基于阵列照明的角谱扫描准共焦微结构测量方法

    公开(公告)号:CN103411559B

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201310355083.1

    申请日:2013-08-15

    Abstract: 基于阵列照明的角谱扫描准共焦微结构测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域;该装置设计有角谱扫描照明光路,从LED阵列发出的光束依次经过成像透镜、分光棱镜、显微物镜后,平行照射到被测微结构样品表面,LED阵列中的不同LED对应不同的角谱照明;该方法首先获得所有像素在不同角谱扫描照明下的层析图像,然后利用共焦三维测量原理,判断每个像素的轴向坐标,最后拟合出被测微结构样品的三维形貌;这种设计使被测微结构样品的每一部分都能找到对应的最佳照明角度,避免被测微结构样品自身表面轮廓的高低起伏导致的某些区域无法照明或者发生复杂反射,提高探测信号强度,降低背景噪声,进而提高测量精度。

    基于线阵角谱照明的准共焦环形微结构测量装置与方法

    公开(公告)号:CN103411556B

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201310354894.X

    申请日:2013-08-15

    Abstract: 基于线阵角谱照明的准共焦环形微结构测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域;该装置设计有角谱扫描照明光路,从线阵LED发出的光束依次经过成像透镜、分光棱镜、显微物镜后,平行照射到圆对称被测微结构样品表面;线阵LED的不同LED对应不同的角谱照明;该方法首先获得所有像素在不同角谱扫描照明下的层析图像,然后利用共焦三维测量原理,判断每个像素的轴向坐标,最后拟合出被测微结构样品的三维形貌;这种设计使圆对称被测微结构样品的每一部分都能找到对应的最佳照明角度,避免圆对称被测微结构样品自身表面轮廓的高低起伏导致的某些区域无法照明或者发生复杂反射,提高探测信号强度,降低背景噪声,提高测量精度。

    基于线阵角谱照明的并行共焦环形微结构测量方法

    公开(公告)号:CN103411555B

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201310354893.5

    申请日:2013-08-15

    Abstract: 基于线阵角谱照明的并行共焦环形微结构测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域;该装置包括角谱扫描照明光路,从线阵LED阵列发出的光束依次经过成像透镜、分光棱镜、显微物镜后,平行照射到被测微结构样品表面;包括准共焦测量光路,成像部分采用线阵针孔阵列配合线阵图像传感器的结构;该方法首先获得某一半径上的像素在不同角谱扫描照明下的层析图像,然后利用共焦三维测量原理,判断该半径方向的每个像素的轴向坐标,最后拟合出被测微结构样品的三维形貌;这种设计使被测微结构样品的每一部分都能找到对应的最佳照明角度,提高探测信号强度,降低背景噪声,进而提高测量精度;同时实现高速测量。

    一种角谱扫描照明阵列式共焦微结构测量装置与方法

    公开(公告)号:CN103411558A

    公开(公告)日:2013-11-27

    申请号:CN201310355082.7

    申请日:2013-08-15

    Abstract: 一种角谱扫描照明阵列式共焦微结构测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域;该装置包括角谱扫描照明光路,从LED阵列发出的光束依次经过成像透镜、分光棱镜、显微物镜后,平行照射到被测微结构样品表面;包括准共焦测量光路,成像部分采用针孔阵列配合图像传感器的结构;该方法首先获得所有像素在不同角谱扫描照明下的层析图像,然后利用共焦三维测量原理,判断每个像素的轴向坐标,最后拟合出被测微结构样品的三维形貌;这种设计使被测微结构样品的每一部分都能找到对应的最佳照明角度,提高探测信号强度,降低背景噪声,进而提高测量精度;同时实现高速测量。

    基于量子点效应的量子随动针孔微结构角谱扫描测量装置

    公开(公告)号:CN103411554A

    公开(公告)日:2013-11-27

    申请号:CN201310354495.3

    申请日:2013-08-15

    Abstract: 基于量子点效应的量子随动针孔微结构角谱扫描测量装置属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域,主要涉及一种基于量子点效应的量子随动针孔微结构角谱扫描测量装置;该装置设置有角谱扫描照明光路和量子随动针孔探测光路,并采用量子点物质膜;这种设计,不仅可以避免现有会聚光束照明技术导致的某些区域无法照明或复杂反射的问题,有效解决探测信号强度衰减和背景噪声增强,造成的测量精度降低,甚至无法测量的问题,而且可以实现每个CCD相机像素前均有对应的量子针孔存在,从而使得量子随动针孔与CCD相机像素之间无需进行精密装调,同时避免照明光束与量子光束的光谱重叠,有利于量子光谱信号的检测。

    荧光响应随动针孔显微共焦测量装置

    公开(公告)号:CN102768015A

    公开(公告)日:2012-11-07

    申请号:CN201210244891.6

    申请日:2012-07-05

    Abstract: 荧光响应随动针孔显微共焦测量装置属于光学显微测量技术;在脉冲激光器直射光路配置准直扩束器和第一、第二分光镜,光功率计配置在第一分光镜反射光路上,在第二分光镜反射光路上配置聚焦物镜和三维微位移载物台,长焦双胶合透镜和二向色镜配置在第二分光镜透射光路上,在二向色镜透射光路上配置双光子荧光激发反射镜,在二向色镜反射光路上配置窄带滤波片、收集物镜和高增益光电探测器;本装置具有针孔自适应调节自由度,克服了测量过程中针孔漂移、扫描光斑漂移问题,兼具杂散光抑制能力强、响应灵敏准确度高的特点。

    轴承外圈滚道离子注入与沉积复合处理方法

    公开(公告)号:CN100410418C

    公开(公告)日:2008-08-13

    申请号:CN200610010059.4

    申请日:2006-05-19

    Abstract: 轴承外圈滚道离子注入与沉积复合处理方法,它涉及一种轴承表面强化处理方法。针对轴承外圈滚道采用等离子体浸没离子注入与沉积处理存在强化层结合力差及均匀性差问题。本发明是这样完成的:将超声清洗后的轴承外圈(3)组成圆筒放到真空室内抽真空,通入碳氢化合物气体,先对圆筒内腔进行高能C离子注入,工作气压为2.0×10-1~6.0×10-1Pa,偏压幅值为10~30kV,脉冲宽度为20~60μs,脉冲频率为50~350Hz,再对圆筒内腔进行类金刚石碳膜薄膜沉积,工作气压为2~8Pa,偏压幅值为2~4kV,脉冲宽度为10~20μs,脉冲频率为2~8kHz。经本发明处理过的轴承外圈滚道具有较好的耐磨性,纳米硬度值为15~20GPa,磨损寿命在200g载荷下为8万转,稳定阶段的摩擦系数为0.08,可实现批量处理。

    多阴极脉冲弧等离子体源装置

    公开(公告)号:CN1901136A

    公开(公告)日:2007-01-24

    申请号:CN200610010244.3

    申请日:2006-06-30

    Abstract: 多阴极脉冲弧等离子体源装置,它涉及一种脉冲等离子体产生装置。针对现有脉冲阴极弧等离子体源,存在易短路的问题及采用在真空室上安装多个阴极弧等离子体源,存在设备投资大和采用破坏真空的方法,存在工件强化层性能差的问题。本发明的推进杆(14)装在阴极外套(2)内并与阴极(4)相连接,装在阴极(4)上的触发极(6)与阴极(4)之间装有绝缘瓷套(7),公共弹簧触发杆装置(20)的一端与相对应的触发极(6)相接触,推进杆(14)上装有螺旋传动的从动齿轮(13),移动杆(15)的下端装在阴极外套(2)内,移动杆(15)的下端装有主动齿轮(12),阳极(5)位于阴极4的正下方,阳极(5)的下端装有不锈钢弯管总成(10)。本发明具有稳定工作时间长、可在不破坏真空的条件下实现多个阴极的任意切换的优点。

    一种面向水下目标探测的单光子激光雷达成像系统及方法

    公开(公告)号:CN119620105A

    公开(公告)日:2025-03-14

    申请号:CN202411902967.9

    申请日:2024-12-23

    Abstract: 本发明公开了一种面向水下目标探测的单光子激光雷达成像系统及方法,其属于探测成像技术领域。成像系统包括光学系统和控制系统,光学系统包括发射单元、接收单元,还包括单光子探测器和扫描单元;光学系统的光路采用收发合置的光路结构,发射单元发射光信号,扫描单元接收发射光信号和控制信号,并反射回波光信号,发射单元发射的光信号产生的回波光信号由接收单元接收后,回波光信号汇聚到单光子探测器,单光子探测器进行光电转换;控制系统包括FPGA控制板,FPGA控制板上连接有通信模块、门控信号模块及扫描信号模块。本发明结构紧凑、设计合理,通过使用合理的光路结构和单光子探测器,能够实现微弱光信号的检测,提高最远探测距离。

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