洁净室装置
    31.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101559388A

    公开(公告)日:2009-10-21

    申请号:CN200910134506.0

    申请日:2009-04-17

    Abstract: 本发明提供能够确保必要的清洁度而且设备的重新构筑容易、且能够短时间启动生产线的洁净室装置。通过根据需要将相邻的工作机械的洁净作业室单元(10)彼此相互连结,能够构筑具备构成比周围的空间清洁度高的作业空间的局部洁净室(33)的作业工序生产线。

    热电转换装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN109196670B

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN201780032769.3

    申请日:2017-05-25

    Abstract: 本发明涉及热电转换装置及其制造方法。该热电转换装置(10)的制造方法在第一绝缘体(11)的第一导通孔(101)中填充第一导电性浆料(131)。在第二绝缘体(12)的第三导通孔(103)中填充第二导电性浆料(141)。接下来,使第一导电性浆料从第一绝缘体的第一导通孔突出的部分穿通第二绝缘体的第四导通孔(104)。使第二导电性浆料从第二绝缘体的第三导通孔突出的部分穿通第二导通孔(102)。接下来,依次配置具有背面布线图案(121)的背面保护部件(120)、第二绝缘体、第一绝缘体、具有表面布线图案(111)的表面保护部件(110),从而形成层叠体。接下来,将该层叠体在层叠方向上进行加压、加热。

    热流测定装置
    36.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109196318A

    公开(公告)日:2019-01-11

    申请号:CN201780031696.6

    申请日:2017-05-16

    Abstract: 本发明提供一种热流测定装置。热流测定装置(1)具备热通量传感器(10)以及热电偶片(200)。热通量传感器(10)具有:绝缘基材(100)、多个层间连接部件(130、140)、表面布线图案(111)、背面布线图案(121)、表面保护部件(110)以及背面保护部件(120)。热电偶片(200)具有热电偶(20)、第一绝缘片(210)以及第二绝缘片(220),并被固定于表面保护部件(110)与背面保护部件(120)从绝缘基材(100)向面方向延伸的位置。

    热电转换装置的制造方法

    公开(公告)号:CN109155355A

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201780030860.1

    申请日:2017-08-29

    Abstract: 在热电转换装置的制造方法中,在多张树脂薄膜(30)的各个树脂薄膜(30)中,将包含多个热电材料颗粒的填充材料(36)填充到多个通孔(32)的各个通孔(32)。此时,成为填充材料(36)的一部分(361a、362a)突出到通孔(32)的外部的状态。在该状态下,层叠多张树脂薄膜(30)彼此。然后,将形成有表面导体图案(16)的表面保护部件(20)层叠到多张树脂薄膜(30)的一侧。将形成有背面导体图案(18)的背面保护部件(22)层叠到多张树脂薄膜(30)的另一侧。由此,形成层叠体(40)。然后,对层叠体(40)进行加热加压。由此,使多个热电材料颗粒彼此烧结,形成第一、第二热电部件。

    监视装置
    38.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109073576A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201780021569.8

    申请日:2017-04-07

    Abstract: 本发明涉及监视装置。支承装置(50)具有:夹着对象物(2)而配置的活塞杆(53)和固定部件(60)、以及设置在固定部件(60)的对象物(2)侧的弹性部件(70)。监视装置(1)具有热通量传感器(10)和检测部(20)。在通过活塞杆(53)的移动而将对象物(2)支承在活塞杆(53)与固定部件(60)之间时,热通量传感器(10)输出与在由于从活塞杆(53)施加的载荷而被压缩的弹性部件(70)与固定部件(60)之间流动的热通量对应的信号。检测部(20)根据热通量传感器(10)所输出的信号来检测基于支承装置(50)的对象物(2)的支承状态或者对象物(2)的大小。

    热通量计以及异常诊断装置

    公开(公告)号:CN108885141A

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201780021602.7

    申请日:2017-04-07

    Abstract: 热通量计(2)具备热通量传感器(10)和散热部(20)。热通量传感器(10)具有一面和与该一面相反一侧的另一面。热通量传感器(10)输出与一面侧和另一面侧的温度差相对应的传感器信号。散热部(20)将来自对象物(200)的热产生源(202)的热向外部空间释放。热通量传感器(10)配置于热产生源(202)与散热部(20)之间的热传导路径。热通量传感器(10)的一面侧配置于热传导路径中的热产生源(202)侧。热通量传感器(10)的另一面侧配置于热传导路径中的散热部(20)侧。

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