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公开(公告)号：CN113009181A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202011497781.1
申请日：2020-12-17
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125 , G01P15/08
Abstract: 本公开的各实施例涉及具有可变弹性常数的弹性组件的微机械设备。一种微机械设备，包括：半导体本体；第一移动结构；弹性组件，被耦合到第一移动结构和半导体本体，并且适于经历一个方向上的形变；以及至少一个抵接元件。弹性组件被配置为根据施加到弹性组件上的力使能第一移动结构的振荡。第一移动结构、抵接元件和弹性组件以如下方式相对于彼此被布置：当力小于力阈值时，弹性组件以第一弹性常数操作；并且当力大于阈值力时，第一移动结构与抵接元件接触，并且生成弹性组件的形变，该弹性组件以与第一弹性常数不同的第二弹性常数操作。
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公开(公告)号：CN111224636A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201911165075.4
申请日：2019-11-25
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及超低功率、实时时钟发生器和抖动补偿方法。在一个实施例中，时钟发生器具有可变模量分频器，该可变模量分频器接收高频时钟信号，并且输出分频时钟信号，该分频时钟信号具有由温度补偿电路所生成的模量控制信号控制的频率。抖动滤波器耦合到可变模量分频器的输出并且耦合到温度补偿电路，并且生成补偿时钟信号，该补偿时钟信号具有相对于分频时钟信号被延迟与量化误差信号相关的时间的切换沿。
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公开(公告)号：CN111212370A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201911143036.4
申请日：2019-11-20
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及具有减小的应力敏感度的超声MEMS声换能器及其制造工艺。一种超声MEMS声换能器形成在半导体材料的本体中，该本体具有彼此相对的第一表面和第二表面。第一腔在本体中延伸，并在底部界定敏感部分，该敏感部分在第一腔与本体的第一表面之间延伸。敏感部分容纳第二腔并形成膜，该膜在第二腔和本体的第一表面之间延伸。弹性支撑结构在敏感部分和本体之间延伸，并悬置在第一腔上方。
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公开(公告)号：CN220520143U
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202320142087.0
申请日：2023-02-07
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及微机电系统致动器和电子系统。MEMS致动器，包括：衬底；第一半导体层和第二半导体层；框架，其包括由第二半导体层形成的横向区域，平行于第一方向伸长并且沿第二方向偏移，框架可平行于第二方向移动。MEMS致动器包括，针对每个横向区域：对应的前转子区域，其被固定到横向区域并且被悬置在衬底上方；第一定子区域和第二定子区域，其由第一半导体层形成，使得当框架处于静止位置时，横向区域相对于第一定子区域和第二定子区域侧向偏移，并且第一前转子区域部分地面对第一定子区域，并且使得在框架沿第二方向平移期间，当横向区域开始叠加在第一定子区域上时，第一前转子区域和/或第二前转子区域至少部分地面对第二定子区域。由此，提供了改进的MEMS致动器。
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公开(公告)号：CN219065508U
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202222429774.9
申请日：2022-09-14
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/097
Abstract: 本公开的实施例涉及谐振加速度计、用于其的检测结构以及电子装置。检测结构包括惯性质量块，惯性质量块悬置在衬底上方，并且具有提供在惯性质量块并且在惯性质量块的整个厚度上穿过它的窗口。惯性质量块通过扭转类型的第一锚定弹性元件和第二锚定弹性元件耦合到主锚定件，主锚定件布置在窗口中，并且与衬底一体。检测结构还包括具有纵向延伸的至少第一谐振元件，第一谐振元件耦合在第一弹性元件和布置在窗口中的第一约束元件之间。第一约束元件悬置在衬底上方，通过第一辅助锚定元件固定地耦合到衬底，第一辅助锚定元件在具有纵向延伸的第一谐振元件下方延伸，并且一体地耦合在第一约束元件和主锚定件之间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN218274459U
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202220565352.1
申请日：2022-03-15
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例总体上涉及按钮装置。一种按钮装置包括：固定支撑结构；被上述支撑结构横向包围并且被配置为在外力的作用下至少部分变形的可移动结构；以及不透水的保护帽。可移动结构包括活塞元件、其上布置有压电换能器的可变形元件、以及将活塞元件耦合到可变形元件的锚固件元件。当外力作用在活塞元件上时，锚固件元件将该力传递给可变形元件和压电换能器，从而感测该力的大小。本实用新型的实施例提供了对按钮装置的改进，例如该按钮装置可以不透水或不透其他液体，并具有减小的整体尺寸等。
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公开(公告)号：CN217180964U
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202121832517.9
申请日：2021-08-06
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/08 , G01P15/125
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电传感器器件以及电子系统。一种微机电传感器器件基底，具有第一表面，第一表面具有第一区域和第二区域，第二区域在横向方向上定位于第一区域的外部；移动结构，包括在顶部表面的第一区域处悬置于基底上方的惯性质量块；固定结构，包括在顶部表面的第一区域处悬置于基底上方的固定电极；至少一个感测电容器，包括电容耦合至固定结构的移动结构；单个整体式锚固件，在第二区域处耦合至基底，单个整体式锚固件耦合至移动结构和固定结构；以及多个连接元件，耦合至移动结构、固定结构以及单个整体式锚固件。利用本公开的实施例有利地提供了具有相对于外部刺激经改善的稳定性和减少的漂移的微机电传感器器件。
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公开(公告)号：CN216133091U
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202023066084.9
申请日：2020-12-17
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125 , G01P15/08
Abstract: 本实用新型的各实施例涉及微机械设备。一种微机械设备，包括：半导体本体；第一移动结构；弹性组件，被耦合到第一移动结构和半导体本体，并且适于经历一个方向上的形变；以及至少一个抵接元件。弹性组件被配置为根据施加到弹性组件上的力使能第一移动结构的振荡。第一移动结构、抵接元件和弹性组件以如下方式相对于彼此被布置：当力小于力阈值时，弹性组件以第一弹性常数操作；并且当力大于阈值力时，第一移动结构与抵接元件接触，并且生成弹性组件的形变，该弹性组件以与第一弹性常数不同的第二弹性常数操作。本实用新型的实施例提供了对于传感器的改进，例如使得一个传感器可以测量不同范围的加速度/减速度并获得更好的机械稳定性等。
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公开(公告)号：CN215364899U
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202120565750.9
申请日：2021-03-19
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 公开了流量感测装置及用于测量流体的特性的系统。基于科里奥利力的流量感测装置包括：硅基底；绝缘层，在所述基底的表面上；至少一个驱动电极，在所述绝缘层上；以及硅结构体，与所述驱动电极部分地重叠，所述结构体具有埋入通道。本公开的实施例提供了高性能和低成本特性的流量感测装置及包括用于测量流体特性的系统。
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公开(公告)号：CN214747920U
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202120409818.4
申请日：2021-02-24
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 实施例公开了微机电系统测斜仪。该微机电系统测斜仪包括基底、第一移动质量块和传感单元。传感单元包括第二移动质量块、多个弹性元件，弹性元件被插入在第二移动质量块与基底之间并且在与第一轴线平行的方向是柔顺的，以及多个弹性结构，多个弹性结构中的每个弹性结构被插入在第一移动质量块与第二移动质量块之间并且在与第一轴线和第二轴线平行的方向是柔顺的。传感单元进一步包括相对于基底固定的固定电极以及相对于第二移动质量块固定的移动电极，这形成了可变电容器。该MEMS测斜仪能够减小振动校正误差。
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