助防止运动构造在接合期间(包括在高力量、高温度融合接合期间)内接合至相邻的表面。
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公开(公告)号：CN102812538B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201180007647.1
申请日：2011-01-26
Applicant: 盾安美斯泰克股份有限公司
Inventor： P.阿鲁纳萨拉姆
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/302 , B81C1/00611 , B81C2201/0121 , B81C2203/036 , H01L21/02057
Abstract: 促进诸如硅晶片的半导体组件的接合的非磨蚀方法，这些半导体组件在接合界面表面上具有微结构缺陷。在优选的方法中，微结构缺陷通过以下方式去除：在该接合界面表面上形成氧化物层至低于该缺陷的水平的深度，且然后，去除该氧化物层以暴露出用于接合的满意表面，由此增加生产线的产率且降低制造设施中的废品起因。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108371740B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN201710838155.6
申请日：2017-09-11
Applicant: 盾安美斯泰克股份有限公司
Abstract: 一种改进的气溶胶分配设备，包括气溶胶容器、排放件、致动器、附接到所述气溶胶容器的流量控制罐阀组件、电池和电子控制流量控制阀，所述电子控制流量控制阀电连接到所述电池，且与所述流量控制罐阀组件流体连通。所述气溶胶容器与附接的流量控制罐阀组件进一步附接到所述致动器，并且所述致动器被安装为在所述排放件内可滑动地移动。所述流量控制罐阀组件可在打开位置和关闭位置之间移动，在所述打开位置中，气溶胶制剂的体积从所述气溶胶容器被引导通过所述流量控制罐阀组件到所述电子控制流量控制阀，在所述关闭位置中，所述气溶胶制剂不被允许流动通过所述流量控制罐阀组件到所述电子控制流量控制阀。
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公开(公告)号：CN110440009A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910260175.9
申请日：2019-04-02
Applicant: 盾安美斯泰克股份有限公司
Abstract: 一种两级流体控制阀，包括：第一级电子可切换的双稳态双通阀，其可在打开位置和无泄漏关闭位置之间移动；和第二级微型阀，其配置成当所述第一级电子可切换的双稳态双通阀处于打开位置时控制通过两级流体控制阀的流体出口的流体流动。所述电子可切换的双稳态双通阀设置在所述第二级微型阀和两级流体控制阀的流体入口之间。
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公开(公告)号：CN105889623B
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201510542035.2
申请日：2015-08-28
Applicant: 盾安美斯泰克股份有限公司
CPC classification number: F16K99/0044 , F16K99/0011 , F16K99/0028
Abstract: 本发明涉及具有改进的致动器的微型阀。该微型阀包括具有限定致动器腔的表面的第一板。第二板具有抵靠第一板表面的表面，并且包括可移动构件，其布置在致动器腔内用于在关闭位置与打开位置之间移动，在所述关闭位置中，可移动构件防止通过微型阀的流体连通，在所述打开位置中，可移动构件不防止通过微型阀的流体连通。致动器连接到所述可移动部件，并且仅具有一对或两对致动器肋。
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公开(公告)号：CN108413126A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201711058253.4
申请日：2017-11-01
Applicant: 盾安美斯泰克股份有限公司
Abstract: 用于通过MEMS微型阀控制传动系统的流体压力的系统，所述系统包括被配置为接收目标指令压力、当前系统指令压力输入信号和传动系统操作温度的传动控制器。功率确定模块根据控制器中接收的目标指令压力、当前系统指令压力输入信号、传动系统操作温度和控制器内的查找表来确定温度相关功率因数。功率信号模块通过温度相关功率因数调节当前系统指令压力输入信号，并经由控制器将调节后的当前系统指令压力输入信号施加到MEMS微型阀。
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公开(公告)号：CN107036341A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710060054.0
申请日：2017-01-24
Applicant: 盾安美斯泰克股份有限公司
IPC: F25B41/06
Abstract: 一种两级比例控制阀被配置为用于流体系统中，两级比例控制阀包括阀体，阀体具有穿过其形成的纵向延伸的阀体孔。第一级微阀安装在阀体孔内，并且第二级滑阀组件安装在微阀下游的阀体孔内。第二级滑阀组件包括套筒和可滑动地安装在套筒内的滑阀。
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