-
公开(公告)号：CN113173559A
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202110470835.3
申请日：2021-04-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种灰度曝光制备2.5D微纳结构的方法，属于半导体学中的微观结构技术领域。包括：将2.5D微纳结构的高度分成2N个等级，建立对应的N张二元曝光版图，其中N＞I；再获取所述N张二元曝光版图的并集，建立一个额外的补偿版图；在硅片上旋涂光刻胶后进行N+1次分层曝光，获取包含2N种高度的光刻胶层；以光刻胶层作掩膜进行干法刻蚀制备纳米压印模板，通过软膜热固化纳米压印，再加上紫外固化纳米压印的二次转印即可批量生产。本发明的纳米压印模板图形精度高，具有2N个不同高度，且通过软膜转印、纳米压印、干法刻蚀制备的微纳结构效率高、成品率高、尺寸精确。
-
公开(公告)号：CN103730339B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201310740176.6
申请日：2013-12-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/00 , H01L21/027
Abstract: 微纳尺度图纹压印模具的制作方法，属于压印模具的精细加工方法，解决激光干涉光刻制作模具条纹尺度不够精细，而电子束光刻制作高精细图形速度过慢、不适于大面积制作的问题。本发明的一种方法，顺序包括电子束光刻、一次干法刻蚀、激光干涉光刻、二次干法刻蚀、纳米压印、微电铸步骤；本发明的另一种方法，顺序包括激光干涉光刻、一次干法刻蚀、电子束光刻、二次干法刻蚀、纳米压印、微电铸步骤。本发明结合电子束光刻制作精细和激光干涉光刻成本低、制作模具幅面尺度大的优势，将纳米尺寸图纹和微纳尺寸图纹分别制备在压印模具不同位置，制作的图纹表现力远优于传统激光干涉光刻图纹，提高了全息防伪标识和其它通过压印形成图纹产品的防伪能力。
-
公开(公告)号：CN103217869B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201310105336.X
申请日：2013-03-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 一种用于激光等离子体极紫外光源的雾状液体锡靶发生器，包括容器、振杆、喷嘴、加热系统、加压系统和冷却机构；喷嘴上有以喷嘴中心为对称点呈中心对称且均匀分布的微孔，微孔出口端的直径大于入口端的直径，各微孔从不同的角度指向到激光作用点。加热系统让在常温下呈固态的锡材熔化成为液态；振杆的振动使液体由连续液流碎裂成液滴；加压系统用来给容器加高压，让液体从喷嘴极小的微孔中喷出并形成浓雾状；激光束通过透镜的聚焦打在汇聚的液体喷雾上产生EUV辐射；真空系统通过机械泵将靶室内抽真空。本发明喷射靶靶材喷射距离远，对喷嘴和收集镜等光学元件的影响小，对激光吸收效率和EUV转换效率较高，系统稳定性好，更适合工业上大规模生产。
-
公开(公告)号：CN103105740B
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201310015937.1
申请日：2013-01-16
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种极紫外光源产生装置，包括聚焦透镜、电机、轴承、温度控制器、液体靶材、器皿和固体靶材；固体靶材位于聚焦透镜的焦平面上，器皿用于放置液体靶材，器皿位于固体靶材的下方，固体靶材部分浸入液体靶材中；温度控制器用于给器皿中的液体靶材加热使之保持液态；轴承位于固体靶材的中心，电机与轴承相连，电机用于驱动固体靶材绕轴承转动，固体靶材转动时粘附液体靶材；工作时，激光光束通过聚焦透镜聚焦后轰击粘附在所述固体靶材上方的液体靶材，激光与液体靶材相互作用产生等离子体，等离子体辐射出极紫外光。本发明能够极大的消除碎屑对反射镜以及其他光学元件的污染；能提高其产生EUV的稳定性；成本低；技术实现容易。
-
公开(公告)号：CN103744197A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201310740490.4
申请日：2013-12-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于激光脉冲整形的等离子体开关，该等离子体开关的背景气体中混有易电离的气体，并使气体能够处于不断流动的状态，开关中还放置有冷却装置。易电离的气体可以为三乙胺。开关的具体结构包括真空腔，以及位于真空腔内的第一透镜、第二透镜、风扇和热交换器；第一透镜、第二透镜为两个相同的ZnSe透镜，真空腔上开有两个正对的观察窗，用于激光的输入和输出；真空腔的两个观察窗的中心，与第一透镜、第二透镜的中心在一条直线上，且两透镜间的距离为2f，f为透镜的焦距。本发明与现有等离子体开关的优势是在缩短脉宽的同时，保证了较高的激光透过率，从而使输出脉冲有较高的峰值功率，并提高了装置的重复率。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103048112A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210524037.5
申请日：2012-12-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01M9/06
Abstract: 本发明公开了一种脉冲气体激光器横流风机叶轮扰动的测量装置及方法，主要测量风机扰动。装置包括探测激光光源、扩束系统、二个分光镜、二个反射镜、光电探测器、数据采集器和处理器；二个分光镜和二个反射镜构成马赫泽德干涉系统，分光镜放置在被测流场区域的两端；探测激光光源、扩束系统和第一分光镜依次位于同一光路上，光电探测器位于第二分光镜的出射光路上。方法通过控制数据采样频率和样品数，对信号进行滤波后再进行FFT处理，将时域的周期性扰动信号转换为频域的信号，得到信号图谱以确定风机叶轮的扰动。本发明通过光学测量的方式获得风机转动的扰动信息，具有测量装置简单、精度高、操作方便的特点，具有很强的实用性。
-
公开(公告)号：CN102323445B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201110160097.9
申请日：2011-06-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01P5/26
Abstract: 本发明属于速度光学测量技术领域，涉及的是测量流场速度的方法。本发明通过配备增强型电荷耦合(ICCD)成像器件，结合干涉法或纹影法装置系统来拍摄流场的分布规律，通过控制器的延时控制功能，拍摄得到热气团的发生及演化过程，将获得的图像进行数字图像处理，根据图像的特征得到热气团的中心线，对多帧图像处理得到热气团中心线随时间的变化规律，采用最小二乘法进行数据处理和误差估计，得到一维流场的速度分布信息，本方法采用非接触测量方法，能对流场速度进行实时测量，并得到整个一维速度分布信息，克服了现有技术中的不足和缺陷，具有很强的进步及实用性。
-
公开(公告)号：CN102263361A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN201110169364.9
申请日：2011-06-22
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种激光反射腔镜组件，包括反射镜、前夹持器和后夹持器；反射镜的底座部分相对镜体部分径向突出1-20mm，形成凸台，后夹持器上开有凹槽，反射镜的底座部分置于该凹槽内，前夹持器上开有台阶通孔，反射镜穿过该台阶通孔，且台阶通孔上的台阶与反射镜的凸台抵接，前夹持器和后夹持器通过螺钉连接，使反射镜的凸台被夹紧，前夹持器的台阶通孔与反射镜镜体部分的侧面之间留有径向间隙。它使反射腔镜为凸台结构，夹持器夹持镜子的凸台，从而在与镜子实施刚性夹持的基础上实现镜面的自由伸展。本发明克服了目前激光发射腔镜存在的镜面受约束或者夹持无力的困难，同时能很好解决密封问题。本发明结构简单、操作方便，还可适应于异形镜。
-
公开(公告)号：CN101562321A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200910062019.8
申请日：2009-05-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: H02G7/16
Abstract: 本发明公开了一种野外悬空线路的脉冲激光除冰方法。该方法是将脉冲CO2激光束经聚焦透镜聚焦后在覆冰表层形成约5mm～5cm的光斑，使覆冰表层吸热脆裂，所述脉冲CO2激光束的激光单脉冲能量为50～1000J，脉冲宽度为1μs～20μs，峰值功率大于等于106W。本发明采用高峰值功率的脉冲激光辐照覆冰，覆冰在激光辐照下瞬时升温，在表面和内部产生极大的温度梯度和应力，当应力超过覆冰的断裂强度时，覆冰产生裂纹，导致脆裂，在重力作用下，覆冰脱落，达到除冰的目的。
-
公开(公告)号：CN111308597A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010197831.8
申请日：2020-03-19
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种亚微米结构光栅的制备方法，属于半导体学中的微观结构技术领域，具体包括：在硅片上旋涂电子束抗蚀剂后进行电子束曝光，获取电子束抗蚀剂层；以电子束抗蚀剂层作掩膜进行干法刻蚀制备纳米压印模板；将纳米压印模板上的亚微米结构转移至热固化透明软膜上；并在制备光栅的衬底上旋涂紫外固化压印胶；通过纳米压印方法将热固化透明软膜上的亚微米结构转移至紫外固化压印胶上；利用干法刻蚀方法，将紫外固化压印胶上的亚微米图形转移至制备光栅的衬底上。本发明通过电子束曝光、干法刻蚀制备的纳米压印模板图形精度高，表面光滑。通过软膜转印、纳米压印、干法刻蚀制备的亚微米结构光栅均匀性好、成品率高、尺寸精确、成本低。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
39
records
(took 0.025 seconds)
