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公开(公告)号：CN116297388A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310106427.9
申请日：2023-02-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于半导体激光器自锁定增强腔的气体拉曼检测装置，属于气体检测领域。包括：激光器单元、激光线宽压窄单元、自锁定增强腔单元和拉曼散射光收集单元；通过模式匹配透镜使半导体激光器出射的激光光束倾斜耦合入增强外腔中，并在设计的第一球面反射镜M1和第二球面反射镜M2构成的共焦球面镜腔内反复反射，部分激光从外腔射出返回半导体激光器形成光反馈，使所述半导体激光器与所述增强外腔发生频率共振，本发明无需增强外腔的腔长反馈，光路结构布局简单、稳定，能够同时降低光路的复杂度及器件成本，具有数十瓦的外腔激光功率，而经过激光线宽压窄单元窄化的激光线宽使拉曼信号的光谱图具有更高的分辨率和更高的强度。
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公开(公告)号：CN115047720A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202210515969.7
申请日：2022-05-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于极紫外光源技术领域，尤其涉及一种极紫外光源中液滴靶空间位置的监控系统及方法，利用单个CCD对XOZ平面和YOZ平面上的液滴同时成像，实现液滴锡靶空间位置的实时监控。并在此基础上，发展了手动控制和自动控制两种反馈调控方式对液滴发生器的空间位置进行反馈调节，使液滴的运动路径始终经过激光焦点。本发明可以基于CCD拍摄的液滴射流图片对极紫外光刻机光源中液滴靶空间位置进行实时反馈调节，具有结构简单，精度高，易于实施的优点，并且能够有效修正目标液滴路径相对激光焦点的偏移，有利于提高LPP辐射的EUV光产生效率。
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公开(公告)号：CN114675509A
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202210389706.6
申请日：2022-04-14
Applicant: 广东省智能机器人研究院 , 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及极紫外光产生的方法以及激光等离子体极紫外光源的装置，极紫外光产生的方法包括步骤：液滴驱动处理、信号检测处理以及位置处理。将激光脉冲信号转化为驱动信号，扰动液体，产生液滴，检测所述液滴的极紫外辐射强度，通过计算获取所述激光脉冲的位置及所述液滴的位置信息，调节所述激光脉冲的位置，使所述激光脉冲聚焦于所述液滴上，产生极紫外光。采用本发明所述的极紫外光产生的方法以及激光等离子体极紫外光源的装置，可以不需要增加同步控制装置，在高频下实现激光脉冲与液滴的精确同步，而且通过调节激光脉冲的位置，实现精确打靶，极大提高了等离子体极紫外光源的转换效率，其次所述方法和装置都简便易操作。
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公开(公告)号：CN113690126A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202110955656.9
申请日：2021-08-19
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于光源技术领域，公开了一种激光维持等离子体宽带光源及应用，包括腔体、工作气体、充放气装置、入射窗口、出射窗口、两个激光器、透镜、平面镜、反射面和循环水冷；腔体内填充有高压工作气体，腔体左侧通过连接管路与充放气装置连接，腔体外侧开设有入射窗口和出射窗口，腔体内部包含一个反射面；所述腔体周围设置有循环水冷结构。本发明完全避免电极对激光维持等离子体发光特性的影响，避免密封灯泡不方便气体组分和压强控制以及冷却问题不容易解决的弊端，将气体容器和等离子体光收集装置结合，简化激光维持等离子体光源整体装置的复杂性，其次，双激光结构容易控制同步，对于分析不同时刻等离子体状态及特性提供便利。
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公开(公告)号：CN105333953B
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201510671260.6
申请日：2015-10-13
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01J3/10
Abstract: 本发明公开了一种可调谐宽波段激光等离子体极紫外光源。包括脉冲激光器以及设置在真空腔中的反射镜、聚焦透镜、镓铟锡合金靶材和收集镜；工作时，所述脉冲激光器发出的激光被所述反射镜反射后到达所述聚焦透镜，在所述镓铟锡合金靶材的液面上形成聚焦光斑，激发所述镓铟锡合金靶材产生等离子体，等离子体辐射产生极紫外光，极紫外光被所述收集镜收集后用作测试光源。产生的极紫外光在13.X nm和6.X nm波段均有较强辐射，并且通过控制作用在靶材上的激光功率密度，能有效控制两个波段的辐射强度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105784643A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201610128583.5
申请日：2016-03-07
Applicant: 华中科技大学 , 武汉四方光电科技有限公司
IPC: G01N21/51
CPC classification number: G01N21/51 , G01N2021/513 , G01N2201/06113
Abstract: 本发明公开了一种降低气体拉曼光谱荧光背景的装置及其方法；本发明在分析气体样品时，偏振调制装置对散射光进行周期性的偏振调制；具有良好偏振特性的气体样品拉曼信号的强弱会随之周期性变化，而来源于气体样品、样品室或者光学元件等的荧光信号的偏振方向与激发光偏振方向相关性很小，探测器上的荧光信号强弱基本上不随偏振调制装置的旋转而变化；利用锁相放大方法，可在荧光背景中检测出气体拉曼散射信号；本发明能降低荧光背景的影响，提高装置对微弱气体成分的检测能力；装置结构布局简明，操作方便，具有很强的实用性。
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公开(公告)号：CN105333953A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201510671260.6
申请日：2015-10-13
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01J3/10
CPC classification number: G01J3/10
Abstract: 本发明公开了一种可调谐宽波段激光等离子体极紫外光源。包括脉冲激光器以及设置在真空腔中的反射镜、聚焦透镜、镓铟锡合金靶材和收集镜；工作时，所述脉冲激光器发出的激光被所述反射镜反射后到达所述聚焦透镜，在所述镓铟锡合金靶材的液面上形成聚焦光斑，激发所述镓铟锡合金靶材产生等离子体，等离子体辐射产生极紫外光，极紫外光被所述收集镜收集后用作测试光源。产生的极紫外光在13.X nm和6.X nm波段均有较强辐射，并且通过控制作用在靶材上的激光功率密度，能有效控制两个波段的辐射强度。
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公开(公告)号：CN105307371A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510751105.5
申请日：2015-11-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05G2/00
Abstract: 本发明提出一种用于激光作用的液滴锡靶产生装置。本发明结合锡液滴和旋转圆盘的技术特点，利用旋转圆盘离心力产生锡液滴，实现了液态锡靶在高重复频率下的连续供应。该技术方案一方面克服了现有喷嘴振动法对装置性能的较高要求，另一方面避免了传统旋转圆盘电极法对圆盘转速的限制以及激光作用在圆盘上带来的隐患。这种液滴锡靶产生装置既可应用于激光等离子体(LPP)装置，也可以用于激光诱导放电等离子体(LDP)的装置。基于该液滴锡靶，本发明还提出了一种产生等离子体的装置。
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公开(公告)号：CN103048112B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201210524037.5
申请日：2012-12-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01M9/06
Abstract: 本发明公开了一种脉冲气体激光器横流风机叶轮扰动的测量装置及方法，主要测量风机扰动。装置包括探测激光光源、扩束系统、二个分光镜、二个反射镜、光电探测器、数据采集器和处理器；二个分光镜和二个反射镜构成马赫泽德干涉系统，分光镜放置在被测流场区域的两端；探测激光光源、扩束系统和第一分光镜依次位于同一光路上，光电探测器位于第二分光镜的出射光路上。方法通过控制数据采样频率和样品数，对信号进行滤波后再进行FFT处理，将时域的周期性扰动信号转换为频域的信号，得到信号图谱以确定风机叶轮的扰动。本发明通过光学测量的方式获得风机转动的扰动信息，具有测量装置简单、精度高、操作方便的特点，具有很强的实用性。
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公开(公告)号：CN103048119B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201210523837.5
申请日：2012-12-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种空芯光纤气体填充速率的检测方法，具体为：将待测气体通入光子晶体光纤，四极质谱仪对输入光纤的气体进行采样分析，得到气体压强随时间变化的关系即为气体填充速率。本发明还提供一种空芯光纤气体填充速率的检测装置，包括气腔、涡轮分子泵、转接口和四极质谱仪，气腔的一端连接涡轮分子泵，另一端连接光纤的输入端，光纤的输出端连接转接口的光纤接口，转接口的管道接口连接四极质谱仪。本发明创新的提出将四极质谱仪用于光子晶体光纤气体填充速率检测，解决了传统光学法和气压计法无法实现对光子晶体光纤混合气体填充速率的检测问题。
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