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公开(公告)号:CN105703737B
公开(公告)日:2018-11-23
申请号:CN201510920735.0
申请日:2015-12-11
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/54
CPC classification number: H03H9/02228 , H03H9/02677 , H03H9/564 , H03H9/64
Abstract: 横向耦合多模单片滤波器。一种横向耦合多模单片滤波器包括:衬底;压电膜,该压电膜形成在所述衬底上;地电极,该地电极形成在所述压电膜的第一表面上;以及多个信号电极,所述多个信号电极形成在所述压电膜的第二表面上并且彼此并联布置,所述第二表面与所述第一表面相反,所述多个信号电极中的每一个包括第一电极指和第二电极指,其中,所述第一电极指和所述第二电极指具有不同的电位;所述多个信号电极中的相邻信号电极彼此相距一定距离,所述距离大于所述第一电极指和所述第二电极指的节距。
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公开(公告)号:CN105720941B
公开(公告)日:2018-10-30
申请号:CN201510954604.4
申请日:2015-12-17
Applicant: 太阳诱电株式会社
Abstract: 一种声波器件包括:压电衬底;以及IDT,该IDT形成在所述压电衬底上,其中各向异性系数是正的,所述IDT的电极指彼此交叠所在的交叠区域包括中心区域和边缘区域,所述中心区域和所述边缘区域中的所述电极指被连续地形成,所述边缘区域中的所述电极指相对于所述中心区域中的所述电极指倾斜,使得在所述边缘区域中的所述电极指的宽度方向上的节距大于在所述中心区域中的所述电极指的宽度方向上的节距,并且所述中心区域中的所述宽度方向与所述压电衬底的晶轴取向之间的角度小于所述边缘区域中的所述宽度方向与所述晶轴取向之间的角度。
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公开(公告)号:CN107547060A
公开(公告)日:2018-01-05
申请号:CN201710499132.7
申请日:2017-06-27
Applicant: 太阳诱电株式会社
Abstract: 制造声波装置的方法和声波装置。一种声波装置制造方法包括以下步骤:在压电基板上形成梳状电极和联接到梳状电极的布线层;在压电基板上形成第一电介质膜,该第一电介质膜具有比梳状电极和布线层的厚度大的膜厚度,并且覆盖梳状电极和布线层,并且由掺杂有其他元素的氧化硅或未经掺杂的氧化硅形成;在第一电介质膜上形成第二电介质膜,该第二电介质膜在布线层上方具有开口;通过使用蚀刻液的湿法蚀刻去除由第二电介质膜的开口露出的第一电介质膜,该蚀刻液使得第二电介质膜的蚀刻速率小于第一电介质膜的蚀刻速率,使得第一电介质膜残存以覆盖布线层的端面和梳状电极。
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公开(公告)号:CN107528564A
公开(公告)日:2017-12-29
申请号:CN201710478055.7
申请日:2017-06-21
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明涉及声波谐振器、滤波器和多工器。该声波谐振器包括:压电基板;和形成在该压电基板上的一对栅电极,所述一对栅电极中的一个栅电极包括电位彼此相等的多个第一电极指状部,所述一对栅电极中的另一个栅电极包括电位彼此相等但与所述多个第一电极指状部的电位不相等的多个第二电极指状部,所述多个第二电极指状部的两个第二电极指状部位于所述多个第一电极指状部的至少一对相邻第一电极指状部之间,Pg不等于λ/4,其中λ表示由所述多个第一电极指状部和所述多个第二电极指状部激发的声波的波长,并且Pg表示所述两个第二电极指状部的中心之间的距离。
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公开(公告)号:CN103053111B
公开(公告)日:2015-07-22
申请号:CN201180037548.8
申请日:2011-04-27
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H01L41/047 , H03H9/02102 , H03H9/02834 , H03H9/131 , H03H9/174
Abstract: 本发明涉及一种弹性波装置,该弹性波装置具备压电基板20、设于压电基板20上的电极22和氧化硅膜26,该氧化硅膜掺杂有与Si-O键中的O发生置换的元素或分子,并且以覆盖设于压电基板20上的梳型电极22的方式来进行设置;或者,本发明的弹性波装置具备压电膜34、夹着压电膜34进行设置的电极32、36和氧化硅膜38,该氧化硅膜掺杂有与Si-O键中的O发生置换的元素或分子,并且被设置在夹着压电膜34的下部电极32与上部电极36相向的区域。
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公开(公告)号:CN103094259B
公开(公告)日:2014-12-10
申请号:CN201310020093.X
申请日:2013-01-18
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H01L23/66
CPC classification number: H03H9/6483 , H03H9/02897 , H03H9/0538 , H03H9/1085 , H05K1/0271 , H05K1/056 , H05K1/185 , H05K3/4644
Abstract: 本发明提供一种能够尽量避免因内置在基板中的弹性波滤波器的空心盖的变形而对该弹性波滤波器的滤波器功能部产生功能异常或损伤等的电子零件内置基板。本发明的电子零件内置基板中,具有滤波器功能部由空心盖(12b)覆盖这种构造的SAW滤波器(12)内置在基板(11)中,并且设置着与该SAW滤波器(12)的空心盖(12b)介隔所述基板(11)的绝缘体层(11c)而对向的应力缓和层(11d3)。
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公开(公告)号:CN102318188B
公开(公告)日:2014-09-24
申请号:CN200880103622.X
申请日:2008-05-02
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/0576 , H03H9/725
Abstract: 分波器(10)具有公共端子(Ant)、发送端子(Tx)以及接收端子(Rx),并包括:发送滤波器(1),其连接在公共端子(Ant)与发送端子(Tx)之间;接收滤波器(2),其连接在公共端子(Ant)与接收端子(Rx)之间;以及移相电路(3),其与接收滤波器(2)串联连接在公共端子(Ant)与接收端子(Rx)之间,其中,自移相电路(3)到公共端子(Ant)或发送端子(Rx)的线路的一部分与自移相电路(3)到接收端子(Rx)的线路的一部分经电抗耦合。由此,能够从根本上减少来自发送滤波器的发送信号到达至接收电路,可提高隔离度。
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公开(公告)号:CN101796722B
公开(公告)日:2014-05-28
申请号:CN200780100269.5
申请日:2007-11-15
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/6476 , H03H9/02992 , H03H9/6483
Abstract: 本发明提供一种不改变电容而提高散热效率并且功率持久性高的滤波器、使用该滤波器的双工器以及使用该双工器的通信机。滤波器包括谐振器(S1、S2、S3、P1、P2、P3)和凸块(12~17),所述谐振器包括压电基板(11)、形成在压电基板(11)上的谐振部、以及形成在压电基板(11)上的谐振部的两端的反射器,所述凸块形成在压电基板(11)上。谐振器(S1、S2、S3、P1、P2、P3)通过两个以上的分割谐振器(S11、S12)并联连接来构成,在被分割谐振器(S11、S12)的反射器所夹的区域形成凸块(12)。
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公开(公告)号:CN101796723B
公开(公告)日:2013-07-17
申请号:CN200780100414.X
申请日:2007-10-30
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H9/02897 , H03H9/02929 , H03H9/02937 , H03H9/02984 , H03H9/02992 , Y10T29/49005
Abstract: 本发明的弹性波元件包括:谐振器(2),所述谐振器包括激发弹性波的电极;供电布线部(3),被配置为与谐振器(2)电连接;压电衬底(4),在表面上形成谐振器(2)和供电布线部(3);第二介质(5),被形成为在压电衬底(4)上覆盖谐振器(2);以及第三介质(6),被形成为在压电衬底(4)上至少覆盖第二介质(5)和供电布线部(3);在供电布线部(3)中,由与压电衬底(4)的表面相接的侧面(34)、压电衬底(4)的表面(4a)构成的第一角度(θ)形成为钝角。通过上述的结构,能够实现不形成腐蚀并且供电布线部中的电阻抗低的、可靠性优良的弹性波元件。
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公开(公告)号:CN103094259A
公开(公告)日:2013-05-08
申请号:CN201310020093.X
申请日:2013-01-18
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H01L23/66
CPC classification number: H03H9/6483 , H03H9/02897 , H03H9/0538 , H03H9/1085 , H05K1/0271 , H05K1/056 , H05K1/185 , H05K3/4644
Abstract: 本发明提供一种能够尽量避免因内置在基板中的弹性波滤波器的空心盖的变形而对该弹性波滤波器的滤波器功能部产生功能异常或损伤等的电子零件内置基板。本发明的电子零件内置基板中,具有滤波器功能部由空心盖(12b)覆盖这种构造的SAW滤波器(12)内置在基板(11)中,并且设置着与该SAW滤波器(12)的空心盖(12b)介隔所述基板(11)的绝缘体层(11c)而对向的应力缓和层(11d3)。
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