半导体器件及其制造方法
    41.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107579109B

    公开(公告)日:2021-12-24

    申请号:CN201611031572.1

    申请日:2016-11-22

    Abstract: 本发明公开了半导体器件及其制造方法。一种半导体器件,包含:n‑型层,布置在n+型碳化硅衬底的第一表面上;第一沟槽和第二沟槽,形成在n‑型层中并且彼此分离;n+型区,布置在第一沟槽的侧面与第二沟槽的侧面之间并且布置在n‑型层上;栅极绝缘层,布置在第一沟槽内;源极绝缘层,布置在第二沟槽内;栅极,布置在栅极绝缘层上;氧化层,布置在栅极上;源极,布置在氧化层、n+型区、及源极绝缘层上;以及漏极,布置在n+型碳化硅衬底的第二表面上。

    半导体器件及其制造方法
    42.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104752505B

    公开(公告)日:2019-04-23

    申请号:CN201410415577.9

    申请日:2014-08-21

    Abstract: 一种半导体器件,包括:布置在包括载流区和位于载流区两侧的终端区的n+型碳化硅衬底的第一表面上的第一n‑型外延层;布置在第一n‑型外延层上的p型外延层;布置在p型外延层上的第二n‑型外延层;布置在载流区中的第一沟槽;布置在各个终端区中的第二沟槽;布置在第一沟槽中的栅极绝缘层;布置在栅极绝缘层上的栅电极;以及布置在第二沟槽中的终端绝缘层,其中终端绝缘层的一侧接触p型外延层和第二n‑型外延层。

    燃料电池复合阀
    43.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105098207B

    公开(公告)日:2019-04-12

    申请号:CN201410708818.9

    申请日:2014-11-28

    Abstract: 本发明公开了一种燃料电池复合阀,所述燃料电池复合阀打开和关闭用于氢燃料电池车辆的燃料电池组的流入管线和排出管线,该燃料电池复合阀包括支撑框架,支撑框架具有第一孔和第二孔,排出管线连接至第一孔,流入管线连接至第二孔。第一旋转阀构造成接收安装在支撑框架中的驱动马达的驱动转矩、使第一旋转阀旋转并且打开和关闭第一孔。第二旋转阀连接至第一旋转阀,并且第二旋转阀构造成打开和关闭第二孔。第一耦接件突出部沿纵向方向从第一轴突出,并且该第一耦接件突出部具有垂直于纵向方向的至少一个第一平坦表面。第二耦接件突出部沿所述第一轴的纵向方向从第二轴突出。

    肖特基势垒二极管和用于制造肖特基势垒二极管的方法

    公开(公告)号:CN104465793B

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201310757126.9

    申请日:2013-12-27

    Abstract: 本发明提供一种肖特基势垒二极管及制造肖特基势垒二极管的方法。该二极管包括:设置在n+型碳化硅衬底的第一表面上的n‑型外延层;和设置在上述n‑型外延层内的多个p+区域。n+型外延层设置在上述n‑型外延层上,肖特基电极设置在上述n+型外延层上,欧姆电极设置在上述n+型碳化硅衬底的第二表面上。上述n+型外延层包括设置在上述n‑型外延层上的多个柱形部和设置在上述柱形部之间且露出上述p+区域的多个开口。每个柱形部包括接触上述n‑型外延层的大致直线部、和从上述大致直线部延伸的大致曲线部。

    肖特基势垒二极管及其制造方法

    公开(公告)号:CN104752522A

    公开(公告)日:2015-07-01

    申请号:CN201410484433.9

    申请日:2014-09-19

    Abstract: 本发明涉及一种肖特基势垒二极管及其制造方法,该肖特基势垒二极管包括:n-型外延层,布置在n+型碳化硅基板的第一表面上;第一p+区,布置在n-型外延层上;n型外延层,布置在n-型外延层和第一p+区上;第二p+区,布置在n型外延层上,并且与第一p+区相接触;肖特基电极,布置在n型外延层和第二p+区上;以及欧姆电极,布置在n+碳化硅基板的第二表面上,其中第一p+区具有栅格形状,其包括多个垂直部以及将各个垂直部的两端彼此连接的水平部,垂直部包括多个具有类六边形的第一部、多个连接各个第一部的第二部、以及多个连接第一部和水平部的第三部,并且第二部和第三部被定形为类杆状。

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