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公开(公告)号：CN103513519A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201310419936.3
申请日：2013-09-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种极紫外光刻机光源中液滴靶空间位置的监控系统，包括二个探测光源、二个四象限光电探测器、信号处理器、信号控制器和二维电位移台；二维电位移台用于放置喷嘴，设液滴喷嘴喷射方向为Z轴，第一探测光源和第一四象限光电探测器配合用于检测X方向的偏移，第二探测光源和第二四象限光电探测器配合用于检测Y方向的偏移；第一四象限光电探测器和第二四象限光电探测器分别与信号处理器电连接，信号处理器将四象限光电探测器的输出信号进行处理后反馈给信号控制器用于对二维电位移台进行控制调节，以控制液滴喷嘴位置，保证液滴沿激光脉冲的焦斑中心方向喷射。该装置能够保证液滴沿激光脉冲的焦斑中心方向喷射，提高EUV产生效率。
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公开(公告)号：CN103235487A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310103346.X
申请日：2013-03-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种激光等离子体极紫外光源的液滴靶产生方法及其装置，该方法采用功率大于1KW的激光束连续作用于匀速运动的线状靶材底部，使靶材熔化瞬间产生连续的液滴。装置包括电机、聚焦透镜、真空室和入射光窗；真空室侧壁上设入射光窗；工作时，电机用于控制靶材作匀速运动，聚焦透镜位于入射光窗与靶材之间，靶材底部与透镜的光轴位于同一直线上。靶材的直径≤50um；靶材优选锡丝；锡液滴的直径仅为30～50um。本发明结构简单，易于实现，避免了喷射式液滴发生器实现液滴喷射时要求的高压恒温系统和振动系统，和对喷嘴器材抗腐蚀性的高要求。本发明不仅可作用于熔点较低的金属材料，还可适用于高温难融的金属靶材，扩大了靶材的选择范围。
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公开(公告)号：CN103217869A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310105336.X
申请日：2013-03-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 一种用于激光等离子体极紫外光源的雾状液体锡靶发生器，包括容器、振杆、喷嘴、加热系统、加压系统和冷却机构；喷嘴上有以喷嘴中心为对称点呈中心对称且均匀分布的微孔，微孔出口端的直径大于入口端的直径，各微孔从不同的角度指向到激光作用点。加热系统让在常温下呈固态的锡材熔化成为液态；振杆的振动使液体由连续液流碎裂成液滴；加压系统用来给容器加高压，让液体从喷嘴极小的微孔中喷出并形成浓雾状；激光束通过透镜的聚焦打在汇聚的液体喷雾上产生EUV辐射；真空系统通过机械泵将靶室内抽真空。本发明喷射靶靶材喷射距离远，对喷嘴和收集镜等光学元件的影响小，对激光吸收效率和EUV转换效率较高，系统稳定性好，更适合工业上大规模生产。
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公开(公告)号：CN103163743A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201310062528.7
申请日：2013-02-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明属于激光技术领域，公开了一种激光等离子体极紫外光源的产生装置及方法，该产生装置包括真空腔室以及位于真空腔室内的收集镜、聚焦镜、固体靶材和电机；还包括驱动光源和辅助光源；辅助光源用于产生辅助激光，辅助激光辐射所述固体靶材并使得固体靶材的热影响区域的温度升高至温度阈值；电机用于带动固体靶材旋转，驱动光源用于产生驱动激光，驱动激光通过聚焦镜聚焦后辐射固体靶材的热影响区域并产生等离子体辐射出极紫外光。本发明由于采用辅助光源来加热固体靶材，使得整个装置简化、实现方式简单且扩大了靶材材料的选择范围。
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公开(公告)号：CN103048676A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210537573.9
申请日：2012-12-12
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01T1/29
Abstract: 本发明公开了一种放电等离子体光谱的时空分布测量装置，包括望远成像系统、光谱仪和增强型电荷耦合成像器件，望远成像系统由第一和第二双胶合消色散镜组成；在第一双胶合消色散镜的焦平面处的放电等离子体通过望远成像系统成像在第二双胶合消色散镜的焦平面处，第二双胶合消色散镜的焦平面处的像点又作为物点通过光谱仪分光后再次成像到增强型电荷耦合成像器件。本发明通过将望远成像系统所成的像耦合进光谱仪的狭缝，这样，通过光谱仪的成像系统再一次成像于ICCD阵面上，如此，就形成了一套空间和时间分辨的成像光谱装置，利用其测量得到时间演化和空间分布的等离子体光谱，进而计算得到电子温度和电子密度的变化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103025042A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210524027.1
申请日：2012-12-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明提供了一种空芯光纤射频放电系统，包括射频放电装置和气配装置；射频放电装置包括射频电源、匹配网络、电极和空芯光纤，电极包括内电极和外电极，内电极与外电极均为空芯圆柱体金属电极，内电极的外径小于外电极的内径；内电极位于外电极的内部，空芯光纤缠绕于内电极的外表面，空芯光纤的两端分别与气配装置连接；工作时，射频电源在内电极和外电极之间产生交变电场，交变电场驱动空芯光纤中的气体所含的电子往复运动，电子在运动过程中与其它粒子碰撞产生放电等离子体。本发明提供的空芯光纤射频放电系统可以在微米量级的空芯光纤绕成的类螺线管状的结构中通过射频放电的方式产生等离子体；具有方法简单、噪音低、能量损耗小、装置结构紧凑、效率高等优点。
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公开(公告)号：CN102980739A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210423106.3
申请日：2012-10-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01M9/06
Abstract: 本发明公开了一种基于四象限探测器的脉冲气体激光器腔内流场测量装置，包括探测光源、探测光接收系统以及信号处理系统，探测光源发出的光束与脉冲气体激光器的光轴方向平行；探测光接收系统包括四象限光电探测器，其光敏面面向探测区域并与探测光束垂直，用于接收探测激光光束；四象限光电探测器的信号经信号处理系统处理后获得激波的传播特性参数。本发明结构简单，操作方便，采用四象限光电探测器简化了实验装置，通过其光斑中心的移动来判断激波的扰动大小和传播方向，提高了探测的灵敏度；同时采用双色镜将探测光束与脉冲气体激光器的激光相分离，激光振荡同时获得实时的测试结果，避免了无激光谐振腔测试放电区热沉积偏高的缺陷。
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公开(公告)号：CN101859976B
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN201010201350.6
申请日：2010-06-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种微孔液体冷却不变形镜及其制作方法，通过在镜面背部采用激光直接烧结金属基混合粉末，一体成型液体流动微孔层，使冷却液体能够在该液体流动微孔层的微孔中流动，从而实现对镜面的冷却，降低镜面温升和变形。本发明克服了微孔液体镜无法焊接成一体的困难，同时解决了目前各种液体冷却不变形镜换热效果不足的问题。本发明采用快速成型方法在镜面直接制作微孔液体冷却不变形镜，无需后续焊接，方法简单、结构可控。
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公开(公告)号：CN101859976A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN201010201350.6
申请日：2010-06-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种微孔液体冷却不变形镜及其制作方法，通过在镜面背部采用激光直接烧结金属基混合粉末，一体成型液体流动微孔层，使冷却液体能够在该液体流动微孔层的微孔中流动，从而实现对镜面的冷却，降低镜面温升和变形。本发明克服了微孔液体镜无法焊接成一体的困难，同时解决了目前各种液体冷却不变形镜换热效果不足的问题。本发明采用快速成型方法在镜面直接制作微孔液体冷却不变形镜，无需后续焊接，方法简单、结构可控。
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公开(公告)号：CN116528448A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310385640.8
申请日：2023-04-11
Applicant: 广东省智能机器人研究院 , 华中科技大学
IPC: H05G2/00
Abstract: 本发明提供一种均匀液滴产生装置及极紫外光源，包括喷射件及扰动机构。其中，所述喷射件设有用于输送液体介质的喷射通道；所述扰动机构与所述喷射件的外侧壁传动配合，所述扰动机构用于向所述喷射件传递周期性扰动，以使得所述喷射通道内的液体介质断流形成液滴。本申请中的扰动机构设置在喷射件的外侧壁，避免扰动机构污染流体介质的同时，还避免了喷射件内的流体介质与扰动机构发生干涉而导致扰动机构失能的问题，保证均匀液滴产生装置能够稳定、可靠的产生均匀液滴，相对于传统的径向扰动方式，可不需要能够抵抗高温的压电陶瓷，保证扰动机构在扰动高温液体介质时不会失能，提高了均匀液滴生产装置及极紫外光源的可靠性。
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