Sn20Sb80/Si多层相变薄膜材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN109037439B

    公开(公告)日:2021-02-09

    申请号:CN201810684530.0

    申请日:2018-06-28

    Abstract: 本发明提供一种Sn20Sb80/Si多层相变薄膜材料,其为多层复合膜结构,由Sn20Sb80层和Si层交替沉积复合而成,将一层Sn20Sb80层和一层Si层作为一个交替周期,后一个交替周期的Sn20Sb80层沉积在前一个交替周期的Si层上方;所述Sn20Sb80层是以Sn20Sb80靶材通过磁控溅射法得到,所述Si层是以Si靶材通过磁控溅射法得到;所述Sn20Sb80/Si多层相变薄膜材料的结构用通式[Sn20Sb80(a)/Si(b)]x表示,其中a为单层Sn20Sb80层的厚度,a=1nm~50nm;b为单层Si层的厚度,b=1nm~50nm,x为Sn20Sb80层和Si层的交替周期数,x为正整数。本发明提供的Sn20Sb80/Si多层相变薄膜材料能够改善现有存储器的热稳定性和操作功耗。

    用于高速相变存储器的GeTe/Sb类超晶格相变薄膜材料的制备方法

    公开(公告)号:CN108258114A

    公开(公告)日:2018-07-06

    申请号:CN201810155240.7

    申请日:2015-04-27

    Abstract: 本发明公开了一种用于高速相变存储器的GeTe/Sb类超晶格相变薄膜材料的制备方法,上述相变薄膜材料为多层复合膜结构,由GeTe层和Sb层交替沉积复合而成,将一层GeTe层和一层Sb层作为一个交替周期,后一个交替周期的GeTe层沉积在前一个交替周期的Sb层上方。经试验证实,本发明的GeTe/Sb类超晶格相变薄膜材料反射率发生突变的时间约为5.3ns,而单层Ge2Sb2Te5传统相变薄膜材料反射率发生突变的时间约为39ns;说明与传统单层Ge2Sb2Te5相变薄膜材料相比,本发明的相变薄膜材料具有更快的相变速度,从而使得用其制备的相变存储器具有更快的操作速度,有利于提高PCRAM信息读写的速度。

    一种用于汽车玻璃的光谱选择性ITO薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN108179389A

    公开(公告)日:2018-06-19

    申请号:CN201711345836.5

    申请日:2017-12-15

    Abstract: 本发明属于导电薄膜技术领域,尤其涉及一种用于汽车玻璃的光谱选择性ITO薄膜的制备方法。ITO薄膜的制备方法包括以下步骤:清洗PET基片;制备光谱选择性ITO薄膜前准备;采用室温磁控溅射方法制备光谱选择性ITO薄膜。本发明的光谱选择性ITO薄膜,在可见光波长段,能使反射率降低,透射率增加,可见度较好;在红外光波段,反射率增加,阻碍热量的传递。

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