非易失性存储元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101501850B

    公开(公告)日:2011-01-05

    申请号:CN200780029607.0

    申请日:2007-09-21

    Inventor: 高木刚 三河巧

    Abstract: 本发明的非易失性存储元件(20)包括:在衬底(10)之上形成的、可变电阻膜(11)被下部电极(12)和上部电极(13)所夹的电阻变化元件(14);和与该电阻变化元件(14)在层叠方向上串联连接、绝缘层(15)或者半导体层(15)被下部的第一电极(16)和上部的第二电极(17)所夹的二极管(18)而构成。并且,可变电阻膜(11)被埋入在下部电极(12)上形成的第一接触孔(21)。并且,呈二极管(18)的绝缘层(15)或者半导体层(15)与第一电极(16)接触的第一面积(22)比可变电阻膜(11)与上部电极(13)接触的第二面积(23)和可变电阻膜(11)与下部电极(12)接触的第三面积(24)的至少一方大的结构。

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