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公开(公告)号：CN105270909B
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201510303612.2
申请日：2015-06-05
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明提供种层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法。上述层叠体的剥离装置对于以能够剥离的方式粘贴第1基板和第2基板而成的层叠体,在上述第1基板与上述第2基板之间的界面沿着自端侧朝向另端侧的剥离行进方向依次进行剥离,包括:支承部,其支承上述层叠体的上述第1基板;剥离单元,其包含吸附部和板状的第1挠性构件,该吸附部以装卸自如的方式设置于上述第1挠性构件,用于吸附上述层叠体的上述第2基板;以及驱动部,其使上述剥离单元变形,以使上述层叠体的上述第2基板自端侧朝向另端侧依次挠曲变形。
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公开(公告)号：CN107148667A
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201580056495.2
申请日：2015-10-23
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/02
Abstract: 基板的吸附装置具有：工作台，其包括用于吸附基板的吸附面；以及多个抽吸部，其设于工作台的吸附面。该基板的吸附装置具有控制部，该控制部以多个抽吸部中的一部分的抽吸部为起点，使沿着自作为起点的一部分的抽吸部分开的方向配置的剩余的多个抽吸部沿着自作为起点的一部分的抽吸部分开的方向依次减压。
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公开(公告)号：CN103972133B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201410035652.9
申请日：2014-01-24
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明涉及基板的剥离装置和剥离方法以及电子器件的制造方法。基板的剥离装置通过使基板和加强上述基板的加强板中的至少一者挠曲变形而沿着从一端侧朝向另一端侧的剥离方向对上述基板与上述加强板之间的交界面依次进行剥离，其中，该基板的剥离装置包括剥离部件，该剥离部件具有：挠性板，其用于吸附保持上述基板或上述加强板；和驱动部件，其通过向上述挠性板施加与上述交界面平行的方向的力而使上述基板和上述加强板中的一者与上述挠性板一同挠曲变形。
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公开(公告)号：CN105895558A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610089793.8
申请日：2016-02-17
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 伊藤泰则
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供能够将刀精度良好地插入的剥离开始部制作装置和剥离开始部制作方法及电子器件的制造方法。一种剥离开始部制作装置，在将基板和加强板隔着树脂层以能剥离的方式粘合而成的层叠体制作剥离开始部，检测刀与树脂层间的位置关系，根据检测结果使刀沿铅垂方向移动，使刀自树脂层的位置沿铅垂方向向加强板侧移动预定距离，使刀相对于层叠体沿水平方向前进，检测刀与加强板和树脂层中的哪一个进行了接触，当在检测步骤中判断出不是树脂层时，使刀相对于层叠体沿水平方向后退，使刀沿铅垂方向向基板侧移动，重复进行所述步骤直到检测出树脂层为止，在检测步骤中判断出是树脂层时，使刀相对于层叠体沿水平方向继续前进而在层叠体形成剥离开始部。
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公开(公告)号：CN105359253A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201480037959.0
申请日：2014-06-24
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: G01B11/06 , G01B11/026 , G02F1/1303 , H01L21/67092 , H01L21/681
Abstract: 本发明提供一种即使不使刀倾斜、也能够对刀的刀尖的相对于刀插入位置的位置进行检测并将刀精度良好地插入的剥离起点制作装置。本发明提供一种剥离起点制作装置，其中，该剥离起点制作装置包括：移动部件，其用于使刀插入到层叠体的第1基板与第2基板之间；位置检测部件，其用于对刀的刀尖的位置和第2基板的第2主表面的位置进行检测；以及位置调整部件，其用于对层叠体和刀的位置进行调整。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105252881A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201510406253.3
申请日：2015-07-10
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B32B43/006 , B32B38/105 , H01L21/67092
Abstract: 本发明涉及层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法。一种层叠体的剥离装置，对于以能够剥离的方式粘贴第1基板和第2基板而成的矩形的层叠体，在所述第1基板与所述第2基板之间的界面进行剥离，其特征在于，该层叠体的剥离装置包括：剥离刀，其为平板状，沿着其缘部设有刀口，通过将所述刀口自所述层叠体的角部向所述界面插入预定量，而在所述界面制作剥离开始部；剥离部件，其以所述剥离开始部为起点在所述界面对所述层叠体进行剥离；插入位置改变部件，其用于改变所述剥离刀与所述层叠体在平面上的相对位置；以及控制部件，其控制所述插入位置改变部件，以改变所述剥离刀的刀口插入所述界面的插入位置。
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公开(公告)号：CN103802120A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201310565625.8
申请日：2013-11-13
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: B25J15/08
Abstract: 本发明涉及基板输送用机械手以及基板输送方法。该基板输送用机械手包括：平行配置的第1对基板支承构件；驱动部，使第1对基板支承构件向相互接近的方向和相互远离的方向平行移动；在与第1对基板支承构件的纵长方向垂直的方向上平行配置的第2对基板支承构件；平行连杆构件，连结第1对基板支承构件与第2对基板支承构件，并与第1对基板支承构件的接近/远离的方向的平行移动联动使第2对基板支承构件向接近/远离的方向平行移动；第1保持部，沿第1对基板支承构件的纵长方向设置多个，保持基板的下表面的缘部；和第2保持部，沿第2对基板支承构件的纵长方向设置多个，保持基板的下表面的缘部。
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公开(公告)号：CN102112410B
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN200980130644.X
申请日：2009-08-07
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 伊藤泰则
IPC: C03C27/12 , B65G49/06 , C03B35/20 , H01L21/683
CPC classification number: B65G49/061 , B32B17/10706 , B32B17/10908 , B32B17/10954 , B32B2310/025 , B65G2249/045 , H01L21/67092 , H01L21/6833 , H01L21/6838 , Y10T29/49998 , Y10T156/10
Abstract: 本发明提供一种利用简单的结构，可高精度确定所保持的基板的位置，充分确保基板的吸附力，能够防止基板脱落的基板的保持装置、基板的保持方法及夹层玻璃的制造方法。将基板近似水平保持，并使其上下移动的基板的保持装置(10)具有：支承体(2)；由支承体(2)支承并吸附基板的至少1个基板吸附体(1)；和在多个部位将基板吸附体(1)的外周部和支承体(2)的从基板吸附体(1)外周部沿水平方向分离的区域连接的带状弹性部件(4)；带状弹性部件(4)在与基板吸附体(1)连接的一端部和与支承体(2)连接的另一端部之间具有变位部，该变位部形成为在水平方向上宽度宽、在上下方向薄的带状，按照基板吸附体(1)相对支承体(2)在上下方向相对接近分离的方式变位且在水平方向变位。
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公开(公告)号：CN102947091A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201180027998.9
申请日：2011-06-02
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B32B37/003 , B32B17/10036 , B32B17/10706 , B32B17/10972 , B32B37/24 , B32B2457/20
Abstract: 本发明涉及一种层叠体的制造方法，该方法是准备至少一方为透明基板的2块基板，在所述一方的基板上的周边部形成用于封入第一固化性树脂组合物的密封部，向由所述密封部围成的区域供给所述第一固化性树脂组合物，减压气氛下，在所述第一固化性树脂组合物上重合另一块基板，将所述第一固化性树脂组合物夹持于一对基板间，密封而获得层叠前体，将该层叠前体置于气氛压力比所述减压气氛高的第二压力气氛下，在该第二压力气氛下使所述第一固化性树脂组合物固化。该方法中，所述密封部通过在所述一方的基板上的周边部涂布第二固化性树脂组合物而形成，自所述第一固化性树脂组合物供给时至将所述层叠前体置于所述第二压力气氛下为止的阶段的所述第二固化性树脂组合物的粘度为800～5000Pa·s，将所述层叠前体置于所述第二压力气氛下后的所述密封部的宽度为0.8～3mm，且所述密封部的剖面形状的高度/宽度的比值为0.05～1，在所述减压气氛下将第一固化性树脂组合物夹持于一对基板间并进行密封时的所述密封部的高度(H)与将所述层叠前体置于所述第二压力气氛下后的所述密封部的高度(h)的比值(H/h)为1.05～2.5。
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公开(公告)号：CN102596572A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201080049676.X
申请日：2010-11-05
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B32B37/00 , B32B2038/0076 , B32B2457/20
Abstract: 本发明提供一种使夹在一对基板之间并被密封的固化性树脂组合物固化来制造层叠体的新型方法，该方法能缩短用固化性树脂组合物均匀地填充整个密闭空间所需的时间。该层叠体的制造方法是使夹在一对基板之间并被密封的固化性树脂组合物固化来制造层叠体的方法，其特征在于，密封的空间内存在的固化性树脂组合物的层满足以下条件：(1)所述固化性树脂组合物的层中存在的空隙的投影形状的圆当量径Dpore为10mm以下；(2)所述固化性树脂组合物的层中的不存在空隙的部分的投影形状的圆当量径Dnon-pore为40mm以下；(3)所述固化性树脂组合物的层和所述固化性树脂组合物的层中存在的空隙交替地与所述密封部接触。
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