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公开(公告)号：CN101740316B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN200910225921.7
申请日：2009-11-23
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 远藤真一
Abstract: 一种准分子灯装置，提高表面处理效率和真空紫外光的发光效率。具备：灯壳(10)；准分子灯(20)；具有气体喷出口(12a)的气体供给管(12A)；及搬送机构(38)；在该对被处理体(W)照射准分子光的准分子灯装置(10)中，在上述灯壳(10)内相互分离地设置有多个气体供给管，相邻的气体供给管彼此具备设置在一个气体供给管上的气体喷出口与设置在另一个气体供给管上的气体喷出口成为一对的关系的至少一对气体喷出口；该一对气体喷出口形成为，一个气体喷出口的喷出方向与另一个气体喷出口的喷出方向，在该相邻的气体供给管所夹着的空间(A)内相对或交叉，准分子灯配置在该空间(A)的铅直下方。
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公开(公告)号：CN102671891A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210067052.1
申请日：2012-03-14
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: B08B7/00
Abstract: 提供一种光照射装置，可防止或抑制附着于被照射物的有机物等的污染物与大气中所包含的污染物质的反应生成物附着于被照射物，所以能够可靠完成所需要的光清洗处理。其特征为，具备：准分子灯；灯罩，以包围该准分子灯的方式设置，具有将来自该准分子灯的光向外部射出的开口和将内部的气体排出的气体排出口；以及气体排出机构，将大气从该灯罩的开口向该灯罩的内部导入，并从该灯罩的气体排出口排出；在上述准分子灯上设置有光遮蔽单元，该光遮蔽单元以该准分子灯的放射光不照射到上述灯罩内的形成气体流通路径的壁面的方式遮蔽该放射光。
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公开(公告)号：CN101527255B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200910004700.7
申请日：2009-03-06
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/268 , B08B7/00 , H01L21/312 , G03F7/26
Abstract: 本发明是目的是提供可将非活性气体快速地充满于准分子灯的周围的紫外线照射装置。本发明的紫外线照射装置，具有：多个准分子灯，所述准分子灯在放电容器内形成的密闭空间中封入有放电气体，并且隔着该密闭空间在上述放电容器的外表面形成有一对电极；灯罩，包围该多个准分子灯且垂直方向的一个方向被开口，及气体供给机构，用来将非活性气体供给给该灯罩的内部。其特征为：在上述灯罩内，空间封闭体被配置于由上述准分子灯所占有的空间以外的空间。
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公开(公告)号：CN101393839B
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200810161711.1
申请日：2008-09-22
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种准分子灯的制造方法及能够高水准地维持发光管的紫外光透过率的准分子灯，上述准分子灯的制造方法能够使准分子灯不会因发光管构成材料附着于发光管内表面而降低发光管的紫外光透过率。本发明的准分子灯，在填充有放电用气体的由电解质构成的发光管的外表面，夹着发光管的管壁而相对地设置有一对外部电极，其特征在于，在发光管的内部，包括气体导入部和凸缘部的密封部件的凸缘部的外周边缘在整个圆周方向上焊着而固定到发光管的管壁，从而形成由密封部件和发光管的管壁隔开的气密空间，气体导入部的一端被密封而另一端开口，且一端向发光管的管轴方向的外端延伸，凸缘部与气体导入部连续而向气体导入部的直径方向扩展。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101752195A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910262452.6
申请日：2009-12-18
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 远藤真一
Abstract: 提供一种准分子灯装置，即使高速输送被处理物，也不会有空气被卷入装置内，而且以惰性气体置换移动的被处理物表面，能够高效地照射真空紫外线，具备：灯罩(10)，被收容于该灯罩内的准分子灯(30)，及输送机构(40)，一面输送被处理物(W)一面照射准分子光，其特征为：在比上述灯罩靠输送方向上游的一侧连结设置有被处理物被输入的前室(20)，在该前室内，设置有用于以惰性气体置换该前室内的惰性气体导入口(22)以及沿着输送方向对该被处理物喷出惰性气体的气体喷出单元(25)，该被处理物是聚乙烯醇、三醋酸纤维素、聚对苯二甲酸乙二醇酯、或聚乙烯的任一薄膜状的树脂材料。
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公开(公告)号：CN101640163A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200910164913.6
申请日：2009-07-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种准分子灯，抑制将电力供应给准分子灯的供电线与电极进行接合的连接部等的氧化等引起的劣化，提升可靠性，而且寿命长。本发明的准分子灯的一个电极配置于放电容器外部，在该放电容器内部封入有放电用气体，在与该一个电极成对的另一个电极之间配置有介质，在该一个电极及该另一个电极上连接有将电力供应给电极间的导线，将电力经由该导线、该电极、该介质供应给该放电用气体，其中，设有与该放电容器的一个端部连接的以至少5个面区划的空间，该空间通过隔壁与该放电容器隔离，在该空间的外面形成有与上述电极电连接的连接部，该导线经由焊锡连接在该连接部上。
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公开(公告)号：CN101539253A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200910128019.3
申请日：2009-03-17
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供光传感器及具备此光传感器的灯单元，以简单的构造，可防止因不期望的负荷所致的准分子灯的破损，并且可抑制因氧浓度变动的大气的对流所引起的测定值变动。用以解决课题的手段为，一种灯单元，包括：用来放射紫外线的准分子灯、接收紫外线的光传感器、及至少收容保持光传感器的框体，其特征为：光传感器具有检测可见光的光检测体、附设于光检测体的筒状的保持体，能够移动地保持于保持体内并且以可抵接于准分子灯的方式被设置的筒状或柱状的可动体，来自于准分子灯的供紫外线透过的透过构件、与将透过透过构件的紫外线变换成可见光的变换构件设置成，受到该光检测体、该保持体、该可动体所包围。
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公开(公告)号：CN101533756A
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200910126941.9
申请日：2009-03-10
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明的目的是在于提供可抑制焊料的劣化的准分子灯及该准分子灯的制造方法。该准分子灯，隔着放电容器的密闭空间相对地形成一对电极；并且各个电极与将电力供应于各个电极所用的引线通过焊料固定。本发明的准分子灯，是在由介质材料所构成的放电容器内部形成的密闭空间中封入有放电用气体，隔着上述密闭空间、在上述放电容器的外表面形成包含金属薄膜的一对电极，用于馈电给各个电极的各个引线由焊料与各个电极电连接，该准分子灯其特征为：在上述焊料的周围形成有保护膜。
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公开(公告)号：CN101431000A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200810171076.5
申请日：2008-11-06
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种紫外线照射处理装置，防止准分子灯与处理体之间的不希望的放电，不会损伤处理体。上述紫外线照射处理装置包括准分子灯，该准分子灯包括在角部具有弯曲部的扁平筒状放电容器，上述紫外线照射处理装置的特征在于，高压电极与接地电极间的沿面放电距离小于高压电极与处理体间的最短放电距离。
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