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公开(公告)号：CN103513519A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201310419936.3
申请日：2013-09-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种极紫外光刻机光源中液滴靶空间位置的监控系统，包括二个探测光源、二个四象限光电探测器、信号处理器、信号控制器和二维电位移台；二维电位移台用于放置喷嘴，设液滴喷嘴喷射方向为Z轴，第一探测光源和第一四象限光电探测器配合用于检测X方向的偏移，第二探测光源和第二四象限光电探测器配合用于检测Y方向的偏移；第一四象限光电探测器和第二四象限光电探测器分别与信号处理器电连接，信号处理器将四象限光电探测器的输出信号进行处理后反馈给信号控制器用于对二维电位移台进行控制调节，以控制液滴喷嘴位置，保证液滴沿激光脉冲的焦斑中心方向喷射。该装置能够保证液滴沿激光脉冲的焦斑中心方向喷射，提高EUV产生效率。
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公开(公告)号：CN103048676A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210537573.9
申请日：2012-12-12
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01T1/29
Abstract: 本发明公开了一种放电等离子体光谱的时空分布测量装置，包括望远成像系统、光谱仪和增强型电荷耦合成像器件，望远成像系统由第一和第二双胶合消色散镜组成；在第一双胶合消色散镜的焦平面处的放电等离子体通过望远成像系统成像在第二双胶合消色散镜的焦平面处，第二双胶合消色散镜的焦平面处的像点又作为物点通过光谱仪分光后再次成像到增强型电荷耦合成像器件。本发明通过将望远成像系统所成的像耦合进光谱仪的狭缝，这样，通过光谱仪的成像系统再一次成像于ICCD阵面上，如此，就形成了一套空间和时间分辨的成像光谱装置，利用其测量得到时间演化和空间分布的等离子体光谱，进而计算得到电子温度和电子密度的变化。
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公开(公告)号：CN102980739A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210423106.3
申请日：2012-10-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01M9/06
Abstract: 本发明公开了一种基于四象限探测器的脉冲气体激光器腔内流场测量装置，包括探测光源、探测光接收系统以及信号处理系统，探测光源发出的光束与脉冲气体激光器的光轴方向平行；探测光接收系统包括四象限光电探测器，其光敏面面向探测区域并与探测光束垂直，用于接收探测激光光束；四象限光电探测器的信号经信号处理系统处理后获得激波的传播特性参数。本发明结构简单，操作方便，采用四象限光电探测器简化了实验装置，通过其光斑中心的移动来判断激波的扰动大小和传播方向，提高了探测的灵敏度；同时采用双色镜将探测光束与脉冲气体激光器的激光相分离，激光振荡同时获得实时的测试结果，避免了无激光谐振腔测试放电区热沉积偏高的缺陷。
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公开(公告)号：CN103048112B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201210524037.5
申请日：2012-12-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01M9/06
Abstract: 本发明公开了一种脉冲气体激光器横流风机叶轮扰动的测量装置及方法，主要测量风机扰动。装置包括探测激光光源、扩束系统、二个分光镜、二个反射镜、光电探测器、数据采集器和处理器；二个分光镜和二个反射镜构成马赫泽德干涉系统，分光镜放置在被测流场区域的两端；探测激光光源、扩束系统和第一分光镜依次位于同一光路上，光电探测器位于第二分光镜的出射光路上。方法通过控制数据采样频率和样品数，对信号进行滤波后再进行FFT处理，将时域的周期性扰动信号转换为频域的信号，得到信号图谱以确定风机叶轮的扰动。本发明通过光学测量的方式获得风机转动的扰动信息，具有测量装置简单、精度高、操作方便的特点，具有很强的实用性。
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公开(公告)号：CN103036146A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210493440.6
申请日：2012-11-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S5/042
Abstract: 一种准分子激光器脉冲电源，属于脉冲功率技术，解决现有脉冲电源中高压磁开关需要较复杂复位电路的问题，以简化电路结构，提高可靠性。本发明包括IGBT开关管、开关管驱动电路、一级磁开关、直流偏置电流源、可饱和脉冲变压器和二级磁开关。本发明在一级磁开关压缩电路设置直流偏置电流源，可控制调节初级储能电路能量转移效率、脉冲压缩宽度以及脉冲延时；利用可饱和脉冲变压器次级绕组和二级磁开关两端充放电电压方向相反的特殊性，省去了磁芯复位电路，两级磁开关均可在长期高重复率条件下工作，具有较强的通流能力和较高的耐压承受等级，故障率极低且基本免维护；特别适用于要求精准延时控制的光刻用短脉冲放电激励的气体激光器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103001108A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210513358.5
申请日：2012-12-03
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/08
Abstract: 本发明公开了一种准分子激光再生放大器，包括依次位于同一光路上的第一反射镜、第一波片、耦合镜、放大腔、第二波片和第二反射镜；第一、第二波片均为四分之一波片，第一、第二反射镜为全反镜，且其反射面均朝向放大腔，耦合镜与放大腔的光轴之间的夹角等于耦合镜的布鲁斯角的余角。本发明通过在放大器内放置波片使输入光与输出光尽管位于耦合镜两侧，方向相同，但两者被很好地隔离，利于消除再生放大腔对主振荡器的影响，并且结构简单，便于调整，能够充分提取放大腔中的能量。
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公开(公告)号：CN103166613B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201310034366.6
申请日：2013-01-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种磁开关压缩脉冲电源复位电路，它包括两级磁开关复位电路，一级磁开关复位电路包括依次串联并构成回路的第一耦合线圈、直流偏置电流源、第一电感和第二耦合线圈，第一耦合线圈绕组用于在一级磁开关的环形磁芯上；第二耦合线圈绕组用于绕制在变压器的环形磁芯上；二级磁开关复位电路包括依次串联并构成回路的第三耦合线圈、第二电感和第四耦合线圈，第三耦合线圈绕组用于在可饱和变压器的环形磁芯上，第四耦合线圈绕组用于在二级磁开关的环形磁芯上。本发明解决现有准分子激光电源中磁压缩开关电路中的复位电路设计复杂的问题，利用在高压部分提供的一种无源复位电路，可以获得低延时分散性的高压脉冲输出。
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公开(公告)号：CN103063289B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201210533922.X
申请日：2012-12-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明公开了一种脉冲气体激光器腔内风机叶轮扰动测量系统，它包括激光光源、象限光电探测器和信号处理子系统；探测激光光源和四象限探测器分别用于放置在被测流场区域的两端，探测激光光源用于测量时发出的激光光束同风机的转轴平行，并且光束通过风机流道的流场，探测激光光源产生的激光穿过被测流场区域后直接照射在四象限光电探测器的光敏面上；四象限光电探测器用于采集信号，并提供给信号处理子系统进行处理，得到风机叶轮扰动信号。本发明能很好的对脉冲气体激光器风机叶片的微小扰动进行测量，具有较好的准确性和较高的精度，并具有测量装置简单、方法简便等一系列优点。
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公开(公告)号：CN103022858B
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201210525708.X
申请日：2012-12-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/038
Abstract: 本发明提供的电晕预电离装置，该装置包括同心布置的电晕外电极，介质管、内电极，电晕内电极位于介质管内，半径略小于介质管的内径，电晕外电极与放电腔的第一主放电电极是电气相连的，内电极通过引线与放电腔的第二主放电电极相连。通过采用大面积的电晕外电极与介质管间隔形成障碍放电，获得均匀分布的较高预电离电子密度。外电极将UV辐射限制在主放电区，从而提高了UV利用率，避免了一些有害弧光和寄生放电的产生。电晕电极布局结构紧凑，不会影响工作气体的流动。采用半径略小于介质管内径的电晕内电极且将内电极一端固定，另一端用弹片柔性连接的方法消除了由于长期工作内电极受热膨胀的影响，提高了预电离装置长期工作的稳定性。
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公开(公告)号：CN103049028B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201210494571.6
申请日：2012-11-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: G05F1/56
Abstract: 一种用于高压磁开关复位的恒流源，属于功率电子技术，解决现有恒流源缺乏高压隔离电路的问题，以用于高电压脉冲场合。本发明包括全桥逆变器、谐振电路、整流桥、高频滤波电路、反馈电路和控制电路。本发明利用MOS场效应管工作在零电流状态，使得输入的能量可以近乎无损耗地传输给串联谐振电路；通过调节MOS场效应管周期可以调节输出电流的大小，输出具有恒流源的特性，无须在输出端提供额外的镇流电阻；采用由滤波电感、滤波电容、隔离二极管和钳位二极管组成的高频滤波电路，阻断了脉冲电源中磁开关或变压器的复位电路中耦合的高压脉冲的影响，确保了恒流源的安全性。
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