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公开(公告)号：CN1900819A
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：CN200610107711.4
申请日：2006-07-20
Applicant: 信越化学工业株式会社 , 凸版印刷株式会社
Abstract: 在由石英或类似物制成用作光掩模基板的透明基板(11)的一个主平面上形成用于曝光光的遮光膜(12)。遮光膜(12)不仅用作所谓的“遮光膜”，而且还用作抗反射膜。另外，遮光膜具有100nm或更小的总厚度，而且对于波长为450nm的光，具有每单位厚度光学密度(OD)为0.025nm－1或更小的铬化合物的厚度占到该总厚度的70％或更多。在光掩模坯被用于制作为ArF曝光而设计的掩模的情形中，选择遮光膜(12)的厚度和组成使得遮光膜(12)的OD对于193nm或248nm的光是1.2到2.3。
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公开(公告)号：CN1763632A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200510112619.2
申请日：2005-10-11
Applicant: 信越化学工业株式会社 , 凸版印刷株式会社
IPC: G03F1/08 , G03F1/14 , H01L21/027
CPC classification number: G03F1/32 , G03F1/54 , G03F1/58 , G03F1/80 , Y10T428/31616
Abstract: 本发明在光学透明的基板11的一侧主表面上设置遮光性膜12，上述遮光性膜12由第1遮光性膜13和第2遮光性膜14依次叠层而构成。第1遮光性膜13为在氟系(F类)干式蚀刻中不被实质蚀刻的膜，是主成分为铬的氧化物、氮化物、氧氮化物等的膜。而且，第2遮光性膜14是以可被F类干式蚀刻的含硅化合物为主成分的、硅或硅和过渡金属的氧化物、氮化物或氧氮化物等的膜。
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公开(公告)号：CN107636868B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201680032039.9
申请日：2016-04-21
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明是一种非水电解质二次电池用负极活性物质，其具有负极活性物质颗粒，且所述负极活性物质颗粒具有包含锂化合物的硅化合物SiOx，其中，0.5≤x≤1.6，所述非水电解质二次电池用负极活性物质的特征在于，在硅化合物的至少一部分上形成有碳被膜，所述负极活性物质颗粒在硅化合物或是碳被膜的至少一部分表面、或在这双方的至少一部分表面，包含由具有硼‑氟键的化合物和具有磷‑氟键的化合物中的至少一种所构成的被膜，并且，相对于所述负极活性物质颗粒的总量，所述负极活性物质颗粒包含10质量ppm～10000质量ppm的范围内的硼元素或磷元素。由此，本发明提供一种非水电解质二次电池用负极活性物质，其能够使电池容量增加，且能够使循环特性、电池初始效率提高。
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公开(公告)号：CN105024058B
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201510195155.X
申请日：2015-04-22
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种非水电解质二次电池用负极材料及其制造方法、以及非水电解质二次电池用负极活性物质层、非水电解质二次电池用负极、非水电解质二次电池，所述非水电解质二次电池用负极材料可以增加电池容量，提高循环特性及电池初始效率。为了解决上述问题，提供一种非水电解质二次电池用负极材料，其含有负极活性物质粒子，其特征在于，前述负极活性物质粒子，含有至少一部分被碳被膜覆盖的硅化合物(SiOX:0.5≤x≤1.6)，并且利用飞行时间二次离子质谱仪在其最表层中检测出CyHz系化合物的片段，ζ电位为负。
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公开(公告)号：CN104979524B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201510155655.0
申请日：2015-04-02
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01M4/13 , H01M4/134 , H01M4/133 , H01M4/62 , H01M10/0525
CPC classification number: H01M4/485 , H01M4/136 , H01M4/364 , H01M4/366 , H01M4/483 , H01M4/5825 , H01M4/587 , H01M4/622 , H01M10/052 , H01M2004/021
Abstract: 本发明的目的在于提供一种负极电极及具有此负极电极的非水电解质二次电池，所述负极电极可以增加电池容量，提高循环特性及初始充放电特性。为了解决上述问题，本发明提供了一种非水电解质二次电池负极，其含有由二种以上的负极活性物质和粘合剂所组成的负极活性物质层，其特征在于，作为负极活性物质，含有硅系活性物质与碳系活性物质，所述硅系活性物质是由表层的至少一部分被碳酸锂覆盖的SiOx(满足0.5≤X≤1.6)所组成；作为粘合剂，含有羧甲基纤维素或其金属盐、聚丙烯酸或其金属盐、及苯乙烯丁二烯橡胶或聚偏二氟乙烯。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105981203B
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201580007537.3
申请日：2015-01-30
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: H01M10/0525 , H01M4/0404 , H01M4/0471 , H01M4/131 , H01M4/133 , H01M4/134 , H01M4/1391 , H01M4/366 , H01M4/485 , H01M4/583 , H01M4/587 , H01M4/622 , H01M2004/021 , H01M2004/027
Abstract: 本发明是一种非水电解质二次电池用负极材料，其具有负极活性物质颗粒，所述非水电解质二次电池用负极材料的特征在于，前述负极活性物质颗粒具有由SiOx表示的硅化合物，其中，0.5≤x≤1.6；并且，前述硅化合物的内部含有锂化合物，前述非水电解质二次电池用负极材料包含IA族和IIA族金属离子、可以被取代的铵离子中的至少一种以上。由此，本发明提供一种非水电解质二次电池用负极材料，所述负极材料能够增加电池容量，并改善循环特性和电池初始效率。
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公开(公告)号：CN106030871B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201580006487.7
申请日：2015-01-20
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01M4/48 , H01M4/36 , H01M4/38 , H01M10/0566
Abstract: 本发明是一种非水电解质二次电池用负极材料，其包含由导电性碳膜包覆硅系活性物质粒子的表面而成的导电性粉末，所述非水电解质二次电池用负极材料的特征在于，所述导电性碳膜的由拉曼光谱测量出的d频带的峰半值宽为100cm‑1以上。由此，能够提供一种非水电解质二次电池用负极材料、非水电解质二次电池用负极材料的制造方法、及非水电解质二次电池，所述负极材料维持通过使用硅系活性物质而得的高充放电容量，并且循环性优异。
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公开(公告)号：CN105684197B
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201480059867.2
申请日：2014-07-23
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明的负极活性物质，其用于锂二次电池的负极活性物质层，所述负极活性物质的特征在于，前述负极活性物质含有硅类材料SiOx，且0.5≤x≤1.6；在由X射线光电子光谱法所获得的O1s波形中，在键能为520eV以上且537eV以下的范围内具有至少2个以上的峰。由此，本发明提供一种负极活性物质，当作为锂离子二次电池的负极活性物质来使用时，能够增加电池容量并提高循环特性和初期充放电特性。
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公开(公告)号：CN105229828B
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201480029539.8
申请日：2014-04-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及非水电解质二次电池用负极材料，其包含硅复合体，该硅复合体是具有硅的微晶或微粒在与该微晶或微粒组成不同的物质中分散的结构的硅复合体，基于X射线衍射中归属于Si(220)的衍射峰的半值宽度，由Scherrer式求出的上述微晶或微粒的微晶的大小为8.0nm以下，根据本发明，能够提供具有优异的库仑效率的非水电解质二次电池用负极材料和非水电解质二次电池。
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公开(公告)号：CN103123442B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201210543966.0
申请日：2012-11-16
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G06F19/00 , G03F1/0046 , G03F1/26 , G03F1/80
Abstract: 本发明涉及图案形成膜的刻蚀条件的测评。具体地，连同光掩模坯料，其包括透明衬底、图案形成膜以及刻蚀掩模膜，通过如下方式测评所述图案形成膜的一组刻蚀条件：测量第一刻蚀完成时间(C1)，其是在施加于图案形成膜的刻蚀条件下刻蚀该刻蚀掩模膜时所花费的时间，测量第二刻蚀完成时间(C2)，其是在所述刻蚀条件下刻蚀该图案形成膜时所花费的时间，以及计算第一与第二刻蚀完成时间的比值(C1/C2)。
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