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公开(公告)号：CN107626681A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201711091216.3
申请日：2017-11-08
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种对晶体板条元件的超声清洗的装夹装置，包括四个角对称设置有垂直安装部位底座框架，在所述底座框架的垂直安装部位上左右两边对称位置各设置有横梁，所述横梁通过把手可沿其中心轴线旋转，在所述横梁上设置有V形槽口，在所述底座框架的垂直安装部位上端左右两边对称位置各设置有横板，在所述横板上设置有Y型定位销，所述Y型定位销通过定位螺钉限制其竖直位置，在所述底座框架的底部左右对称位置设置有与所述Y型定位销对应的Y型支撑架，所述横梁上的V形槽口用于限制元件的两侧，所述Y型定位销用于限制元件的上端，所述Y型支撑架用于支撑元件的下端。本发明可改善板条状激光工作介质的难清洗现状。
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公开(公告)号：CN107560585A
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201710762731.3
申请日：2017-08-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明提供一种环抛中大尺寸修正盘表面形状误差的高精度检测方法。环抛中大尺寸修正盘表面形状误差的检测方法，该方法包括以下步骤：1)采用位移传感器以圆弧路径检测修正盘的表面形状；2)采用直线度表桥标定参考点相对于中心点的高度；3)生成修正盘的径向轮廓。本发明针对大尺寸修正盘工作面朝下并且难以翻转的问题，根据修正盘表面形状呈中心对称分布的特点，结合机床抛光盘的旋转运动以圆弧路径扫描测得修正盘的表面形状。本发明能够检测大型环抛机中大尺寸修正盘的表面形状误差，检测过程简单方便且精度较高，通过本发明方法获得修正盘的表面形状，可以推测沥青抛光盘的形状，从而调整环抛加工工艺参数以改善光学元件的面形精度。
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公开(公告)号：CN107297691A
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201710702270.0
申请日：2017-08-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种光学加工平行金刚石砂轮中央平直线和两侧边缘圆弧过渡的复合截面轮廓的修整方法，该方法包括以下步骤：1)调整修整器上的修整砂轮的旋转轴与超精密平面磨床竖向Y轴之间的平行度；2)修整砂轮端面研磨修整金刚石砂轮的外圆面，使金刚石砂轮外圆面获得满足元件加工工艺要求的圆周跳动精度及轴向平行度；3)调整金刚石砂轮进给方向与超精密平面磨床X轴成下倾角度，修整砂轮的端面研磨金刚石砂轮的两侧棱边为平滑圆弧。本发明采用金刚石砂轮修形与修锐同时进行，可以准确获得中央直线段的宽度与两侧圆弧过渡的高度，有效避免磨削过程中砂轮棱边处造成的加工应力集中，降低元件的亚表面缺陷深度及不稳定性。
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公开(公告)号：CN107103594A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201710351338.5
申请日：2017-05-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种微粉金刚石砂轮磨粒磨耗定量化测量表征方法，包括以下步骤：1)获取砂轮表面不同位置在磨损磨耗情况下的微观形貌；2)获得图像RGB矩阵；3)去除图像中的毛刺噪声；4)采用差分运算进行图像增强；5)提取图像中对应磨耗磨粒的区域；6)对整体图像进行二值化处理；7)获得磨耗磨粒数量及其投影面积数据；8)将磨耗磨粒数量除以微观形貌图像总面积，得到磨耗磨粒分布密度；9)将磨耗磨粒投影面积根据正态分布计算平均磨耗面积。本发明采用非接触式测量，避免接触式测量过程中测针磨损造成的测量误差，提取磨粒磨耗平面数量及投影面积信息，实现对砂轮不同磨损状态进行定量化表征。
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公开(公告)号：CN119427148A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202411563747.8
申请日：2024-11-05
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B27/00 , B24B9/14 , B24B13/00 , B24B13/005 , B24B41/04 , B24B41/02 , B24B41/06 , B24B47/12 , B24B47/22 , B24B51/00 , B24B57/02 , B24B1/00
Abstract: 本发明涉及大口径非球面光学元件棱边棱角磨抛加工装置及加工方法，加工装置包括底座，其顶部具有可沿X轴方向移动的X轴滑台；X轴滑台顶部具有回转轴与Z轴平行的回转工作台；回转工作台顶部具有光学元件夹具；底座上方具有龙门架，龙门架的横梁上具有可沿Y轴方向滑动的Y轴滑台；Y轴滑台上具有可沿Z轴移动的升降滑轨，升降滑轨下方安装有偏摆轴，偏摆轴的转动轴线与X轴平行；偏摆轴的回转轴心上安装有双端输出主轴，双端输出主轴两端分别为磨削轴、抛光轴；控制系统控制X轴滑台、回转工作台、Y轴滑台、偏摆轴及双端输出主轴按照设定路径运动完成磨削和抛光加工。实现任意设计的大口径非球面元件棱边、棱角磨削成形和抛光的自动化加工。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111185852B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202010186987.6
申请日：2020-03-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及一种双工位立卧轴金刚石砂轮在位修整器及其修整方法，在位修整器包括：底板，其固定于工作台一侧，其上具有集液槽，集液槽连通排液管；支架为两组，且沿工作台的X轴方向对称固定于底板上；摇篮式基座顶部两侧分别对应、且可摆动于两组支架顶部，形成立式工位或卧式工位；摇篮式基座顶部两侧向下延伸连接形成底部安装区，电机的输出端朝下固定、且穿出底部安装区；底部安装区上与电机平行布置有砂轮修整机构，且电机的输出轴通过同步带将动力传递至砂轮修整机构；锁紧机构用于工位调整后限制摇篮式基座相对支架摆动。本发明满足了大口径光学元件批量制造过程中，平面和圆弧金刚石砂轮的高精度、高效在位修整的要求。
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公开(公告)号：CN110293467B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN201910528631.3
申请日：2019-06-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 上海中晶企业发展有限公司
Abstract: 本发明涉及一种智能环抛机床，包括基座，其顶部支撑转台底部；转台顶面浇注有一层沥青胶形成抛光盘；转台顶部架设有多工位桥架机构；多工位桥架机构的多个横梁处对应有元件加工工位、抛光盘检测工位及修正盘工位；元件加工工位对应的第一横梁上设置有第一直线滑动导轨，元件加工装置与第一直线滑动导轨可滑动连接；抛光盘检测工位对应的第二横梁上设置有气浮直线导轨，抛光盘检测装置与气浮直线导轨可滑动连接；修正盘工位对应的第三横梁上设置有第二直线滑动导轨，抛光盘修正装置与第二直线滑动导轨可滑动连接；元件加工装置、抛光盘检测装置及抛光盘修正装置均与控制终端电性连接，控制终端内预设有元件加工、抛光盘检测及抛光盘修正的程序。
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公开(公告)号：CN117824518A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410042986.2
申请日：2017-03-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明公开了一种光学元件的非接触式厚度测量装置，包括底座、滑动导轨、支撑架、齿条、齿轮、第一激光位移传感器、载物台、第二激光位移传感器、滑台和控制器，所述滑动导轨固定在底座上，所述滑台设置在滑动导轨上；所述支撑架固定在底座上，所述齿条设置在支撑架上，所述齿条上安装有第一激光位移传感器，所述齿轮与齿条配合；所述载物台固定在滑台上，所述第二激光位移传感器固定在底座上，所述第二激光位移传感器与第一激光位移传感器的测量点在同一竖直线上，所述第一激光位移传感器和第二激光位移传感器分别与控制器相连接。本发明测量的分辨率为0.1μm，测量误差为0.01％，可对大口径光学元件及其它材料元件的厚度进行精密测量。
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公开(公告)号：CN117754399A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202410072088.1
申请日：2024-01-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及超轻量化非球面反射镜成形加工恒定磨削力的控制方法，本发明采用压电陶瓷将作用于三维力测量台上的力信号转换为电信号，经放大调理后成为模拟电压信号，并传送至磨削力采集处理模块；磨削力采集处理模块根据力和电压信号之间的线性关系，实时采集得到三维力，并最终求得任意时刻金刚石砂轮作用在非球面反射镜表面的合力；在此基础上，在磨削力采集处理模块上设定金刚石砂轮作用在非球面反射镜表面的最大磨削力阈值。通过对加工工艺参数和砂轮表面锐利度动态调控的手段，使整个加工过程中的磨削力恒力，不超过镜面破碎的阈值，确保镜面完好的前提下实现大口径非球面元件的超精密成形加工。
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公开(公告)号：CN117103038A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202311079815.9
申请日：2023-08-25
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及大口径方形光学元件侧边抛光装夹装置和装夹方法，本发明通过元件大面固定部、元件侧面固定部将光学元件两侧固定在装夹装置上，装夹装置回转轴线(即底座的回转轴线)与测边抛光机回转轴线有一定距离。侧边抛光机盘面沿自身轴线以一定速度旋转，同时装夹装置带动元件沿着装夹装置轴线以一定速度旋转，通过抛光盘盘面与光学元件侧边相对运动，达到光学元件侧边抛光的目的。装夹装置在光学元件两侧，通过第一方向和第二方向上的夹紧，保证了元件侧边抛光过程中元件在装夹装置上不会出现位移变化，光学元件被抛光端面去除材料均匀，提高了大宽厚比光学元件的重复装夹位置精度和侧边抛光质量及效率。
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