一种高粘附比的转印印章及干式转印方法

    公开(公告)号:CN118818894A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410839896.6

    申请日:2024-06-26

    Abstract: 本发明公开了一种高粘附比的转印印章及干式转印方法,属于微纳制造领域;在衬底上制备无粘附层金属微纳结构;衬底疏水修饰,在衬底上旋涂薄膜前体溶液退火得到纳米薄膜;将可变粘附的转印印章共形贴附在薄膜的上表面,冷却至室温后剥离薄膜,实现薄膜与硅基晶圆衬底的分离;将可变粘附的转印印章和薄膜共形贴附于受体衬底上;再次加热使得印章变软并匀速剥离印章,将薄膜释放在受体衬底上,完成薄膜的转印,去除薄膜,得到受体衬底上的金属微纳结构。光固化热响应印章采用可光固化的复合相变材料进行制备,在低温热刺激下展现出高可切换粘附比和高刚度力学性能切换。本发明方法可用于在曲面及柔性衬底上制造从纳米级到晶圆级的功能元件。

    一种自动对焦相机及对焦方法
    33.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118625577A

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202410566135.8

    申请日:2024-05-09

    Abstract: 本发明公开了一种自动对焦的相机及对焦方法,自动对焦的相机的镜头前后位置固定的设置在相机壳体前端,成像模组活动设置在所述相机壳体内,所述成像模组设置有成像芯片,所述成像芯片设置有与镜头适配的成像传感器,往复运动装置与所述成像模组驱动连接,被配置为驱动成像模组沿着镜头镜像面的法线运动,对焦控制器与所述往复运动装置控制连接,被配置为控制往复运动装置动作,以进行成像传感器与镜头的对焦,实现成像清晰。所提供的相机及对焦方法,改变了对焦结构和对焦方式,降低了相机镜头连接结构的复杂程度、制造成本,避免外界因素影响镜头对焦的问题发生,提高对焦速度和准确度。

    一种强电子干扰下成像的红外光学镜片制备及其方法

    公开(公告)号:CN118465895A

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202410747849.9

    申请日:2024-06-11

    Abstract: 本发明公开了一种强电子干扰下成像的红外光学镜片及其制备方法,所述红外光学镜片,在红外光波段成像,并且具备较强的抗电子干扰能力,包括红外透过非导电衬底、金属网格结构和成像结构;所述红外透过非导电衬底的一侧为金属网格结构,另一侧为成像结构;强电子干扰下成像的基本过程如下:红外光学镜片在红外透过非导电衬底上,对红外透过非导电衬底两侧布设亚波长尺寸的微纳尺度孔隙结构实现光场与电场调控,在金属网格结构面通过亚波长结构的光学性能与电子性能相互作用,实现光波的透过与隔绝,在成像结构面的亚波长结构与入射的电磁场相互作用,引入光学参量突变实现成像。本发明可以应用在成像、探测设备中的红外窗口。

    一种金属微网栅电致变色储能一体化智能窗及其加工方法

    公开(公告)号:CN119717349A

    公开(公告)日:2025-03-28

    申请号:CN202510044100.2

    申请日:2025-01-10

    Abstract: 本发明公开了一种金属微网栅电致变色储能一体化智能窗及其加工方法,包括:(1)在基底一侧涂胶,加工图形化光刻胶沟槽;(2)在光刻胶沟槽内填充导电金属;(3)去除光刻胶形成金属微网栅;(4)在另一基底上沉积透明导电材料和电致变色功能材料;(5)在金属微网栅面上覆盖电解质,将带有电致变色功能材料的另一基底倒置,使其贴合电解质,完成电致变色储能一体化智能窗组装。该智能窗中的金属微网栅电极具有导电和离子存储的功能,能够使整体结构简化,且有效解决了由于正负极尺寸不对称所带来响应时间不理想、变色不均匀等问题。本发明不仅能通过自身透光率动态变化调控光和热,还可以在透光率变化时为外部电子元件供能,进一步降低能耗需求。

    一种基于转印工艺的大面积跨尺度超透镜快速制备方法

    公开(公告)号:CN119270396A

    公开(公告)日:2025-01-07

    申请号:CN202411486861.5

    申请日:2024-10-23

    Abstract: 本发明公开了一种基于转印工艺的大面积跨尺度超透镜快速制备方法,涉及微纳制造领域;包括衬底清洗、一次涂胶、一次前烘、一次曝光、二次涂胶、二次前烘、转移、二次曝光、释放、显影、深硅刻蚀以及干法去胶;本发明通过可转移可释放的光刻胶近场接触式光刻技术、深硅刻蚀工艺、干法去胶工艺等,实现大面积跨尺度超透镜快速低成本制备。本方法能够借助可转移的光刻胶实现完美的接触式曝光,可轻易达到近红外超透镜的结构精度。该发明不仅利用力学性能优异的可转移光刻胶保护力学性能低的光刻胶,实现大面积双层光刻胶完美无损剥离及释放的关键问题,还为大面积跨尺度超透镜制备提供了一个效率高、成本低、简单、可快速复制的方案。

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