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公开(公告)号：CN117538564A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202310986140.X
申请日：2023-08-07
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 本公开的实施例涉及具有有源偏移补偿的微机电传感器装置设备。一种具有感测结构的微机电传感器设备，具有：衬底；惯性质量件，被悬置在衬底之上，并且通过弹性耦合元件被弹性耦合到转子锚固结构，以执行由于待感测量而引起的至少一次惯性移动；第一感测电极，被整体地耦合到惯性质量件，以能够由于惯性移动而移动；以及第二感测电极，相对于待感测量而被固定，面向第一感测电极并且电容耦合到第一感测电极以形成具有指示待感测量的值的感测电容。第二感测电极以悬置方式被布置在衬底之上；以及补偿结构，被配置为将第二感测电极相对于第一感测电极移动，并且在没有待感测量的情况下，改变第二感测电极和第一感测电极之间的面对距离，以便补偿感测结构的本体偏移。
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公开(公告)号：CN115480389A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202210602544.X
申请日：2022-05-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及平面内移动质量块的MEMS致动器和包括MEMS致动器的光学模块。MEMS致动器包括质量块，质量块沿第一方向被悬置在衬底上方并且在限定垂直于第一方向的第二和第三方向的平面中延伸。被布置在衬底与质量块之间的弹性元件沿平行于第一方向的方向具有第一柔量，第一柔量小于沿平行于第二方向的方向的第二柔量。压电致动结构具有相对于衬底固定的部分和响应于致动电压而沿第一方向变形的部分。被耦合到压电致动结构的移动变换结构包括弹性移动转换结构，弹性移动转换结构被布置在压电致动结构与质量块之间。弹性移动转换结构在由第一和第二方向形成的平面中是柔性的，并且具有横向于第一和第二方向的第一轴线和第二惯性主轴线。
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公开(公告)号：CN112573475A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202011053565.8
申请日：2020-09-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及防水按钮设备、包括按钮设备的输入设备以及电子装置。一种按钮设备，包括MEMS传感器，MEMS传感器具有MEMS应变检测结构以及可变形基板，可变形基板被配置为在外力的作用下经历变形。MEMS应变检测结构包括移动元件，该移动元件经由至少第一锚固件和第二锚固件由可变形基板承载，第一锚固件和第二锚固件相对于可变形基板固定，并且第一锚固件和第二锚固件被配置为在存在外力的情况下在移动部件上位移并且生成变形力；以及定子元件，电容耦合到移动元件。移动元件的变形导致在移动元件与定子元件之间的电容变化。更进一步地，MEMS传感器被配置为生成与电容变化相关的检测信号。
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公开(公告)号：CN109728791A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201811288309.X
申请日：2018-10-31
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: H03H9/02
Abstract: 本公开涉及相对于温度变化稳定性提高的微机电谐振器系统。MEMS谐振器系统具有微机械谐振结构和电子处理电路，电子处理电路包括第一谐振回路，第一谐振回路激发结构的第一振动模式并且生成在第一谐振频率的第一信号。根据温度变化测量结果，补偿模块补偿由温度变化造成的第一谐振频率的第一变化，以生成在期望频率的时钟信号，期望频率相对于温度是稳定的。电子处理电路还包括第二谐振回路，第二谐振回路激发结构的第二振动模式并且生成在第二谐振频率的第二信号。温度感测模块接收第一和第二信号，并且根据由温度变化造成的第一谐振频率的第一变化和第二谐振频率的第二变化，生成温度变化测量结果。
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公开(公告)号：CN108933578A
公开(公告)日：2018-12-04
申请号：CN201810510456.0
申请日：2018-05-24
Applicant: 意法半导体股份有限公司
CPC classification number: B81B3/0081 , B81B3/0021 , B81B7/0019 , B81B7/0022 , B81B7/008 , B81B7/0087 , H03H9/02244 , H03H9/2431 , H03H2009/0244 , H03H2009/0248
Abstract: 一种MEMS谐振器配备有基底、在由第一轴线和第二轴线形成的水平平面中悬置在基底上方的移动结构，移动结构具有彼此平行并且沿着第二轴线延伸的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂通过第一横向接合元件和第二横向接合元件在第一臂和第二臂的相应的端部处耦合以形成内部窗口。第一电极结构定位在窗口外部并且电容性耦合至移动结构。第二电极结构定位在窗口内部。第一电极结构和第二电极结构的一个电极结构引起挠曲臂以谐振频率沿着第一水平轴线在相反方向上的振荡运动，并且另一个电极结构具有检测振荡的功能。悬置结构在窗口中具有悬置臂。附接装置在窗口中居中地耦合至悬置元件并且接近第二电极结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107179074A
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201610877204.2
申请日：2016-09-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
CPC classification number: G01C19/5712 , G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 一种微机械检测结构(20)，包括：半导体材料的衬底(2)；驱动质量体布置(4a‑4c)，耦合至驱动电极集合(7a‑7c)并且在驱动电极集合的电偏置之后在驱动移动中被驱动；第一锚固单元(5a‑5c,6a‑6c)，耦合至驱动质量体布置以用于在第一锚固部(5a‑5c)处将驱动质量体布置弹性地耦合至衬底(2)；被驱动质量体布置(10,30)，通过耦合单元(22a‑22b)弹性地耦合至驱动质量体布置并且被设计为由驱动移动所驱动；以及第二锚固单元(14,34)，耦合至被驱动质量体布置以用于在第二锚固部(17,37)处将被驱动质量体布置弹性地耦合至衬底(2)。在驱动移动之后，在第一和第二锚固部处施加于衬底(2)上的力和扭矩的合量基本上为零。
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公开(公告)号：CN117990092A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202311446195.8
申请日：2023-11-02
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C21/16 , B81B7/00 , B81B7/02 , G01C19/5656
Abstract: MEMS设备由衬底以及被悬挂在该衬底上的可移动结构形成。可移动结构具有第一质量块、第二质量块以及机械地耦合在第一质量块与第二质量块之间的第一弹性组。第一弹性组沿第一方向是柔顺的。第一质量块被配置为沿第一方向相对于衬底移动。MEMS设备还具有：第二弹性组，机械地耦合在衬底与可移动结构之间并且沿第一方向是柔顺的；以及锚定控制结构，被固定到衬底，电容性地耦合到第二质量块，并且被配置为沿第一方向在第二质量块上施加静电力。锚定控制结构控制MEMS设备处于第一操作状态，其中第二质量块沿第一方向相对于衬底自由移动，并且控制MEMS设备处于第二操作状态，其中锚定控制结构在第二质量块上施加将第二质量块锚定到锚定结构的拉入力。
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公开(公告)号：CN113375635B
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202110208300.9
申请日：2021-02-24
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 一种具有减小的振动校正误差的MEMS测斜仪。该MEMS测斜仪包括基底、第一移动质量块和传感单元。传感单元包括第二移动质量块、多个弹性元件，弹性元件被插入在第二移动质量块与基底之间并且在与第一轴线平行的方向是柔顺的，以及多个弹性结构，多个弹性结构中的每个弹性结构被插入在第一移动质量块与第二移动质量块之间并且在与第一轴线和第二轴线平行的方向是柔顺的。传感单元进一步包括相对于基底固定的固定电极以及相对于第二移动质量块固定的移动电极，这形成了可变电容器。
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公开(公告)号：CN108933578B
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN201810510456.0
申请日：2018-05-24
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 一种MEMS谐振器配备有基底、在由第一轴线和第二轴线形成的水平平面中悬置在基底上方的移动结构，移动结构具有彼此平行并且沿着第二轴线延伸的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂通过第一横向接合元件和第二横向接合元件在第一臂和第二臂的相应的端部处耦合以形成内部窗口。第一电极结构定位在窗口外部并且电容性耦合至移动结构。第二电极结构定位在窗口内部。第一电极结构和第二电极结构的一个电极结构引起挠曲臂以谐振频率沿着第一水平轴线在相反方向上的振荡运动，并且另一个电极结构具有检测振荡的功能。悬置结构在窗口中具有悬置臂。附接装置在窗口中居中地耦合至悬置元件并且接近第二电极结构。
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公开(公告)号：CN115700382A
公开(公告)日：2023-02-07
申请号：CN202210865253.X
申请日：2022-07-21
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/14
Abstract: 本公开的各实施例涉及闭环微电子机械加速度计和制造微电子机械加速度计方法。闭环微电子机械加速度计包括半导体材料的衬底、面外感测块和反馈电极。半导体材料的面外感测块具有面向支撑体的第一侧和与第一侧相对的第二侧。面外感测块还被连接到支撑体以围绕非重心的支点轴线振荡，非重心的支点轴线振荡平行于第一侧和第二侧并且垂直于面外感测轴线。反馈电极电容性地耦合到感测块并且被配置为将相反的静电力施加于感测块。
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