非线性误差的绝对测量方法及装置

    公开(公告)号:CN103383347B

    公开(公告)日:2015-09-09

    申请号:CN201310279839.9

    申请日:2013-07-04

    Inventor: 孙若端 马煜

    Abstract: 本发明提供了一种非线性误差的绝对测量方法及装置,其中,非线性误差的绝对测量方法包括:将N个拼接在一起的反射板同时放置于光学测量仪器的样品口,其中,各个所述反射板在所述样品口的覆盖面积相同;在所述光学测量仪器的光路中放置光阑;按照所述光学测量仪器需要测量非线性误差的测量量程,调整使用的反射板的个数,并在每次调整后,获取调整后的所述反射板放置于所述样品口时,所述光学测量仪器的输出结果;对所述输出结果进行非线性误差计算处理,获取所述光学测量仪器输出结果的非线性误差。通过本申请,在保证非线性误差测量精度的同时,实现了对光学测量仪器最终输出结果的非线性误差的测量。

    非线性误差的绝对测量方法及装置

    公开(公告)号:CN103383347A

    公开(公告)日:2013-11-06

    申请号:CN201310279839.9

    申请日:2013-07-04

    Inventor: 孙若端 马煜

    Abstract: 本发明提供了一种非线性误差的绝对测量方法及装置,其中,非线性误差的绝对测量方法包括:将N个拼接在一起的反射板同时放置于光学测量仪器的样品口,其中,各个所述反射板在所述样品口的覆盖面积相同;在所述光学测量仪器的光路中放置光阑;按照所述光学测量仪器需要测量非线性误差的测量量程,调整使用的反射板的个数,并在每次调整后,获取调整后的所述反射板放置于所述样品口时,所述光学测量仪器的输出结果;对所述输出结果进行非线性误差计算处理,获取所述光学测量仪器输出结果的非线性误差。通过本申请,在保证非线性误差测量精度的同时,实现了对光学测量仪器最终输出结果的非线性误差的测量。

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