一种快速制备等离子刻蚀机用高纯氧化钇涂层的方法

    公开(公告)号:CN104357785A

    公开(公告)日:2015-02-18

    申请号:CN201410648588.1

    申请日:2014-11-14

    Abstract: 本发明公开了一种快速制备等离子刻蚀机用高纯氧化钇涂层的方法,该方法包括以下步骤:1)零件待喷涂表面预处理和对无涂层区域进行胶带防护;2)采用北京矿冶研究总院生产(或具有同等性能参数)的高纯氧化钇粉末,纯度≥99.9%、粒度分布为20-40微米;3)采用三阳极等离子喷涂系统+多轴机械手的方案进行快速喷涂。本发明采用的喷涂方法相比传统等离子喷涂法能够有效降低基体热输入(基体温度低于100℃),提高了涂层纯度和均匀性,在1-2分钟内快速制备出厚度为120-180微米,纯度≥99%的高纯氧化钇陶瓷涂层,提高了极大规模集成电路刻蚀机零件的抗高能等离子冲蚀性能和使用寿命。

    耐磨耐蚀涂层材料及制备方法与涂层及制备方法

    公开(公告)号:CN104195492B

    公开(公告)日:2017-06-20

    申请号:CN201410443321.9

    申请日:2014-09-02

    Abstract: 本发明公开了一种耐磨耐蚀涂层材料及制备方法与涂层及制备方法,属热喷涂技术领域。该涂层材料为粉末颗粒,由按重量百分比为85~87%的碳化钨粉、8~11%的钴粉和2~7%的铬粉组成,其中碳化钨粉晶粒尺寸分布为:D97小于等于0.9μm,D5大于等于0.4μm,D50为0.6~0.8μm,碳化钨粉晶粒之间金属粘结相的自由程d小于等于0.5μm。该涂层材料制备方法是在原料中加入去离子水、消泡剂以及粘接剂后进行混合球磨制得混合料浆,将混合料浆经过喷雾干燥后制得团聚颗粒,再将团聚颗粒经过烧结和破碎后得到的WC‑10Co4Cr涂层材料即为该耐磨耐蚀涂层材料。通过该涂层材料所制备的涂层可承受150MPa水压无泄露,耐中性盐雾试验大于672小时无锈斑。

    一种含有弥散强化相的铝青铜粉末的制备及喷涂方法

    公开(公告)号:CN102114543B

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201110071008.3

    申请日:2011-03-23

    Abstract: 本发明涉及一种含有弥散强化相铝青铜粉末的制备及该粉末喷涂方法,铝青铜粉末的制备方法:以内氧化制备氧化铝弥散强化铜粉和纳米铝粉为原料,采用胶粘团聚的方法在铜粉表面包覆一层纳米铝粉,在真空环境下进行烘干处理。铝青铜粉末喷涂方法:采用等离子喷涂,控制喷涂功率在15~18kw之间,送粉量为20~35g/min。本发明采用纳米铝粉包覆弥散强化铜粉的方法制备铝青铜复合粉末。以弥散强化铜粉和纳米铝粉为原料进行团聚,解决了无法直接制备氧化铝弥散强化铝青铜粉末的缺点。采用铝包覆铜粉,利用铜铝之间的防热反应提高粉末的融化程度,这就可以降低喷涂时的功率,从而减少了氧化铝弥散强化颗粒的长大,增强了弥散强化效果。

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