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公开(公告)号：CN103048112A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210524037.5
申请日：2012-12-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01M9/06
Abstract: 本发明公开了一种脉冲气体激光器横流风机叶轮扰动的测量装置及方法，主要测量风机扰动。装置包括探测激光光源、扩束系统、二个分光镜、二个反射镜、光电探测器、数据采集器和处理器；二个分光镜和二个反射镜构成马赫泽德干涉系统，分光镜放置在被测流场区域的两端；探测激光光源、扩束系统和第一分光镜依次位于同一光路上，光电探测器位于第二分光镜的出射光路上。方法通过控制数据采样频率和样品数，对信号进行滤波后再进行FFT处理，将时域的周期性扰动信号转换为频域的信号，得到信号图谱以确定风机叶轮的扰动。本发明通过光学测量的方式获得风机转动的扰动信息，具有测量装置简单、精度高、操作方便的特点，具有很强的实用性。
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公开(公告)号：CN102323445B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201110160097.9
申请日：2011-06-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01P5/26
Abstract: 本发明属于速度光学测量技术领域，涉及的是测量流场速度的方法。本发明通过配备增强型电荷耦合(ICCD)成像器件，结合干涉法或纹影法装置系统来拍摄流场的分布规律，通过控制器的延时控制功能，拍摄得到热气团的发生及演化过程，将获得的图像进行数字图像处理，根据图像的特征得到热气团的中心线，对多帧图像处理得到热气团中心线随时间的变化规律，采用最小二乘法进行数据处理和误差估计，得到一维流场的速度分布信息，本方法采用非接触测量方法，能对流场速度进行实时测量，并得到整个一维速度分布信息，克服了现有技术中的不足和缺陷，具有很强的进步及实用性。
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公开(公告)号：CN102263361A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN201110169364.9
申请日：2011-06-22
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种激光反射腔镜组件，包括反射镜、前夹持器和后夹持器；反射镜的底座部分相对镜体部分径向突出1-20mm，形成凸台，后夹持器上开有凹槽，反射镜的底座部分置于该凹槽内，前夹持器上开有台阶通孔，反射镜穿过该台阶通孔，且台阶通孔上的台阶与反射镜的凸台抵接，前夹持器和后夹持器通过螺钉连接，使反射镜的凸台被夹紧，前夹持器的台阶通孔与反射镜镜体部分的侧面之间留有径向间隙。它使反射腔镜为凸台结构，夹持器夹持镜子的凸台，从而在与镜子实施刚性夹持的基础上实现镜面的自由伸展。本发明克服了目前激光发射腔镜存在的镜面受约束或者夹持无力的困难，同时能很好解决密封问题。本发明结构简单、操作方便，还可适应于异形镜。
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公开(公告)号：CN116858806A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310643927.6
申请日：2023-06-01
Applicant: 广东省智能机器人研究院 , 华中科技大学
Abstract: 本申请涉及一种激光液滴冲击过程的阴影成像设备，包括打靶激光器、正向光源件、第一分光件、第二分光件及第一成像接收件。第一分光件用于透过打靶激光。第一分光件还用于将正向成像光束反射至与透过第一分光件的打靶激光重合。第二分光件能够透过由第一分光件反射过来的正向成像光束。第二分光件还用于反射透过了第一分光件的打靶激光。第一成像接收件用于接收未被液滴所吸收且透过了第二分光件的正向成像光束。第一成像接收件用于根据接收到的正向成像光束而产生反映液滴形态的图像信息。正向成像激光的透射方向与液滴的主要变形扩散方向处于完全垂直的关系，避免了后期需要对图像信息作较多的角度校正调整。
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公开(公告)号：CN111946574B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202010654246.6
申请日：2020-07-07
IPC: F03H1/00
Abstract: 本发明公开一种激光诱导射频放电等离子体推进器，包括：外电极、绝缘层、内电极、外电极射频电源、内电极射频电源、传动轴以及步进电机；外电极、绝缘层和内电极依次同轴心设置，组合成一个双电极加速系统；外电极射频电源通过传动轴与外电极相连，为外电极提供加速所需的高频电压；内电极射频电源通过传动轴与内电极相连，为内电极提供加速所需的高频电压；步进电机通过传动轴与介质靶材相连，带动介质靶材以恒定速度旋转；双电极加速系统与介质靶材之间形成交变电场；介质靶材在脉冲激光的作用下产生激光等离子体，激光等离子体在交变电场中得到多次加速后喷出。本发明可有效实现对激光等离子体的多次加速，对激光等离子体推进技术有重要意义。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111946574A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010654246.6
申请日：2020-07-07
IPC: F03H1/00
Abstract: 本发明公开一种激光诱导射频放电等离子体推进器，包括：外电极、绝缘层、内电极、外电极射频电源、内电极射频电源、传动轴以及步进电机；外电极、绝缘层和内电极依次同轴心设置，组合成一个双电极加速系统；外电极射频电源通过传动轴与外电极相连，为外电极提供加速所需的高频电压；内电极射频电源通过传动轴与内电极相连，为内电极提供加速所需的高频电压；步进电机通过传动轴与介质靶材相连，带动介质靶材以恒定速度旋转；双电极加速系统与介质靶材之间形成交变电场；介质靶材在脉冲激光的作用下产生激光等离子体，激光等离子体在交变电场中得到多次加速后喷出。本发明可有效实现对激光等离子体的多次加速，对激光等离子体推进技术有重要意义。
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公开(公告)号：CN103163743B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201310062528.7
申请日：2013-02-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明属于激光技术领域，公开了一种激光等离子体极紫外光源的产生装置及方法，该产生装置包括真空腔室以及位于真空腔室内的收集镜、聚焦镜、固体靶材和电机；还包括驱动光源和辅助光源；辅助光源用于产生辅助激光，辅助激光辐射所述固体靶材并使得固体靶材的热影响区域的温度升高至温度阈值；电机用于带动固体靶材旋转，驱动光源用于产生驱动激光，驱动激光通过聚焦镜聚焦后辐射固体靶材的热影响区域并产生等离子体辐射出极紫外光。本发明由于采用辅助光源来加热固体靶材，使得整个装置简化、实现方式简单且扩大了靶材材料的选择范围。
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公开(公告)号：CN103048889B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201210551511.3
申请日：2012-12-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于圆偏振激光驱动的极紫外光刻光源产生系统，包括CO2激光器、偏振转换组件、激光放大器以及极紫外光产生与收集装置，其中：所述CO2激光器用于产生线偏振的主振激光束，所述偏振转换组件用于将主振激光束转换为圆偏振激光，该圆偏振激光经由激光放大器功率放大后，输出至极紫外光产生与收集装置；所述极紫外光产生与收集装置用于将来自所述功率放大器的激光聚焦照射至Sn靶材处以激发等离子体，并对该等离子体所产生的极紫外辐射予以收集。通过本发明，能够在相对较低的激光功率和脉宽水平下，也能以较高的转换效率来获得极紫外光，而无需构建复杂的主振放大系统，由此能够以低成本、便于操控的方式来获得光刻用极紫外光源。
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公开(公告)号：CN103064259B
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201210531921.1
申请日：2012-12-10
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种极紫外激光等离子体光源碎屑的隔离方法及系统，该方法包括步骤S1：将靶体所在的腔体抽成真空；S2：从进气口导入缓冲气体，使得缓冲气体覆盖收集镜并沿收集镜表面流动形成气流层；S3：从出气口导出缓冲气体；S4：待腔体内的气流稳定后，使用激光照射靶体，产生极紫外辐射的同时产生了向四周运动的等离子体碎屑；S5：保持缓冲气体持续的导入和导出，气流层使所述等离子体碎屑的运动减缓，等离子体碎屑随着气流从出气口导出。本发明适用于CO2激光锡滴等离子体碎屑的隔离；使用的设备简单、易于操作控制，可有效解决激光照射液滴靶体所产生的碎屑对光学系统的污染和破坏，对提高极紫外光刻系统的寿命有重要意义。
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公开(公告)号：CN103592822A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201310522316.2
申请日：2013-10-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了极紫外光源中一种用于提高光源极紫外辐射转换效率同时抑制离子碎屑的方法；主要是将极紫外光源的等离子体极紫外光辐射结束剩余的带电粒子重新利用。主要实施方案为利用磁场将激发源与靶材作用后形成的上述所有带电粒子回转到激发源与靶材的作用点重新被作用。该方法由于重新利用了已经处于电离状态的离子，这些离子更容易被较低能量的激光进一步电离而达到能够辐射出极紫外光的价态；提高了激发源能量的利用率。光源极紫外辐射的转换效率将得到显著提升；由于这些带电粒子被重新利用，它们中的大部分将不再能够到达极紫外光源的系统元件。这将能够大大的减少这些粒子对光源系统元件的损伤，从而提升系统元件的使用寿命。
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