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公开(公告)号：CN109355632A
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201811548241.4
申请日：2018-12-18
Applicant: 郑州大学
Abstract: 本发明涉及一种提高钼及其合金溅射靶材晶粒均匀性的方法，包括1）将费氏粒度为2.0-4.5μm的钼粉进行球磨、分级使得钼粉中1μm以下颗粒含量在5%以下，0.5μm以下颗粒含量在1%以下，然后与费氏粒度5-20μm的合金粉混合均匀得到混合粉；2）将混合粉冷等静压压制成形，得到压制板坯；3）将压制板坯于1750-2150℃烧结保温2-8小时得到烧结坯；4）将烧结坯轧制变形得到轧制坯，开坯温度为1350-1500℃，终轧温度为1100-1400℃；5）轧制坯在真空或氢气气氛中于1050-1250℃退火处理1-4小时，即获得溅射靶材。该方法可以同时提高钼及其合金溅射靶材微小区域内和区域间的晶粒均匀性，使溅射镀膜微观和整体均匀性得以保障，从而提高相关电子元器件功能薄膜质量、寿命和产品的一致性。
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公开(公告)号：CN118308696A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410514647.X
申请日：2024-04-26
Applicant: 郑州大学
Abstract: 本发明实施例公开了基于镍钛预合金化的钼镍钛合金靶材的制备方法，包括镍钛预合金化得到镍钛预合金粉末的步骤S1和镍钛预合金粉末与钼粉末烧结得到钼镍钛合金靶材的步骤S2，其中，步骤S1包括：设定量的镍粉与钛粉混合，在惰性气氛环境下球磨处理，得到镍钛预合金粉末；步骤S2包括：S201、镍钛预合金粉末与钼粉混合，得到钼镍钛混合粉体；S202、钼镍钛混合粉体烧结，得到钼镍钛合金靶材。步骤S1中，球磨得到镍钛预合金粉末的过程中加入设定量的硬脂酸，有利于极大提高镍钛预合金粉末的收粉率，达到99％以上，并使用该预合金粉末制备出钼镍钛合金靶材，通过降低钛原子的固溶度和高硬度相Ni3Ti的含量，使得塑性相比于普通混粉得到提高。
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公开(公告)号：CN117226093A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311248326.1
申请日：2023-09-25
Applicant: 郑州大学
Abstract: 本发明实施例公开了骨植入物材料多孔钽及其制备方法；制备方法包括：金属钽粉、造孔剂、粘结剂按照设定比例混合，得到混合物料；混合物料预压成型；预压成型的混合物料冷等静压压制，得到物料生坯；利用水处理得到的物料生坯，去除物料生坯中的部分造孔剂；水处理后的物料生坯进行真空烧结，去除物料生坯中的剩余造孔剂，得到骨植入物材料多孔钽；其中，骨植入物材料多孔钽的显气孔率为48～70％，平均孔径为10～150μm，孔洞分布均匀且孔隙具有互联性，通过改变造孔剂的添加量、粒径及形状可实现对多孔钽材料的各项性能的调整，满足医用植入材料产品相关参数的要求，在医用植入材料领域有良好应用前景。
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公开(公告)号：CN115637365B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202211383837.X
申请日：2022-11-07
Applicant: 郑州大学
Abstract: 本发明公开了一种中熵合金粘结剂高比重合金及其制备方法。中熵合金粘结剂高比重合金由中熵合金粘结剂和钨基体组成；粘结剂由元素Ni、Fe和Cr组成。将粘结剂元素组成中单质粉末原料装入球磨罐中球磨处理，得到粘结剂粉末原料；然后按照高比重合金组成称取钨粉末和所得粘结剂粉末，装入球磨罐中球磨处理，得到混合粉末；混合粉末进行成型，得到生坯；生坯依次进行氢气气氛下烧结和真空条件下热处理，得到中熵合金粘结剂高比重合金。本发明采用中熵合金作为高比重合金粘结剂，可以改善合金的强度和塑性，同时能够改善高比重合金的耐腐蚀性能；同时，通过本发明能够提升高比重合金的烧结致密度和力学性能。
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公开(公告)号：CN116288187A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310292353.2
申请日：2023-03-23
Applicant: 郑州大学
Abstract: 本发明实施例公开了低氧含量钼铌合金靶材的制备方法，包括步骤：(1)取设定量的金属铌粉、金属钼粉和氟化铝添加剂，混合得到混合料；(2)将得到的混合料模压成型，得到钼铌合金靶材生坯；(3)将得到的钼铌合金靶材生坯在升高的压力下进行压制；(4)依照设置的升温机制升温，压制后的钼铌合金靶材生坯在升高的温度下烧结，烧结保温设定时间后，冷却，得到低氧含量钼铌合金靶材。低氧含量钼铌合金靶材的制备方法利用氟化铝添加剂作为除氧剂，在靶材生坯烧结过程中，利用氟化铝与五氧化二铌反应，生成易升华的产物，有效降低了产物中的氧含量，得到了氧含量较低的钼铌合金。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115637365A
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202211383837.X
申请日：2022-11-07
Applicant: 郑州大学
Abstract: 本发明公开了一种中熵合金粘结剂高比重合金及其制备方法。中熵合金粘结剂高比重合金由中熵合金粘结剂和钨基体组成；粘结剂由元素Ni、Fe和Cr组成。将粘结剂元素组成中单质粉末原料装入球磨罐中球磨处理，得到粘结剂粉末原料；然后按照高比重合金组成称取钨粉末和所得粘结剂粉末，装入球磨罐中球磨处理，得到混合粉末；混合粉末进行成型，得到生坯；生坯依次进行氢气气氛下烧结和真空条件下热处理，得到中熵合金粘结剂高比重合金。本发明采用中熵合金作为高比重合金粘结剂，可以改善合金的强度和塑性，同时能够改善高比重合金的耐腐蚀性能；同时，通过本发明能够提升高比重合金的烧结致密度和力学性能。
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公开(公告)号：CN113458405A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110644480.5
申请日：2021-06-09
Applicant: 郑州大学
Abstract: 大粒径金属钼粉的制备方法，包括：粒度在5～100μm之间的大尺寸β型四钼酸铵单晶颗粒于350～400℃下焙烧，得到三氧化钼；三氧化钼经过两段氢还原得到金属钼粉，其粒度大于5μm。大尺寸β型四钼酸铵单晶颗粒的制备方法包括：用工业钼酸铵、氨水、去离子水配置浓度为0.2～0.6g/mL的钼酸铵溶液，将其pH调节为1～2，温度调节为70～90℃，得到第一钼酸铵溶液；第一钼酸铵溶液恒温搅拌3～5min，结晶，过滤，得到β型四钼酸铵晶种；用工业钼酸铵、氨水、去离子水配置浓度为0.2～0.6g/mL的钼酸铵溶液，将钼酸铵溶液的pH值调节为5～7，温度调节为70～90℃，得到第二钼酸铵溶液；β型四钼酸铵晶种在第二钼酸铵溶液中，室温静置，得到大尺寸β型四钼酸铵单晶颗粒。
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公开(公告)号：CN105648407B
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201610054493.6
申请日：2016-01-27
Applicant: 郑州大学
Abstract: 本发明公开了一种高致密度钼铌合金靶材及其制备工艺，首先按重量百分比计量称取以下组分：铌粉5%~15%，氢化锆0.1%~0.8%，余量为钼粉，研磨、混匀后采用冷等静压压制成型，再进行真空烧结，或者在氢气气氛中预烧结后再进行真空烧结，最后机加工，即得。本发明利用氢化锆的活化作用，采用普通的粉末冶金工艺直接制备高致密度的钼铌合金溅射靶材，工艺简单，成本低；同时避免了气孔造成的微粒飞溅，保证了镀膜质量；克服了熔炼铸造工艺组织粗大、成分不均，热压、热等静压工艺的渗碳、成本高，锻造或轧制加工流程长、成品率低的缺点。
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公开(公告)号：CN105648407A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201610054493.6
申请日：2016-01-27
Applicant: 郑州大学
CPC classification number: C23C14/3414 , B22F3/1007 , B22F2998/10 , B22F2999/00 , C22C27/04 , B22F2201/20 , B22F2201/013 , B22F3/02
Abstract: 本发明公开了一种高致密度钼铌合金靶材及其制备工艺，首先按重量百分比计量称取以下组分：铌粉5%~15%，氢化锆0.1%~0.8%，余量为钼粉，研磨、混匀后采用冷等静压压制成型，再进行真空烧结，或者在氢气气氛中预烧结后再进行真空烧结，最后机加工，即得。本发明利用氢化锆的活化作用，采用普通的粉末冶金工艺直接制备高致密度的钼铌合金溅射靶材，工艺简单，成本低；同时避免了气孔造成的微粒飞溅，保证了镀膜质量；克服了熔炼铸造工艺组织粗大、成分不均，热压、热等静压工艺的渗碳、成本高，锻造或轧制加工流程长、成品率低的缺点。
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公开(公告)号：CN116288190A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310333631.4
申请日：2023-03-31
Applicant: 郑州大学
Abstract: 本发明实施例公开了低氧、高致密、高塑性钼钛合金靶材及制备方法；制备方法包括：取设定量的钼粉和钛粉，在混料机中氩气氛保护下混合得到混合粉体；将混合粉体进行冷等静压成型，得到钼钛生坯；将得到的钼钛生坯进行低温真空烧结，得到预烧结坯；将预烧结坯进行热等静压烧结，得到低氧、高致密、高塑性钼钛合金靶材。本发明实施例公开的低氧、高致密、高塑性钼钛合金靶材的制备方法，结合真空烧结与热等静压来制备钼钛合金靶材，先使用真空预烧结除去坯体中杂质性元素，然后将预烧结坯进行热等静压烧结得到低氧、高致密以及高塑性的钼钛合金靶材，在钼钛合金靶材制备领域有良好的应用前景。
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