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公开(公告)号：CN109746836B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN201910143074.3
申请日：2019-02-26
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及光学超精密加工磨削液智能监测报警装置及方法，包括控制器，其内部预设有磨削试验台各工况下许用的磨削液的液位值、温度值、压力值及流量值；数据采集模块，其安装于磨削试验台中与控制器电性连接，并用于采集磨削试验台磨削液上述信号；报警输出模块，控制器电性连接报警输出模块，报警输出模块与磨削试验台的控制系统可转换电性连接或断开连接；控制器根据数据采集模块采集的磨削试验台磨削液的上述信号并与其内部预设许用值比对，低于或高于预设值，控制器均控制报警输出模块报警；加工工件时报警输出模块与磨削试验台的控制系统电性接通，磨削试验台的控制系统控制磨削试验台的主轴抬起远离加工工件表面，保护工件安全。
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公开(公告)号：CN107626681B
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN201711091216.3
申请日：2017-11-08
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种对晶体板条元件的超声清洗的装夹装置，包括四个角对称设置有垂直安装部位底座框架，在所述底座框架的垂直安装部位上左右两边对称位置各设置有横梁，所述横梁通过把手可沿其中心轴线旋转，在所述横梁上设置有V形槽口，在所述底座框架的垂直安装部位上端左右两边对称位置各设置有横板，在所述横板上设置有Y型定位销，所述Y型定位销通过定位螺钉限制其竖直位置，在所述底座框架的底部左右对称位置设置有与所述Y型定位销对应的Y型支撑架，所述横梁上的V形槽口用于限制元件的两侧，所述Y型定位销用于限制元件的上端，所述Y型支撑架用于支撑元件的下端。本发明可改善板
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公开(公告)号：CN114660804B
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210355353.8
申请日：2022-04-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明适用于光学加工技术领域，提供了一种频域光学元件面形误差的计算方法、系统和介质，频域光学元件面形误差的计算方法，包括如下步骤：获取体积谱密度函数，所述体积谱密度函数为光学元件面形误差在各频率下所含残余误差材料体积的密度；通过在预设空间频段上对体积谱密度函数进行积分，得到光学元件在该预设空间频段下的面形误差体积。本发明提供的一种频域光学元件面形误差的计算方法、系统和介质具有效率高、精确度高的优势。
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公开(公告)号：CN114290177A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111453340.6
申请日：2021-12-01
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B13/00 , B24B49/12 , B24B27/02 , B24B13/005 , B24B47/22
Abstract: 本发明公开了一种非球面光学元件磨削加工非接触式精密对刀方法，在机床工作台上安装固定光学元件的同时，在元件的旁边不影响加工的位置固定一块油石；然后使用砂轮在元件表面磨削凹坑，将激光传感器固定在机床主轴上，测量凹坑最低点在第一坐标系中的坐标，由此计算得到测头光点和砂轮最低点之间的偏移距离；并进一步获取非球面光学元件位置并建立元件‑砂轮空间位置关系。本发明砂轮和元件没有直接接触，保证了元件表面的质量，并且对刀精度达到微米级别，提高了非球面的加工精度，避免后续停机检测进行误差修整而造成的工时增加，提高了加工效率。
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公开(公告)号：CN112098417A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202010930626.8
申请日：2020-09-07
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种环形抛光中沥青抛光盘表面钝化状态在线监测装置与方法，沥青抛光盘表面的浅纹线槽具有规则的纹理结构和纹路特征，随着沥青抛光盘表面的逐渐钝化，其纹理结构和纹路特征也会随之减弱，因此可以通过沥青抛光盘表面的纹理分析来监测沥青抛光盘表面的钝化状态。本发明提出采集沥青抛光盘表面图像，采用灰度共生矩阵法来监测沥青抛光盘表面的纹理，采用灰度共生矩阵的特征参数定量地表征沥青抛光盘表面的钝化状态，从而实现沥青抛光盘表面钝化状态的实时在线监测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109401173B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201811307162.4
申请日：2018-11-05
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种高性能真空增透膜及其制备方法，属于光学材料技术领域。本发明将原硅酸四乙酯与改性剂全氟三甘醇二甲醚反应得到第一溶胶，将聚甲基丙烯酸正丁酯嵌段聚合物溶解后加入至所述第一溶胶中反应得到第二溶胶，用所述第二溶胶成膜，制得所述真空增透膜。本发明的真空增透膜具有较低的表面自由能，不易吸附水汽等污染物，在紫外激光(351nm左右)波段具有高的透射率(>99％)，可实现强激光装置中三倍频激光的高能输出，并且在真空环境中放置数天后透射率基本保持不变。
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公开(公告)号：CN106926134B
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201710181800.1
申请日：2017-03-24
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B49/12
Abstract: 本发明提供一种非球面磨削圆弧金刚石砂轮三维形状误差的在位精密测量方法，该方法包含：1)螺旋式连续扫描测量砂轮表面各点的高度数据；2)将数据按螺旋轨迹模型进行插值拟合处理，得到砂轮表面三维几何形貌矩阵，并进行最小二乘圆弧拟合，得到砂轮圆弧半径、圆弧中心坐标和圆弧中心偏差；3)建立砂轮表面的平均三维几何形貌矩阵，并与形貌矩阵相减，得到三维误差分布矩阵、圆弧度误差和径向跳动误差；4)测量砂轮外圆周高度数据，通过最小二乘圆弧拟合，得到砂轮基础部分半径。本发明实现对圆弧金刚石砂轮所有重要几何参数的高效精密非接触式测量，测量结果可直接用于非球面光学元件超精密磨削加工砂轮运动控制点坐标的精确插补计算。
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公开(公告)号：CN109732104A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201910078817.3
申请日：2019-01-28
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B23B1/00
Abstract: 本发明提供一种金属锡质抛光盘的精密车削方法。金属锡质抛光盘的精密车削方法，在车削时保持车刀进给速度和切削深度不变，通过控制抛光盘转速变化来补偿实现稳定的温度场，使得刀尖的高度保持不变。本发明在车削过程中通过控制抛光盘的转速变化，即通过转速补偿实现车削过程中的恒温度场控制，进而获得平坦的锡质抛光盘。本发明可以实现金属平面抛光盘平面度的快速修正，能适应不同尺寸抛光盘的车削要求，操作过程简单，通用性好。
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公开(公告)号：CN109401173A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811307162.4
申请日：2018-11-05
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种高性能真空增透膜及其制备方法，属于光学材料技术领域。本发明将原硅酸四乙酯与改性剂全氟三甘醇二甲醚反应得到第一溶胶，将聚甲基丙烯酸正丁酯嵌段聚合物溶解后加入至所述第一溶胶中反应得到第二溶胶，用所述第二溶胶成膜，制得所述真空增透膜。本发明的真空增透膜具有较低的表面自由能，不易吸附水汽等污染物，在紫外激光(351nm左右)波段具有高的透射率(>99％)，可实现强激光装置中三倍频激光的高能输出，并且在真空环境中放置数天后透射率基本保持不变。
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公开(公告)号：CN108608328A
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201810737394.7
申请日：2018-07-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种全口径抛光过程中元件所受抛光摩擦力的测量装置。抛光摩擦力的测量装置，包括多个应力测试部件，所述应力测试部件包括U形夹板，在所述U形夹板上设置有应力传感器，在所述应力传感器上设置有信号传输线和承载接触块，所述信号传输线与信号接收器连接，所述信号接收器将数据发送给电脑。本发明能够检测不同形状的元件在不同抛光阶段所受的抛光摩擦力，根据测得的抛光摩擦力即可了解抛光盘的表面粗糙度和材料去除特性，从而指导抛光工艺的控制。
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