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公开(公告)号:CN104981687B
公开(公告)日:2017-08-11
申请号:CN201380072223.2
申请日:2013-09-17
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/31 , G01J3/0254 , G01J3/0291 , G01J3/42 , G01J3/4406 , G01N21/645 , G01N21/6489 , G01N2021/6469 , G01N2021/6482 , G01N2021/6491 , G01N2201/062 , G01N2201/065 , G01N2201/12
Abstract: 一种对作为测定对象的试样照射激发光而检测被测定光的分光测定装置,其包含:光源,其产生激发光;积分器,其具有入射激发光的入射开口部及射出被测定光的射出开口部;收纳部,其配置于积分器内且收纳试样;入射光学系统,其使激发光入射至试样;光检测器,其检测自射出开口部射出的被测定光;及解析单元,其基于由光检测器检测出的检测值,计算试样的光吸收率;向试样的入射位置上的激发光的照射面积大于试样的被照射面积,解析单元对于所计算出的光吸收率,进行与激发光的照射面积及试样的被照射面积相关的面积比修正。
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公开(公告)号:CN104969061A
公开(公告)日:2015-10-07
申请号:CN201380072255.2
申请日:2013-09-17
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/645 , G01J3/021 , G01J3/0254 , G01J3/0291 , G01J3/4406 , G01N21/01 , G01N21/6489 , G01N2021/6469 , G01N2021/6482 , G01N2021/6484 , G01N2201/065
Abstract: 一种对作为测定对象的试样照射激发光而检测被测定光的分光测定装置,包含:光源,其产生激发光;积分器,其具有入射激发光的入射开口部、及射出被测定光的射出开口部;收纳部,其配置于积分器内,且收纳试样;入射光学系统,其使激发光入射至试样;光检测器,其检测自射出开口部射出的被测定光;及解析单元,其基于由光检测器检测出的检测值,计算试样的量子产率;激发光以包含(内包)试样的方式被照射于该试样。
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公开(公告)号:CN116978806A
公开(公告)日:2023-10-31
申请号:CN202310946176.5
申请日:2020-01-29
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 检查装置是对形成有多个发光元件的样品进行检查的检查装置,具备:激发光源,其产生照射至样品的激发光;分色镜,其将来自样品的荧光通过根据波长使其透过或反射而分离;相机,其对经分色镜反射的荧光进行摄像;相机,其对透过分色镜的荧光进行摄像;及控制装置,其基于由相机所取得的第1荧光图像、与由相机所取得的第2荧光图像导出发光元件的色斑信息;分色镜中的透过率及反射率根据波长的变化而变化的波段的宽度即边缘移变宽度,较发光元件的正常荧光光谱的半峰全宽更宽。
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公开(公告)号:CN113646877B
公开(公告)日:2023-08-18
申请号:CN202080024982.1
申请日:2020-01-29
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 检查装置是对形成有多个发光元件的样品进行检查的检查装置,具备:激发光源,其产生照射至样品的激发光;分色镜,其将来自样品的荧光通过根据波长使其透过或反射而分离;相机,其对经分色镜反射的荧光进行摄像;相机,其对透过分色镜的荧光进行摄像;及控制装置,其基于由相机所取得的第1荧光图像、与由相机所取得的第2荧光图像导出发光元件的色斑信息;分色镜中的透过率及反射率根据波长的变化而变化的波段的宽度即边缘移变宽度,较发光元件的正常荧光光谱的半峰全宽更宽。
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公开(公告)号:CN114729891A
公开(公告)日:2022-07-08
申请号:CN202080080019.5
申请日:2020-10-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明的检查装置是检查在基板上形成有多个发光元件的样品的检查装置,其中,具备:光源部,其产生照射于发光元件的激发光;相机,其检测被照射激发光的发光元件的发光;键盘,其接受发光元件的发光色相关的信息的输入;及控制装置,其基于由键盘接受的发光色相关的信息来确定激发光的波长,并以产生该波长的激发光的方式控制光源部;并且,控制装置将比样品的基板的吸收端波长更长、且比由发光色相关的信息确定出的发光元件的发光光谱的峰值波长更短的波长,决定为激发光的波长。
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公开(公告)号:CN113646877A
公开(公告)日:2021-11-12
申请号:CN202080024982.1
申请日:2020-01-29
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 检查装置是对形成有多个发光元件的样品进行检查的检查装置,具备:激发光源,其产生照射至样品的激发光;分色镜,其将来自样品的荧光通过根据波长使其透过或反射而分离;相机,其对经分色镜反射的荧光进行摄像;相机,其对透过分色镜的荧光进行摄像;及控制装置,其基于由相机所取得的第1荧光图像、与由相机所取得的第2荧光图像导出发光元件的色斑信息;分色镜中的透过率及反射率根据波长的变化而变化的波段的宽度即边缘移变宽度,较发光元件的正常荧光光谱的半峰全宽更宽。
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公开(公告)号:CN119278360A
公开(公告)日:2025-01-07
申请号:CN202280096488.5
申请日:2022-12-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的分光装置(5)接收通过包含分光元件的分光光学系统(4)沿规定的方向被波长分解的光(L1),并输出该光(L1)的分光光谱数据,且具备:像素部(11),其具有接收被波长分解的光(L1)并转换为电信号的多个像素(21),且多个像素(21)排列于沿波长分解方向的行方向及垂直于行方向的列方向;转换部(12),其将来自多个像素(21)的电信号转换为光子数;及产生部(13),其将属于同一列的多个像素(21)的光子数进行积算,并产生基于积算结果的分光光谱数据。
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公开(公告)号:CN117480378A
公开(公告)日:2024-01-30
申请号:CN202280042180.2
申请日:2022-02-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明的测量装置(1)具备:积分球(4),其在内部配置有测量物(S);激发光学系统(3),其将激发光(L1)朝向配置于积分球(4)的测量物(S)导光;光检测器(6),其检测通过激发光(L1)的照射而由积分球(4)内的测量物(S)产生的被测量光(L2);以及第1检测光学系统(7),其将被测量光(L2)从积分球(4)朝向光检测器(6)导光。在激发光学系统(3)中入射于积分球(4)内的测量物(S)的激发光(L1)的光轴、与在第1检测光学系统(7)中从积分球(4)出射的被测量光(L2)的光轴斜交,第1检测光学系统(7)具有:限制光检测器(6)的被测量光(L2)的检测范围的开口部(36),测量物(S)上的激发光(L1)的照射点(La)与开口部(36)为光学共轭关系。
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公开(公告)号:CN110621967B
公开(公告)日:2022-03-08
申请号:CN201880032081.X
申请日:2018-04-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 分光测定装置是测定自试样发出的被测定光的分光测定装置,具备:积分球,其具有内壁面及安装孔;接合器,其具有引导被测定光的引导孔,且配置于积分球;板,其具有自积分球的外侧覆盖引导孔且载置试样的第1面、及第2面,且使被测定光透过;保持器,其具有载置板的凹部,且安装于安装孔;及分光检测器,其检测被测定光。凹部包含:与第2面相对的底面、及包围板的周围的侧面。底面及侧面由反射被测定光的反射材覆盖。
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公开(公告)号:CN106461463B
公开(公告)日:2018-04-10
申请号:CN201580025951.7
申请日:2015-04-07
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/64 , G01J3/0254 , G01J3/443 , G01N2201/12753
Abstract: 光测量装置向配置有试样的积分球内输入激发光,使激发光以规定的光束截面照射至试样,并利用光检测器检测来自积分球的测量光而取得试样的强度数据。光测量装置包括:存储部,其存储有修正数据;及光特性计算部,其基于试样的强度数据及修正数据,计算出试样的光特性。修正数据基于对第1光吸收构件以规定的光束截面照射激发光而检测出的第1修正用强度数据、以及对第2光吸收构件以规定的光束截面照射激发光而检测出的第2修正用强度数据而计算出。规定的光束截面被第1光吸收构件覆盖并且覆盖第2光吸收构件。
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