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公开(公告)号：CN102607461B
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201210080275.1
申请日：2012-03-23
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种光学元件面形误差的高精度测试装置和方法，涉及光学测试技术领域，该装置成本低廉，能够快速简便的进行测量和对自身的测量误差进行校准，测量精度高，对测量环境的要求相对宽松。该装置和方法将相位复原方法和点衍射干涉仪的原理融合在一起。采用小孔为测试装置产生理想球面波，对光学面形误差进行高精度测试。该测试装置和方法具有两部分功能，既能够对光学元件的面形误差进行测试，又能对测试装置进行高精度校准。本发明具有低成本、高精度的特点，适合于光学成像系统的生产企业、科研和检测单位使用。
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公开(公告)号：CN102252763B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201110095518.4
申请日：2011-04-15
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G01J9/00
Abstract: 光学成像系统光学波前的单焦面高精度测试方法，涉及一种光学测试技术领域，它解决现有相位恢复算法中出瞳振幅分布不均匀和快速傅里叶变换引入计算误差的问题，并且为消除图像采集过程中振动对检测精度产生的影响提供解决方案，其方法：搭建光学成像系统的检测平台；采用检测平台中的探测装置检测待测镜头的焦面位置，探测装置获得待测镜头的离焦星点图像；根据获得的离焦星点图像选取有效数据，计算光学系统的光瞳函数；对获得的光瞳函数提取相位，获得光学成像系统的光学波前。所述计算光学系统的光瞳函数采用泽尼克多项式、扩展奈波尔泽尼克多项式和广义逆矩阵计算。本发明低成本、精度高，适合于光学成像系统的生产企业、科研和检测单位使用。
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公开(公告)号：CN102607461A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210080275.1
申请日：2012-03-23
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种光学元件面形误差的高精度测试装置和方法，涉及光学测试技术领域，该装置成本低廉，能够快速简便的进行测量和对自身的测量误差进行校准，测量精度高，对测量环境的要求相对宽松。该装置和方法将相位复原方法和点衍射干涉仪的原理融合在一起。采用小孔为测试装置产生理想球面波，对光学面形误差进行高精度测试。该测试装置和方法具有两部分功能，既能够对光学元件的面形误差进行测试，又能对测试装置进行高精度校准。本发明具有低成本、高精度的特点，适合于光学成像系统的生产企业、科研和检测单位使用。
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公开(公告)号：CN101893485A
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN201010229010.4
申请日：2010-07-16
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G01J9/00
Abstract: 本发明星点衍射波面相差的检测方法属于光学测试仪器研究领域，该方法是：将会聚照明光源(5)对准被测试的针孔板(6)上的针孔，使针孔发出球面衍射光波；用高倍放大光学成像系统(7)对针孔成像，由CCD光电探测器(8)接收星点衍射图像，经图像采集与计算分析系统(9)采用位相复原算法与计算分析软件实现由星点衍射图像到波面相差图像的测算复原，最终绘制出波面轮廓图，从波面轮廓图上得到星点衍射波面相差的信息。本发明的检测方法无需辅助基准光学波面，测试结构简单；测试波段范围宽。
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公开(公告)号：CN106598084B
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201611137465.7
申请日：2016-12-10
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明提出的基于零位补偿系统的被检非球面镜的装配方法及相关装置，其中，通过精确测量零位补偿系统光学参数，利用光学设计软件重新优化计算被检镜的理想Z向位置；以被检非球面镜在0°和180°位置时面形检测结果中倾斜项和慧差项的变化规律装调非球面光轴与转台转轴重合。该方法可以精确定位被检非球面镜的X/Y/Z平移位置和俯仰/偏摆姿态，并实现零位补偿系统非球面波光轴、被检非球面镜光轴和转台转轴精确重合，从而提高被检非球面镜的离焦、球差、高阶慧差等面形误差的检测精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105627914B
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201510962448.6
申请日：2015-12-21
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种干涉测量系统成像畸变标定装置，属于光学元件面形干涉测量技术领域，涉及一种干涉测量系统成像畸变标定装置。本发明能够在未知干涉测量系统光学设计参数的前提下，实现高精度被测试光学元件的非接触无损伤原位检测，得出干涉测量系统的成像畸变，且结构紧凑，减轻了重量和节省了空间，减少了误差积累，同时降低了操作的复杂性。所述标定装置为球冠形，在所述标定装置上沿横向和纵向分布有若干个通孔，每个通孔的中心和每个与其相邻的通孔的中心间距相同，每个通孔的中心线均通过所述标定装置所在球面的球心，且其中的一个通孔位于所述标定装置的中心，即为中心通孔。
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公开(公告)号：CN105445931B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201510960082.9
申请日：2015-12-21
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G02B27/00
Abstract: 用于超高精度凹非球面检测的补偿器光学系统，涉及一种光学系统，解决现有补偿器光学系统由于引入非共光路测量误差，而导致非球面面形检测精度低的问题，包括透射组、补偿组和待检非球面凹镜，所述透射组透射球面波，补偿组将透射组提供的球面波转化为与待检非球面凹镜匹配的非球面波；所述透射组的F/#为3.1，补偿组的F/#为3.7，待检非球面凹镜的F/#为1.8。本发明所述的补偿器光学系统减轻了补偿器设计难度，降低了补偿器加工装配难度，减少误差因素以提升检测精度，本发明所述的方法相对于超高精度非球面凹镜检测，能够提供相应的满足剩余波像差要求的补偿器。
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公开(公告)号：CN105445895B
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201510962270.5
申请日：2015-12-21
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 一种反射镜支撑调整装置属于反射镜面形检测技术领域，目的在于解决现有技术存在的功能单一和价格昂贵的问题，本发明的一种反射镜支撑调整装置包括转动轴承、滑动台、立板和底板；两个所述立板垂直固定在底板相对的两个边上，两个立板内侧设置有导向沟槽B，所述滑动台放置在底板中间位置，所述滑动台和两个立板相对的侧壁上设置有导向沟槽A，滑动台的两个侧壁上的导向沟槽A分别和两个立板上的导向沟槽B配合相对滑动，所述转动轴承垂直放置在所述滑动台上方中间位置，反射镜设置在转动轴承上端，所述导向沟槽A为圆弧形，所述圆弧形导向沟槽A的圆心和反射镜球面同心。实现被测试反射镜转动和摆动的姿态调整。
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公开(公告)号：CN105547183B
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201510962447.1
申请日：2015-12-21
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 复位被测非球面空间位置的调整方法，属于超高精度非球面面形检测技术领域，涉及一种复位被测非球面空间位置的调整方法。本发明调整方法只需一次调整即可将被测非球面进行空间位置复位，且具有快速复位、操作简单、复位精度高的优点。本发明包括：将被测非球面调整到理论检测位置，得到第一检测系数；将被测非球面沿X轴方向平移，得到第二检测系数；将被测非球面沿Y轴方向平移，得到第三检测系数；将被测非球面绕X轴旋转，得到第四检测系数；将被测非球面绕Y轴旋转，得到第五检测系数；建立矩阵方程，将被测非球面从实验装置上取下、再装回，得到第六检测系数，并将其带入线性矩阵方程中，解出数值，对被测非球面进行调整、复位。
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公开(公告)号：CN105563270B
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201510962237.2
申请日：2015-12-21
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: B24B13/00 , B24B13/005
Abstract: 一种离子束面形精修用工件定心定方位角装置属于离子束加工领域，目的在于解决现有技术存在结构复杂且不能定方位角的问题。本发明的定心旋转底座上端面圆周均布六个键槽A；设置在空心旋转底座上的工件夹持底座，工件夹持底座设置有中心圆孔，上端面圆周均布三个T形槽，圆周均布六个键槽B；设置在工件夹持底座上端面的定方位导杆；与工件夹持底座上的T形槽滑动配合的工件夹持柄，三个工件夹持柄支撑夹持工件；套装在定方位导杆的方形长杆上的定方位指示针；和固定在定心旋转底座的凸沿上的百分表，百分表测针和对应的工件夹持柄表面接触。实现离子束面形精修过程中待加工工件表面坐标系、面形检测系统坐标系和离子束面形精修系统坐标系的统一。
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