公开(公告)号：CN101798679A

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN201010138885.3

申请日：2010-03-31

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 庞晓露 ,  杨会生 ,  高克玮 ,  王燕斌

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/14 ,  C23C14/02 ,  F16C32/06

Abstract: 本发明为一种用于动压气浮轴承的复合涂层制备方法，采用中频反应磁控溅射系统沉积Ti/AlTiN/Ti:DLC高硬度、高耐磨复合膜。动压气浮轴承转子与定子之间的摩擦系数越小越有利于马达启动，在高速转动过程中，定子与转子可能发生碰撞甚至出现瞬间熔化抱死故障。单一材料的动压气浮轴承已经不能满足目前的需求，轴承材料的表面改性技术是限制其应用的关键技术之一。本发明制备的涂层在降低了摩擦系数，提高了耐磨性，同时解决了涂层的耐腐蚀性及耐磨性。该方法易行，所有原料都比较常见，可以实现工业化生产。

公开(公告)号：CN1245534C

公开(公告)日：2006-03-15

申请号：CN02116687.0

申请日：2002-04-16

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 杨会生 ,  王燕斌 ,  熊小涛

IPC: C23C14/34

Abstract: 本发明提供了一种磁控溅射阴极及其溅射方法，其特征在于：法兰(28)安装于真空室壁上，在法兰(28)上有密封胶圈(26)和固定螺栓孔(27)，基片(37)置于阴极上方进行溅射镀膜；对于具有轴对称的圆形磁控溅射阴极，铁磁性靶材由中心圆形靶材(21’)和外侧环型靶材(21)组成，中心圆形靶材与外侧环形靶材之间有5——60mm的间隙，溅射在间隙附近发生；靶材(21，21’)、磁极(22，22’)、磁铁(23，23’)和磁极背板(38)构成闭合磁路；其中磁极和磁极背板采用高饱和磁化强度材料；靶体(33)采用具有良好导热性的材料制造。在溅射过程中，等离子体中的离子对靶材表面的轰击，将有大量的热能产生，在靶体内构造出冷却水道(39)。本发明的优点在于：克服了铁磁性靶材对磁路的屏蔽效应；增加一致性，易于安装和维护。

公开(公告)号：CN1380439A

公开(公告)日：2002-11-20

申请号：CN02116688.9

申请日：2002-04-16

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 杨会生 ,  王燕斌 ,  熊小涛

IPC: C23C14/24

Abstract: 本发明提供了一种霍尔型离子辅助蒸发源,由阴极灯丝(31)、阳极(32)、供气系统、磁路等部件组成,其特征在于:蒸发源通过法兰背板(36)安装在未详细说明的真空室壁上。在蒸发源的上部安装有可发射热电子的阴极灯丝(31),灯丝通过陶瓷绝缘垫(37)与离子源其他部件绝缘;在放电室(38)下部安装了阳极(32),在阳极上构造出装载膜料的坩埚(39),坩埚底部有水冷室(40),阳极通过螺栓(41)与下部的布气板(42)连接;在布气板上构造出环型布气槽(43)。本发明的优点在于:可以用来镀前清洗,在用金属膜料镀制非金属膜时,可以将反应气体直接馈入蒸发源内并使其离化,从而进行反应镀膜,增加反应程度。