一种快速制备等离子刻蚀机用高纯氧化钇涂层的方法

    公开(公告)号:CN104357785A

    公开(公告)日:2015-02-18

    申请号:CN201410648588.1

    申请日:2014-11-14

    Abstract: 本发明公开了一种快速制备等离子刻蚀机用高纯氧化钇涂层的方法,该方法包括以下步骤:1)零件待喷涂表面预处理和对无涂层区域进行胶带防护;2)采用北京矿冶研究总院生产(或具有同等性能参数)的高纯氧化钇粉末,纯度≥99.9%、粒度分布为20-40微米;3)采用三阳极等离子喷涂系统+多轴机械手的方案进行快速喷涂。本发明采用的喷涂方法相比传统等离子喷涂法能够有效降低基体热输入(基体温度低于100℃),提高了涂层纯度和均匀性,在1-2分钟内快速制备出厚度为120-180微米,纯度≥99%的高纯氧化钇陶瓷涂层,提高了极大规模集成电路刻蚀机零件的抗高能等离子冲蚀性能和使用寿命。

    热障涂层的制备方法
    43.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103774082A

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201410060589.4

    申请日:2014-02-21

    Abstract: 本发明公开了一种热障涂层的制备方法,属于热障涂层的制备领域,该方法包括:在工件上制备热障涂层区域采用HVOF喷涂方式或LPPS喷涂方式制备完成MCrAlY材料粘结涂层;在制备完成的MCrAlY材料粘结涂层上,以纳米结构YSZ陶瓷粉体为喷涂材料,通过三阳极等离子喷枪以特定工艺参数进行喷涂,喷涂过程中采用压缩空气对工件表面进行强制冷却,使工件的基体温度维持在低于150℃;喷涂至设定的涂层厚度,停止压缩空气的强制冷却,使工件和涂层自然冷却,即完成热障涂层的制备。该方法可实现快速制备厚度大于2000微米、孔隙率大于30%的超厚、大孔隙率的纳米结构热障涂层。

    一种中温绝缘抗扭矩涂层及其涂覆方法

    公开(公告)号:CN105154807B

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201510624506.4

    申请日:2015-09-25

    Abstract: 本发明公开了一种中温绝缘抗扭矩涂层及其涂覆方法,该中温绝缘抗扭矩涂层由打底层(2)和中温绝缘陶瓷涂层(3)复合而成,并且打底层(2)设于金属基底(1)的表面与中温绝缘陶瓷涂层(3)之间;其中,所述中温绝缘陶瓷涂层(3)的厚度为100~200μm;所述打底层(2)的厚度为80~120μm,并且该打底层(2)的材料为镍铬、镍铝或镍铬铝。该中温绝缘抗扭矩涂层的涂覆方法依次包括预处理、打底层涂覆和中温绝缘陶瓷涂层涂覆的步骤。本发明实施例不仅具有优异的中温绝缘性能,而且具有良好的中温抗扭矩能力,能够有效避免陶瓷涂层在扭矩配合时从金属零件表面脱落。

    一种纳米碳化铬复合粉末的制备方法

    公开(公告)号:CN102154581B

    公开(公告)日:2012-10-10

    申请号:CN201110070999.3

    申请日:2011-03-23

    Abstract: 本发明涉及一种纳米碳化铬复合粉末的制备方法,本发明的方法是:将镍铬合金粉末进行球磨后置于气氛炉中,通入包括氢气和含碳气体的混合气体,并将所述气氛炉的炉温保持在650~950℃之间;将经过保温后获得的碳化铬复合粉末进行破碎分级。本发明是以镍铬合金为原料,通过球磨过程在金属粉末内部形成大量的位错缺陷,以便于后续过程中碳原子在合金金属的位错中进行扩散,将球磨后的粉末在含碳气氛下进行碳化,通过控制含碳气氛的浓度和加热温度,在镍铬合金中原位生成纳米级的碳化铬硬质相。本发明避免了复合粉末烧结过程中纳米晶粒长大的问题。

    一种热喷涂试样夹具
    49.
    实用新型

    公开(公告)号:CN204261852U

    公开(公告)日:2015-04-15

    申请号:CN201420676094.X

    申请日:2014-11-06

    Abstract: 本实用新型公开了一种热喷涂试样夹具,所述夹具包括圆柱形支架、圆盘底座、多尺寸试样夹持组件、拉伸试样夹持组件和中心防护与卡位圆筒,所述圆柱形支架为一铝合金棒,一端开有内螺纹孔;所述圆盘底座通过螺丝安装在所述圆柱形支架上,且所述圆盘底座设置有多个丁字型键槽,该丁字型键槽位于通过圆盘中心的等分线上;所述多尺寸试样夹持组件和拉伸试样夹持组件通过工字型连接件连接在所述圆盘底座的丁字型键槽中;所述中心防护与卡位圆筒通过螺丝安装在所述圆盘底座上,该夹具结构简单,功能灵活多样,成本低廉,装卡精度高,装卸试样方便,造型简洁美观,结构设计合理,非常适用于热喷涂实验室中对待喷涂试样进行夹持。

    一种热喷涂涂层弯曲强度快速试验机

    公开(公告)号:CN203629978U

    公开(公告)日:2014-06-04

    申请号:CN201320854280.3

    申请日:2013-12-23

    Abstract: 本实用新型公开了一种热喷涂涂层弯曲强度快速试验机,包括:基座(1)、试样片卡槽(2)、压板(3)、手柄(4)、标准轴(6)、限位台阶(7)和压板转轴(8);压板(3)通过压板转轴(8)设置在基座(1)上,试样片卡槽(2)的第一端固定在基座(1)上,试样片卡槽(2)的第二端延伸至压板(3)上,手柄(4)与压板(3)的一端固定连接,限位台阶(7)设置在基座(1)的底端,用于控制压板(3)的旋转角度,标准轴(6)设置在限位台阶(7)上。本实用新型通过限位台阶能够控制压板的旋转角度,使每个试验样片都能弯曲同样的角度,试验结果的准确性较好;而且有试样片卡槽的保护,使试验样片不易损坏。

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